【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种提高trl校准的传播延迟参数的准确度的方法。
技术介绍
1、矢量网络分析仪(vector network analyzer，vna)是射频微波测量领域最重要的测量仪器，主要用来测量元器件的散射参数(s参数)，进一步可以推导出增益、匹配、阻抗和隔离性等其它参数。矢量网络分析仪要求进行测量之前进行校准。常见的校准方法包括：开路-短路-负载-直通校准，英文为short-open-load-thru，简写为solt校准；直通-反射-传输线校准，英文为thru-reflect-line，简写为trl校准。
2、网络分析仪的测量参考面处于仪器线缆的接口处，因此当采用夹具对器件进行测量时，测试所得是待测器件与夹具的共同结果，为了获取待测器件的s参数则需要消除夹具的影响。trl校准可以消除夹具对于结果的影响，将测量参考面由夹具两端移动到待测器件两端，最终得到待测器件的s参数从而实现对待测器件的直接测量。
3、现有的用于trl校准的trl校准件并非是直接制作在晶圆上，而是制作在其它承载基板...
【技术保护点】
1.一种提高TRL校准的传播延迟参数的准确度的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，提供一叠层结构模型的步骤包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，提供一叠层结构模型的步骤中，所述第一宽度大于或者等于所述第一高度，根据所述第一高度、所述第一宽度以及所述基底的介电常数获得第一有效介电常数的步骤包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一频率小于或者等于15GHz，所述第二频率大于15GHz。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述第一有效介电常数、所述第一高...
【技术特征摘要】
1.一种提高trl校准的传播延迟参数的准确度的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，提供一叠层结构模型的步骤包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，提供一叠层结构模型的步骤中，所述第一宽度大于或者等于所述第一高度，根据所述第一高度、所述第一宽度以及所述基底的介电常数获得第一有效介电常数的步骤包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一频率小于或者等于15ghz，所述第二频率大于15ghz。
5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐彦波，林伟，
申请(专利权)人：长电科技管理有限公司，
类型：发明
国别省市：
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