半导体装置及半导体装置的制造方法制造方法及图纸

技术编号:40202322 阅读:24 留言:0更新日期:2024-02-02 22:15
提供一种占有面积小的半导体装置及其制造方法。该半导体装置包括依次层叠的第一导电层、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层、第四绝缘层、第五绝缘层及第二导电层,还包括半导体层、第三导电层及第六绝缘层。半导体层与第一导电层的顶面、第一至第五绝缘层的侧面及第二导电层接触,第六绝缘层位于半导体层上,第三导电层位于第六绝缘层上且隔着第三导电层与半导体层之间的第六绝缘层与半导体层重叠,第一绝缘层具有其氢含量比第二绝缘高多的区域,第五绝缘层具有其氢含量比第四绝缘层高的区域,第三绝缘层包含氧。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的一个方式涉及一种半导体装置及其制造方法。本专利技术的一个方式涉及一种晶体管及其制造方法。本专利技术的一个方式涉及一种包括半导体装置的显示装置。注意,本专利技术的一个方式不局限于上述。作为本专利技术的一个方式的的一个例子,可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置(例如触摸传感器)、输入输出装置(例如触摸面板)以及上述装置的驱动方法或制造方法。在本说明书等中,半导体装置是指利用半导体特性的装置以及包括半导体元件(晶体管、二极管、光电二极管等)的电路及包括该电路的装置等。此外,半导体装置是指能够利用半导体特性而发挥作用的所有装置。例如,作为半导体装置的例子,有集成电路、具备集成电路的芯片、封装中容纳有芯片的电子构件。此外,有时存储装置、显示装置、发光装置、照明装置以及电子设备等本身是半导体装置,或者包括半导体装置。


技术介绍

1、包括晶体管的半导体装置广泛应用于电子设备。例如,通过在显示装置中缩小晶体管的占有面积,可以缩小像素尺寸来实现高清晰化。因此,有晶体管的微型化的需求。

2、作为需要高本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体装置,包括:

2.一种半导体装置,包括:

3.根据权利要求1所述的半导体装置,

4.根据权利要求1所述的半导体装置,

5.根据权利要求1所述的半导体装置,

6.根据权利要求1所述的半导体装置,

7.根据权利要求1所述的半导体装置,

8.根据权利要求1所述的半导体装置,

9.根据权利要求1所述的半导体装置,

10.根据权利要求1所述的半导体装置,

11.根据权利要求1所述的半导体装置,

12.一种半导体装置的制造方法,包括如下步骤:

...

【技术特征摘要】

1.一种半导体装置,包括:

2.一种半导体装置,包括:

3.根据权利要求1所述的半导体装置,

4.根据权利要求1所述的半导体装置,

5.根据权利要求1所述的半导体装置,

6.根据权利要求1所述的半导体装置,

7.根据权利要求1所述的半导体装置,

8.根据权利要求1所述的半导体装置,

9.根据权利要求1所述的半导体装置,

10.根据权利要求1所述的半导体装置,

11.根据权利要求1所述的半导体装置,

12.一种半导体装置的制造方法,...

【专利技术属性】
技术研发人员:大野正胜中田昌孝岛行德土桥正佳肥塚纯一神长正美
申请(专利权)人:株式会社半导体能源研究所
类型:发明
国别省市:

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