【技术实现步骤摘要】
本技术涉及低温深冷液化分离，具体涉及一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置。
技术介绍
1、在焦炉煤气制合成氨装置中psa提氢工段会产生psa提氢解析气，其主要成分有氢气、甲烷、co、co2、氮气等，该气体常常被作为燃料气，不仅造成资源的浪费，还会造成环境的污染。利用净化后psa提氢解析气制取合成氨原料气，并联产高纯度电子级5n一氧化碳和甲烷，不仅变废为宝，也给工厂带来了非常好的经济效益。随着科技进步，电子、光伏等产业发展迅速，高纯度电子级5n一氧化碳和甲烷在半导体干法蚀刻、等离子蚀刻、化学气相沉积等工艺中应用越来越广泛，可用来制备半导体材料、微电子器件、光电子器件等。
2、目前，高纯度电子级5n一氧化碳和甲烷已经成为电子产业的重要原材料之一，因此高纯度电子级5n一氧化碳和甲烷市场空间不断扩大，推动高纯度电子级5n一氧化碳和甲烷行业技术不断进步，产品纯度不断提高；因此，需要一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的装置，提高产品分离纯度。
技术实现思路
1、本技术的目的在于解决上述背景中的技术缺陷，提供了一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置和方法。
2、为实现上述目的，本技术提供了以下技术方案：
3、本技术提供的该装置包括主换热器、液氮洗涤塔、低温分离器、脱氩塔、脱氩塔再沸器、脱氩塔冷凝器、脱氩塔回流罐、脱氮塔、脱氮塔冷凝器、脱氮塔回流罐、脱甲烷塔、主冷凝蒸发器、脱甲烷塔回流罐、脱甲烷塔再沸器、高纯甲烷塔、高纯甲烷塔再沸器、高纯甲烷塔冷凝器、高纯一
4、沿着原料气的进气方向，所述原料气通道入口与外界原料气管道相接，所述的原料气通道出口与液氮洗涤塔底部进料口相接。所述的液氮洗涤塔顶部出口与富氢气通道入口相接，所述的富氢气通道与外界的合成氨原料气管线相接，所述的液氮洗涤塔底部液相出口与低温分离器进料口相接，
5、所述的低温分离器顶部气相出口与富氮气i通道入口管线相接，所述的低温分离器底部液相出口与贫氢液通道入口相接，所述的氢液通道出口与脱甲烷塔中部进料口相接，
6、所述的脱甲烷塔中上部气相出口与高纯甲烷塔进料口相接，所述的高纯甲烷塔底部液相出口与高纯电子级甲烷通道入口相接，所述的高纯电子级甲烷通道出口与外界的高纯电子级甲烷管线相接，
7、所述的高纯甲烷塔顶部气相出口管线与所述的脱甲烷塔底部液相管线汇合后，与天然气通道入口管线相接，天然气通道出口与外界的常温天然气管线相接，
8、所述的脱甲烷塔上部气相出口与主冷凝蒸发器入口相接，所述的主冷凝蒸发器出口与脱甲烷塔回流罐进料口相接，所述的脱甲烷塔回流罐底部液相出口与脱甲烷塔顶部进料口相接，
9、所述的脱甲烷塔回流罐顶部气相出口与脱氩塔中部进料口相接，所述的脱氩塔底部液相出口管线与富氮气i通道入口管线相接，所述的脱氩塔顶部气相出口与贫氩气通道入口相接，所述的贫氩气通道出口与脱氩塔回流罐进料口相接，所述的脱氩塔回流罐底部液相出口与脱氩塔顶部进料口相接，所述的脱氩塔回流罐顶部气相出口与脱氮塔中部进料口相接，
10、所述的脱氮塔顶部气相出口与富氮气ii通道入口相接，所述的富氮气ii通道出口管线与脱氮塔回流罐进料口相接，所述的脱氮塔回流罐底部液相出口与脱氮塔顶部部进料口相接，所述的脱氮塔回流罐顶部气相出口管线分为两部分，一部分与高纯一氧化碳塔中部进料口相接，另一部分与富氮气i通道入口管线相接，
11、所述的高纯一氧化碳塔底部液相出口与高纯电子级co通道入口相接，所述的高纯电子级co通道出口与外界高纯电子级co管线相接，所述的高纯一氧化碳塔顶部气相出口与富氮气i通道入口管线相接，
12、所述的脱氮塔底部液相出口与一氧化碳ii通道入口相接，所述的一氧化碳ii通道出口与一氧化碳i通道入口相接，所述的一氧化碳i通道出口与外界的一氧化碳气管线相接，
13、所述的一氧化碳i通道入口与低温分离器顶部气相出口、脱氩塔底部液相出口管线、脱氮塔回流罐顶部气相出口和高纯一氧化碳塔顶部气相出口相接，所述的一氧化碳i通道与外界富氮气管线相接。
14、沿着高压氮气的进气方向，所述的氮气压缩机系统出口与高压氮气i通道入口相接，所述的高压氮气i通道出口与脱甲烷塔再沸器和高纯甲烷塔再沸器入口相接，所述的脱甲烷塔再沸器和高纯甲烷塔再沸器出口都与高压氮气ii通道入口相接，所述的高压氮气ii通道出口分别与脱氩塔再沸器和高纯一氧化碳塔再沸器入口相接，所述的脱氩塔再沸器和高纯一氧化碳塔再沸器出口与高压液氮i通道入口相接，所述的压液氮i通道出口分别与液氮洗涤塔顶部进料口、低压氮气ii通道入口、低压氮气iii通道进口、高纯甲烷塔冷凝器液氮进口和高纯一氧化碳塔冷凝器液氮进口相接，所述的低压氮气ii通道出口、低压氮气iii通道出口和高纯甲烷塔冷凝器氮气出口与低压氮气i通道入口相接，所述的低压氮气i通道出口与氮气压缩机系统二级入口相接，所述的高纯一氧化碳塔冷凝器氮气出口与低低压氮气通道入口相接，所述的低低压氮气通道与氮气压缩机系统一级入口相接。
15、优选地，所述的高压氮气ii通道出口与高压液氮i通道入口之间设置调节阀a与控制系统电连接。
16、进一步的，所述的低压氮气i通道入口设有温度监测仪i，所述的高压液氮i通道出口管线与低压氮气i通道入口管线设置有温度调节阀b用于控制低压氮气i通道入口温度；
17、所述的脱氩塔底部设有温度监测仪ii，所述的脱氩塔再沸器氮气管线进口与出口之间设置温度调节阀c用于调节脱氩塔底部温度；
18、所述的贫氩气通道出口设有温度监测仪iii，所述的贫氩气通道出口设置温度调节阀d用于调节贫氩气出贫氩气通道温度；
19、所述的富氮气ii通道出口设有温度监测仪iv，所述的低压氮气iii通道进口设置温度调节阀e用于调节富氮气出富氮气ii通道温度；
20、所述的脱甲烷塔底部设有温度监测仪v，所述的脱甲烷塔再沸器氮气管线进口与出口之间设置温度调节阀f用于调节脱甲烷塔底部温度；
21、所述的高纯甲烷塔顶部设有温度监测仪vi，所述的高纯甲烷塔冷凝器液氮进口设置温度调节阀g用于调节高纯甲烷塔顶部温度；
22、所述的高纯甲烷塔底部设有温度监测仪vii，所述的高纯甲烷塔再沸器氮气管线进口与出口之间设置温度调节阀h用于调节高纯甲烷塔底部温度；
23、所述的高纯一氧化碳塔顶部设有温度监测仪viii，所述的高纯一氧化碳塔冷凝器的液氮进本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于，该装置包括主换热器（1）、液氮洗涤塔（2）、低温分离器（3）、脱氩塔（4）、脱氩塔再沸器（5）、脱氩塔冷凝器（6）、脱氩塔回流罐（7）、脱氮塔（8）、脱氮塔冷凝器（9）、脱氮塔回流罐（10）、脱甲烷塔（11）、主冷凝蒸发器（12）、脱甲烷塔回流罐（13）、脱甲烷塔再沸器（14）、高纯甲烷塔（15）、高纯甲烷塔再沸器（16）、高纯甲烷塔冷凝器（17）、高纯一氧化碳塔（18）、高纯一氧化碳塔再沸器（19）、高纯一氧化碳塔冷凝器（20）、氮气压缩机系统（21）；所述的主换热器（1）内设置有高压氮气I通道（A1）、低压氮气I通道（A2）、原料气通道（A3）、低低压氮气通道（A4）、一氧化碳I通道（A5）、富氢气通道（A6）、富氮气I通道（A7）、高纯电子级CO通道（A8）、高纯电子级甲烷通道（A9）、天然气通道（A10）、高压氮气II通道（A11）、高压液氮I通道（A12）和贫氢液通道（A13）；所述的脱氩塔冷凝器（6）内设置有低压氮气II通道（B1）和贫氩气通道（B2）；所述的脱氮塔冷凝器（9）内设置有低压氮气III通道（C1
2.根据权利要求1所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于，所述原料气通道（A3）入口与外界原料气管道相接，所述的原料气通道（A3）出口与液氮洗涤塔（2）底部进料口相接；所述的液氮洗涤塔（2）顶部出口与富氢气通道（A6）入口相接，所述的富氢气通道（A6）与外界的合成氨原料气管线相接，所述的液氮洗涤塔（2）底部液相出口与低温分离器（3）进料口相接；
3.根据权利要求1所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于，所述的高压氮气II通道（A11）出口与高压液氮I通道（A12）入口之间设置调节阀a（23）与控制系统电连接；
4.根据权利要求1所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于：所述的液氮洗涤塔（2）底部设有液位监测仪I，所述的液氮洗涤塔（2）底部出口管道设置液位调节阀k（26），用于调节液氮洗涤塔（2）底部液位；
5.根据权利要求4所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于：所述的液氮洗涤塔（2）顶部设有压力监测仪I，所述的液氮洗涤塔（2）顶部出口管道设置压力调节阀r（29），用于调节液氮洗涤塔（2）顶部压力；
6.根据权利要求1所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于：所述的液氮洗涤塔（2）顶部进料口管线设有流量监测仪I，所述的液氮洗涤塔（2）顶部进料口管线设有流量调节阀y（28），用于调节液氮进入液氮洗涤塔（2）的流量；
7.根据权利要求1所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于，所述的液氮洗涤塔（2）、脱氩塔（4）、脱氮塔（8）、脱甲烷塔（11）、高纯甲烷塔（15）、高纯一氧化碳塔（18）为填料塔或板式塔。
...【技术特征摘要】
1.一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于，该装置包括主换热器（1）、液氮洗涤塔（2）、低温分离器（3）、脱氩塔（4）、脱氩塔再沸器（5）、脱氩塔冷凝器（6）、脱氩塔回流罐（7）、脱氮塔（8）、脱氮塔冷凝器（9）、脱氮塔回流罐（10）、脱甲烷塔（11）、主冷凝蒸发器（12）、脱甲烷塔回流罐（13）、脱甲烷塔再沸器（14）、高纯甲烷塔（15）、高纯甲烷塔再沸器（16）、高纯甲烷塔冷凝器（17）、高纯一氧化碳塔（18）、高纯一氧化碳塔再沸器（19）、高纯一氧化碳塔冷凝器（20）、氮气压缩机系统（21）；所述的主换热器（1）内设置有高压氮气i通道（a1）、低压氮气i通道（a2）、原料气通道（a3）、低低压氮气通道（a4）、一氧化碳i通道（a5）、富氢气通道（a6）、富氮气i通道（a7）、高纯电子级co通道（a8）、高纯电子级甲烷通道（a9）、天然气通道（a10）、高压氮气ii通道（a11）、高压液氮i通道（a12）和贫氢液通道（a13）；所述的脱氩塔冷凝器（6）内设置有低压氮气ii通道（b1）和贫氩气通道（b2）；所述的脱氮塔冷凝器（9）内设置有低压氮气iii通道（c1）、一氧化碳ii通道（c2）和富氮气ii通道（c3）。
2.根据权利要求1所述的一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，其特征在于，所述原料气通道（a3）入口与外界原料气管道相接，所述的原料气通道（a3）出口与液氮洗涤塔（2）底部进料口相接；所述的液氮洗涤塔（2）顶部出口与富...
【专利技术属性】
技术研发人员：马忠，曹卫华，文向南，
申请(专利权)人：四川蜀道装备科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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