研磨治具及研磨设备制造技术

本申请涉及一种研磨治具及研磨设备。研磨治具包括安装机构和治具机构，安装机构包括用于固定连接研磨机的定位环以及连接于定位环的基板，基板能够相对于定位环翻转运动；治具机构设置于基板上，治具机构包括治具本体和定位组件，治具本体用于可拆卸固定研磨对象并能够相对于基板沿第一方向移动，第一方向与基板相交，以带动研磨对象抵压于研磨机进行研磨；定位组件配置为在设定位置阻止治具本体的抵压运动，以对研磨对象的研磨位置定位。本申请的研磨治具与研磨机搭配使用，可实现半自动定点研磨，可有效地定位研磨且使研磨断面水平切齐，研磨品质稳定可靠，可按需求进行定位研磨，实现精确定位研磨位置，提高砂纸利用率，减少耗时，降低成本。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及机械研磨，特别是涉及研磨治具及研磨设备。

技术介绍

1、随着半导体技术的发展，半导体产品需要利用研磨进行制程的均匀度确认，通常指定不同平面方向定位进行研磨做断面分析。

2、相关技术中，多采用人工方式手动研磨，并通过人眼目视定位研磨位置。然而，人工手动研磨依赖于研磨经验，导致研磨品质不稳定，研磨工时不一致，且耗时较长，产能无法满足需求；而且砂纸利用率较低，耗材成本较高；同时，人眼目视无法精确定位研磨位置，可能会出现研磨超出指定位置的情况，存在研磨定位过量的问题。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对人工研磨的研磨品质不稳定，无法精确定位研磨位置，且耗时较长，耗材成本较高的问题，提供一种研磨治具及研磨设备。

2、第一方面，本申请提供一种研磨治具，包括：

3、安装机构，包括定位环和基板，所述定位环用于固定连接在研磨机上，所述基板连接于所述定位环，并能够相对于所述定位环翻转运动，所述基板具有支撑于所述定位环上的第一状态和与所述定位环相对张开的第二状态；以及

4本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种研磨治具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的研磨治具，其特征在于，所述安装机构还包括移动载板组件，所述移动载板组件包括移动载板，所述移动载板设置于所述基板上，并能够在所述基板上平移运动；所述治具机构支撑设置在所述移动载板上，所述移动载板带动所述治具机构移动，以调节所述研磨对象与所述研磨机的抵压位置；

3.根据权利要求2所述的研磨治具，其特征在于，所述安装机构包括多个所述移动载板组件，所述基板上设有多个贯穿的研磨开口，多个所述移动载板组件与多个所述研磨开口一一对应设置，多个所述移动载板组件用于安装多个所述治具机构。

4.根据权利要求1所...

【技术特征摘要】

1.一种研磨治具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的研磨治具，其特征在于，所述安装机构还包括移动载板组件，所述移动载板组件包括移动载板，所述移动载板设置于所述基板上，并能够在所述基板上平移运动；所述治具机构支撑设置在所述移动载板上，所述移动载板带动所述治具机构移动，以调节所述研磨对象与所述研磨机的抵压位置；

3.根据权利要求2所述的研磨治具，其特征在于，所述安装机构包括多个所述移动载板组件，所述基板上设有多个贯穿的研磨开口，多个所述移动载板组件与多个所述研磨开口一一对应设置，多个所述移动载板组件用于安装多个所述治具机构。

4.根据权利要求1所述的研磨治具，其特征在于，所述治具本体包括夹具、旋转轴及治具座，所述夹具用于夹持固定所述研磨对象；所述旋转轴平行于所述第一方向设置，并与所述夹具同轴连接；所述旋转轴可转动地安装在所述治具座上，驱动所述旋转轴转动，能够带动所述夹具绕沿所述第一方向的轴线转动，以调节所述研磨对象的研磨角度。

5.根据权利要求4所述的研磨治具，其特征在于，所述治具本体还包括锁定件，所述锁定件安装在所述治具座上，并套设于所述旋转轴外，所述锁定件被配置为能够夹紧或者释放所述旋转轴的外周壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨瑞伟，黄作进，徐同照，
申请(专利权)人：业桓科技成都有限公司，
类型：发明
国别省市：