本发明专利技术涉及相对于其他轴刚性而降低扭矩刚性的扭矩传感器。扭矩传感器具有：法兰(1)，其具有设置在外周侧并紧固有第1外部设备(101)的外周侧紧固部(11)、设置在内周侧并紧固有第2外部设备(102)的内周侧紧固部(12)、以及设置在该外周侧紧固部(11)与该内周侧紧固部(12)之间的传感部(14)；传感器元件(2)，其与法兰(1)上的传感部(14)接合；以及梁状构件(3)，其设置在法兰(1)上，梁状构件(3)具有：第1板部(31)，其主面沿着该法兰(1)的周向配置，一端侧与法兰(1)的外周侧连接，沿着该法兰(1)的轴向延伸；第2板部(32)，其主面沿着该法兰(1)的周向配置，一端侧与法兰(1)的内周侧连接，沿着该法兰(1)的轴向延伸；以及连结板部(33)，其连结第1板部(31)的另一端侧和第2板部(32)的另一端侧。
【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种检测扭矩的扭矩传感器。
技术介绍
1、扭矩传感器通过搭载在法兰上的作为传感器芯片的传感器元件来检测扭矩(绕扭矩轴的负荷)。作为该扭矩传感器中的扭矩的检测方法，可以举出通过消除或修正扭矩负荷以外的影响而仅检测扭矩的方法。
2、在以往的扭矩传感器中，例如如图9及图10所示，在盘状的法兰1上设有外周侧紧固部11、内周侧紧固部12、狭缝部13及传感部14。
3、外周侧紧固部11是紧固有第1外部设备(未图示)的部位。该外周侧紧固部11设置在法兰1的外周侧，在法兰1的一个面上紧固有上述第1外部设备。
4、在该外周侧紧固部11上沿周向设有多个孔111。孔111构成为能够插入螺栓等紧固构件(未图示)的轴部。并且，通过该孔111，上述第1外部设备经由上述紧固构件紧固在外周侧紧固部11上。
5、在图9和图10中，设置总共8个孔111。
6、内周侧紧固部12是紧固有第2外部设备(未图示)的部位。该内周侧紧固部12设置在法兰1的内周侧，在法兰1的另一个面上紧固有上述第2外部设备。
7、在该内周侧紧固部12上沿周向设有多个孔121。孔121构成为能够插入螺栓等紧固构件(未图示)的轴部。并且，通过该孔121，上述第2外部设备经由上述紧固构件紧固在内周侧紧固部12上。
8、在图9和图10中，设置总共8个孔121。
9、另外，例如，机器人的马达等驱动系统和机械手等负荷系统中的一方相当于第1外部设备，该驱动系统和该负荷系统中的另一方相当于第2外部设备。</p>10、狭缝部13是设置在法兰1的外周侧紧固部11与内周侧紧固部12之间的多个圆弧状的狭缝。该多个狭缝部13旋转对称地配置。在图9及图10中，设有8个狭缝部13。
11、该狭缝部13是用于提高对施加在扭矩传感器上的扭矩的灵敏度的部位。
12、传感部14设置在狭缝部13间，是设有传感器元件2的部位。在图9和图10中，在与扭矩轴(扭矩传感器的轴心)垂直的面(法兰面)上，传感部14以每隔90°设置的轴(传感器轴)为中心各设置一个，共计设置四处。
13、而且，传感器元件2与法兰1的传感部14接合。
14、另一方面，与该扭矩传感器的刚性相关的设计是与扭矩检测精度相关的重要要素(例如参照专利文献1)。在专利文献1中，在具备第1结构体和第2结构体的扭矩传感器中，示出了与刚性相关的重要性。
15、更具体而言，在扭矩传感器中，始终要求改善增大其他轴刚性(绕垂直于扭矩轴的轴即x轴的力矩、或者绕垂直于扭矩轴的轴即y轴的力矩的刚性)与扭矩刚性(绕扭矩轴即z轴的力矩的刚性)之比。
16、即，在扭矩传感器中，在扭矩刚性相对于其他轴刚性低的情况下，成为扭矩灵敏度高的结构。另外，在该情况下，扭矩传感器也能够减小因未完全消除的其他轴负荷的影响而引起的误差。
17、但是，在以往的扭矩传感器中，作为圆板构件的法兰的设计有限，不能相对于其他轴刚性而充分降低扭矩刚性。因此，在以往的扭矩传感器中，产生了因未完全消除的其他轴负荷的影响而引起的扭矩的检测误差。在此，例如在力控制中利用的扭矩中产生检测误差的情况下，与该力控制的误差直接相关。
18、现有技术文献
19、专利文献
20、专利文献1：日本特开2020-12660号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、这样，在以往的扭矩传感器中，不能相对于其他轴刚性而充分降低扭矩刚性。而且，其结果是，在以往的扭矩传感器中，产生了因未完全消除的其他轴负荷的影响而引起的扭矩的检测误差。
3、本公开是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够相对于其他轴刚性而降低扭矩刚性的扭矩传感器。
4、解决问题的技术手段
5、本公开的扭矩传感器具备：法兰，其具有设置在外周侧并紧固有第1外部设备的外周侧紧固部、设置在内周侧并紧固有第2外部设备的内周侧紧固部、以及设置在该外周侧紧固部与该内周侧紧固部之间的传感部；传感器元件，其与法兰中的传感部接合；以及梁状构件，其设置在法兰上，梁状构件具有：第1板部，其主面沿着该法兰的周向配置，一端侧与法兰的外周侧连接，沿该法兰的轴向延伸；第2板部，其主面沿着该法兰的周向配置，一端侧与法兰的内周侧连接，沿该法兰的轴向延伸；以及连结板部，其连结第1板部的另一端侧和第2板部的另一端侧。
6、专利技术的效果
7、根据本公开，由于如上述那样进行构成，因此与以往相比，能够相对于其他轴刚性而降低扭矩刚性。
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【技术保护点】
1.一种扭矩传感器，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的扭矩传感器，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的扭矩传感器，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的扭矩传感器，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的扭矩传感器，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种扭矩传感器，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的扭矩传感器，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的扭矩传...
【专利技术属性】
技术研发人员：栗原贤二，
申请(专利权)人：阿自倍尔株式会社，
类型：发明
国别省市：
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