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研磨治具及研磨设备制造技术
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文档序号:40196455
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本申请涉及一种研磨治具及研磨设备。研磨治具包括安装机构和治具机构,安装机构包括用于固定连接研磨机的定位环以及连接于定位环的基板,基板能够相对于定位环翻转运动;治具机构设置于基板上,治具机构包括治具本体和定位组件,治具本体用于可拆卸固定研磨对...
该专利属于业桓科技(成都)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过业桓科技(成都)有限公司授权不得商用。
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