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本技术涉及一种生产高纯度一氧化碳和甲烷的深冷分离装置，包括了氮气制冷循环和多塔精馏生产高纯度电子级5N一氧化碳和甲烷，其中氮气制冷循环为原料气的深冷分离提供冷量，设有液氮洗涤塔、脱氩塔、脱氮塔、脱甲烷塔、高纯甲烷塔再沸器和高纯一氧化碳塔等精...
该专利属于四川蜀道装备科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川蜀道装备科技股份有限公司授权不得商用。

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