【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种固态成像装置,包括:光接收单元,其形成在半导体基体中并用于执行光电转换;绝缘层,其布置在所述半导体基体上;膜,其与所述绝缘层一起构成波导的覆层,通过涂布技术使所述膜形成在孔的内部的外侧部分,所述孔在所述光接收单元的上方形成在所述绝缘层中;所述波导的芯部,所述芯部由具有比用于所述绝缘层的材料的折射率以及用于通过所述涂布技术形成的所述膜的材料的折射率更高的折射率的材料构成,所述芯部形成在所述孔的所述内部的内侧部分;以及内透镜,其与所述波导一体化,所述内透镜在所述孔的底部处在由所述涂布技术形成的所述膜与所述芯部之间的界面处形成透镜表面。
【技术特征摘要】
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