一种二流体喷嘴制造技术

本发明专利技术涉及二流体喷嘴领域，且公开了一种二流体喷嘴，包括气液混合主体，所述气液混合主体的内部设置有气液混合腔，气液混合主体的底端安装有喷头，气液混合主体的顶端安装有顶部安装槽，顶部安装槽上安装有液路接头。本发明专利技术通过气液混合主体的材质、喷头的材质以及气液混合芯的材质均为高洁净PFA材质，液路接头的材质与气路接头的材质为高洁净塑料，避免喷嘴使用时吸附灰尘，减少晶圆污染，在气液混合芯的外侧对称安装有两个加强筋，对气液混合主体的内壁和气液混合芯起到支撑保护效果，避免因气体冲击力造成变形，有效的解决了目前二流体喷嘴的材料更换维洁净的非金属时，非金属本身质地较软，影响喷出效果的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于二流体喷嘴领域，具体为一种二流体喷嘴。

技术介绍

1、在晶圆加工过程中，清洗工序至关重要，它关系到晶圆最终的微粒水平，清洗过程需要很多专门应对微粒的清洗单元，m-jet就是其中之一。m-jet的工作原理是：将特定气体(例如co2、cda)等气体和水混合后喷射于晶圆表面，利用气体在水中的不规则运动和气泡破裂，达到进一步清洗晶圆的目的，在进行晶圆清洗时，需要使用二流体喷嘴，二流体喷嘴特殊的内部结构设计能使液体和气体均匀混合，产生微细液滴尺寸的喷雾或粗液滴喷雾，通常通过增加气体压力或降低液体压力可得到更加微细的液滴喷雾，但是在进行晶圆清洗时存下以下缺陷：

2、由于二流体喷嘴多数为不锈钢的，而不锈钢的喷嘴带有金属离子容易吸附灰尘进而污染晶圆，所以对一些要求高洁净度的晶圆是不符合使用环境的，同时若将二流体喷嘴的材料更换维洁净的非金属时，非金属本身质地较软，由于气体冲击力较大，易造成喷嘴出口位置受力变形，影响喷出效果。

技术实现思路

1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供一种二流本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种二流体喷嘴，包括气液混合主体（1），其特征在于：所述气液混合主体（1）的内部设置有气液混合腔，气液混合主体（1）的底端安装有喷头（11），气液混合主体（1）的顶端安装有顶部安装槽（2），顶部安装槽（2）上安装有液路接头（3），液路接头（3）的底端安装有气液混合芯（4），气液混合芯（4）位于气液混合腔内部，液路接头（3）的顶端安装有液路管道（5），气液混合主体（1）的侧面开设有两个侧部安装槽（6），侧部安装槽（6）与气液混合腔相连通，侧部安装槽（6）上安装有气路接头（7），气路接头（7）上安装有气路管道（8），喷头（11）的外侧安装有支撑保护组件（12）；>

2.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种二流体喷嘴，包括气液混合主体（1），其特征在于：所述气液混合主体（1）的内部设置有气液混合腔，气液混合主体（1）的底端安装有喷头（11），气液混合主体（1）的顶端安装有顶部安装槽（2），顶部安装槽（2）上安装有液路接头（3），液路接头（3）的底端安装有气液混合芯（4），气液混合芯（4）位于气液混合腔内部，液路接头（3）的顶端安装有液路管道（5），气液混合主体（1）的侧面开设有两个侧部安装槽（6），侧部安装槽（6）与气液混合腔相连通，侧部安装槽（6）上安装有气路接头（7），气路接头（7）上安装有气路管道（8），喷头（11）的外侧安装有支撑保护组件（12）；

2.根据权利要求1所述的一种二流体喷嘴，其特征在于：所述支撑保护组件（12）包括套设于喷头（11）外侧的顶部支撑环（1201），顶部支撑环（1201）的外侧等角度安装有侧块（1202），侧块（1202）的顶端安装有安装板（1203），安装板（1203）与气液混合主体（1）的外侧壁紧贴，安装板（1203）与气液混合主体（1）的外侧壁螺栓连接，顶部支撑环（1201）靠近喷头（11）的一侧开设有活动槽（1204），活动槽（1204）的底端贯穿至顶部支撑环（1201）的下方，活动槽（1204）的内部安装有纵向支撑板（1205），纵向支撑板（1205）与喷头（11）的侧壁接触，活动槽（1204）与侧块（1202）相对应，侧块（1202）的内部安装有底部支撑组件（13）。

3.根据权利要求2所述的一种二流体喷嘴，其特征在于：所述喷头（11）由上半部分的圆柱形段与下半部分的锥形段组成，顶部支撑环（1201）的内壁与喷头（11）的上半部分外壁紧贴，纵向支撑板（1205）包括竖直板（12051）和倾斜板（12052），竖直板（12051）与喷头（11）上半部分外壁紧贴，倾斜板（12052）与喷头（11）下半部分外壁紧贴。

4.根据权利要求2所述的一种二流体喷嘴，其特征在于：所述活动槽（1204）的两侧对称开设有滑槽（1206），纵向支撑板（1205）的两侧对称安装有第一滑块（1207），第一滑块（1207）与滑槽（1206）滑动连接，活动槽（1204）的内部活动安装有压板（1209），压板（1209）位于纵向支撑板（1205）远离喷头（11）的一侧，压板（1209）的两侧对称安装有第二滑块（1210），第二滑块（1210）滑动安装于滑槽（1206），纵向支撑板（1205）与滑槽（1206）之间对称安装有两个第一弹簧（1208），活动槽（1204）靠近侧块（1202）一侧底端开设有横向槽（1211），横向槽（1211）贯穿至侧块（1202）的下方，压板（1209）靠近横向槽（1211）的一侧安装有横向板（1212），横向板（1212）远离压板（1209）的一端开设有端部槽（1213），端部槽（1213）靠近压板（1209）一侧内壁设置有圆弧角。

5.根据权利要求2所述的一种二流体喷嘴，其特征在于：所述底部支撑组件（13）包括安装于侧块（1202）远离顶部支撑环（1201）一侧的固定块（1301），侧块（1202）的内部开设有第一板槽（1302），第一板槽（1302）分为开设于侧块（1202）内部的较厚段和侧块（1202）顶端的较窄段，较厚段底端与横向槽（1211）相连通，较厚段与较窄段相连通，固定块（1301）的内部开设有第二板槽（1303），第二板槽（1303）的两端分别贯穿至固定块（1301）的上下两侧，固定块（1301）的内部开设有第一齿轮安装槽（1304），第一齿轮安装槽（1304）的两侧分别与第一板槽（1302）和第二板槽（1303）相连通。

6.根据权利要求5所述的一种二流体喷嘴，其特征在于：所述第一板槽（1302）的内部安装有第一齿板（1305），第一齿板（1305）与第一板槽（1302）的较窄段滑动连接，第一齿板（1305）的底端安装有纵移板（1306），纵移板（1306）位于端部槽（1213）的内部，纵移板（1306）靠近喷头（11）的一侧设有挤压斜面（1307），挤压斜面（...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏猛，张爽，张也，李冬海，
申请(专利权)人：沈阳芯达科技有限公司，
类型：发明
国别省市：