当前位置: 首页 > 专利查询>浙江大学专利>正文

基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置和制备方法制造方法及图纸

技术编号:40197359 阅读:59 留言:0更新日期:2024-01-27 00:01
本发明专利技术公开了基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置和制备方法,包括在低折射率MgF<subgt;2</subgt;衬底上布置双锥微纳光纤,构造U形微纳光纤悬臂梁结构,在U形微纳光纤悬臂梁顶端放置一块平滑平整的单晶金片,形成微天平,在悬臂梁顶端金片上放置不同质量的颗粒进行质量测量,金片位于微纳光纤的顶端中部,微纳光纤的两端分别连接光源和探测器;微纳光纤悬臂梁受到外界压力时,光纤发生弯曲形变,输出光强减小,通过建立光强与压力之间的一一对应关系实现力传感,从而实现质量测量。本发明专利技术具有制备简易、灵敏度高的特点,并且质量检测精度、范围均可调。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微纳光纤传感器领域,具体地说,是基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置和制备方法


技术介绍

1、随着互联网、物联网、人工智能技术的发展,社会对高性能传感器的需求日益提升。光纤传感器作为一种20世纪70年代末兴起的一项全新技术,以其优越的性能备受青睐,与传统的机械或电子传感器不同,光纤具有体积小,重量轻,抗电磁干扰,电气安全等多项优点,在传感系统的设计制造中占据优势。而微纳光纤——一种直径在亚波长尺度的新型光纤,不仅继承了传统光纤的以上优势,而且还具备新的独特优势——小尺寸和强光场约束能力,使得信号光在光纤内部不再以全内反射的形式传输,部分光以倏逝场的形式在光纤外部传输,当物质进入倏逝场的范围,会对倏逝场产生扰动,带来散射、色散、吸收等一系列变化,通过探测输出光谱的相位、强度等变化,就可以感知扰动的来源,实现对环境介质的传感。因此微纳光纤在传感方面具有独特的优势。

2、超灵敏微力传感器对研究光与物质的相互作用,探索生命科学关键问题,研制新型微纳器件具有重要意义。目前普遍使用的超灵敏微弱力传感装置,例如原子力显微镜、光镊、磁镊等,需本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置,其特征在于,包括低折射率衬底、在低折射率衬底上布置的微纳光纤,所述的微纳光纤位于超出低折射率衬底的部分的一侧为U形微纳光纤悬臂梁、所述的微纳光纤的另一侧位于低折射率衬底上的部分为两个端头分别通过两端的标准光纤连接光源和探测器,所述的U形微纳光纤悬臂梁顶端放置有单晶金片,所述的单晶金片上放置不同质量的颗粒进行质量测量,所述的标准光纤与微纳光纤为一体。

2.根据权利要求1所述的基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置,其特征在于,所述的微纳光纤的U形微纳光纤悬臂梁位于微纳光纤的中部。

3.根据权利要求1所述的基于微纳光纤微弱力...

【技术特征摘要】

1.基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置,其特征在于,包括低折射率衬底、在低折射率衬底上布置的微纳光纤,所述的微纳光纤位于超出低折射率衬底的部分的一侧为u形微纳光纤悬臂梁、所述的微纳光纤的另一侧位于低折射率衬底上的部分为两个端头分别通过两端的标准光纤连接光源和探测器,所述的u形微纳光纤悬臂梁顶端放置有单晶金片,所述的单晶金片上放置不同质量的颗粒进行质量测量,所述的标准光纤与微纳光纤为一体。

2.根据权利要求1所述的基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置,其特征在于,所述的微纳光纤的u形微纳光纤悬臂梁位于微纳光纤的中部。

3.根据权利要求1所述的基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置,其特征在于,所述的单晶金片粘附于u形微纳光纤悬臂梁的顶端。

4.根据权利要求1或2或3所述的基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置,其特征在于,所述的微纳光纤的u形微纳光纤悬臂梁暴露在空气...

【专利技术属性】
技术研发人员:余文张磊
申请(专利权)人:浙江大学
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1