下载基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置和制备方法的技术资料

文档序号:40197359

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了基于微纳光纤微弱力传感器的质量测量装置和制备方法,包括在低折射率MgF<subgt;2</subgt;衬底上布置双锥微纳光纤,构造U形微纳光纤悬臂梁结构,在U形微纳光纤悬臂梁顶端放置一块平滑平整的单晶金片,形成微天平...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。