【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产设备，尤其涉及一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置。
技术介绍
1、在半导体生产设备中，常需要采用喷吹方式将微小颗粒和尘屑吹除，以减少对产品质量造成影响。这种除尘装置一般采用固定式风嘴出风，固定式风嘴结构的缺陷在于，其喷吹角度固定，容易造成除尘死角。这种除尘装置也存在气动式旋转出风结构，其将压缩空气通入腔体，通过腔体尾端的两个特殊角度喷气孔，在带动腔体旋转的同时，从喷气孔吐出的气流可将待清洁物体表面的粉尘搅动起来，为粉尘的收集作好准备。
2、例如，专利文献cn201505649u公开一种喷吹除尘装置，其包括：旋转结构，旋转结构包括一端封闭的主管道，至少一个设置于主管道外侧壁并与主管道相通的旋转管，旋转管上设置有通气时用于推动旋转管旋转的气门；旋接于旋转结构主管道另一端的进风管，进风管上端为进风口；至少一个设置主管道外侧壁上的旋转导管的上的排气管，排气管与主管道相通，排气管上设置有排气口；该除尘装置的可利用气体的反作用力带动排气管高频自动旋转，实现对工件全面除尘的的目的。又如，专利文献cn216095299u公开另一种喷吹除尘装置，其包括风嘴、进风管、左风切管、右风切管和旋转机构，进风管上套设旋转机构，旋转机构两侧螺纹连接左风切管、右风切管，左风切管与右风切管上分别气路连通有风嘴，风嘴、左风切管、右风切管和旋转机构为一个整体围绕进风管旋转，具有除尘覆盖面积广的优点。
3、然而，这种除尘装置采用的气动旋转结构决定了其转速不可控制，并且压缩气体的消耗量较大，旋转结构难以进行保养，无法更换损坏的
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，以提升除尘效果。
2、本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，包括：
4、固定进气构件，该固定进气构件通过管路与供气设备连通，由供气设备向固定进气构件输送压缩气体；
5、活动转接构件，该活动转接构件通过转动结构与固定进气构件连通，其可在固定进气构件上旋转，压缩气体可经固定进气构件进入活动转接构件内；
6、旋转排气构件，该旋转排气构件通过可拆卸连接结构安装于活动转接构件上，可随活动转接构件一同旋转，压缩气体可经活动转接构件进入旋转排气构件内，并在旋转排气构件的旋转过程中向外喷吹除尘；
7、旋转驱动构件，该旋转驱动构件安装于支承框架上，并与活动转接构件配合，由旋转驱动构件带动活动转接构件及旋转排气构件旋转。
8、在本技术的一个实施例中，还包括：
9、转速控制构件，该转速控制构件安装于旋转驱动构件上，并与活动转接构件配合，由转速控制构件根据活动转接构件的转速对旋转驱动构件的运行状态进行控制。
10、固定进气构件包括：
11、进气端管，该进气端管一端具有固定接头，另一端具有旋转接头，其通过固定接头与管路连通，并通过旋转接头与活动转接构件连通。
12、活动转接构件包括：
13、转接芯管，该转接芯管一端与进气端管的旋转接头连接，并与旋转接头内部连通，另一端与旋转排气构件连接，其可通过旋转接头在进气端管上旋转。
14、旋转排气构件包括：
15、旋转臂管，该旋转臂管安装于转接芯管上，并与转接芯管内部连通，可随转接芯管一同旋转，转接芯管内部的压缩气体可进入旋转臂管内；
16、排气喷嘴，该排气喷嘴安装于旋转臂管上，并与旋转臂管内部连通，旋转臂管内部的压缩气体可经排气喷嘴向外排出。
17、在本技术的一个实施例中，排气喷嘴包括正向喷嘴及斜向喷嘴，正向喷嘴安装于旋转臂管一端，其轴线与旋转臂管的轴线垂直，斜向喷嘴安装于旋转臂管另一端，其轴线与旋转臂管的轴线形成95度夹角。
18、旋转驱动构件包括：
19、驱动电机，该驱动电机的定子部分固定安装于支承框架上，其动子部分与转接芯管连接，由驱动电机带动转接芯管及旋转臂管一同旋转。
20、在技术的一个实施例中，转接芯管的轴线与驱动电机的轴线重合，并贯穿定子部分两端，以减小驱动电机与转接芯管之间传动结构所占空间。
21、转速控制构件包括：
22、控制电路板，该控制电路板安装于驱动电机的定子部件上，并通过控制线路与驱动电机的电源连接；
23、转速传感器，该转速传感器安装于驱动电机的定子部件上，并指向转接芯管方向，控制电路板通过控制线路与转速传感器连接，由转速传感器对转接芯管的转速进行感测，并向控制电路板发送转速数据，控制电路板通过转速数据对驱动电机的运行状态进行调节。
24、本技术的优点在于：
25、该喷吹除尘装置设置了带有排气喷嘴的旋转臂管，并将旋转臂管与转接芯管内部连通，转接芯管内部的压缩气体可进入旋转臂管内，旋转臂管内部的压缩气体可经排气喷嘴向外排出，还设置了驱动电机，驱动电机的动子部分与转接芯管连接，由驱动电机带动转接芯管及旋转臂管一同旋转，使得排气喷嘴在驱动电机的主动驱动下按设定速度旋转，对所覆盖区域的空气进行扰动，达到粉尘清除的目的。
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1.一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求1所述的一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，其特征在于，固定进气构件包括：
4.根据权利要求3所述的一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，其特征在于，活动转接构件包括：
5.根据权利要求4所述的一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，其特征在于，旋转排气构件包括：
6.根据权利要求5所述的一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，其特征在于，旋转驱动构件包括：
7.根据权利要求2或5所述的一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，其特征在于，转速控制构件包括：
【技术特征摘要】
1.一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求1所述的一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，其特征在于，固定进气构件包括：
4.根据权利要求3所述的一种具有电动旋转结构的喷吹除尘装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏明伟，
申请(专利权)人：上海启永电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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