【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总体上涉及质谱仪和离子迁移率谱仪，并且特别地涉及一种抽空此类谱仪的各个区域的方法。
技术介绍
1、质谱仪和离子迁移率谱仪包括离子源外壳和质量和/或迁移率分析器，在该离子源外壳中生成来自分析样品的离子，该质量和/或迁移率分析器用于分析离子(或源于这些离子的离子)。谱仪还可包括各种其他离子光学部件。通常，期望在低于大气压力的压力下操作一个或多个分析器和其他离子光学部件，因此这些部件被提供在由一个或多个真空泵抽吸的一个或多个真空室中。然而，在此类真空室中保持真空可能是困难的，特别是例如当移除离子源外壳时。
技术实现思路
1、依据第一方面，本专利技术提供了一种质谱仪和/或离子迁移率谱仪，该质谱仪和/或离子迁移率谱仪包括：离子源外壳；第一真空室，该第一真空室经由第一孔口与离子源外壳流体连通；隔离阀，该隔离阀用于至少部分地关闭第一孔口；和第一泵，该第一泵用于在隔离阀关闭时抽空离子源外壳。
2、本专利技术人已经认识到，通过将离子源外壳与第一真空室隔离并且直接抽空离子源外壳，则可避免...
【技术保护点】
1.一种质谱仪和/或离子迁移率谱仪，所述质谱仪和/或离子迁移率谱仪包括：
2.根据权利要求1所述的谱仪，所述谱仪包括在所述第一泵与所述离子源外壳之间的第一导管以及在所述第一泵与所述离子源外壳之间的第二不同导管，所述第一导管包括第一阀，所述第二不同导管包括第二阀；其中所述谱仪包括控制电路，所述控制电路被配置为使得：在第一模式下，所述谱仪打开所述第一阀，同时保持所述第二阀关闭，使得所述第一泵通过所述第一导管抽空所述离子源外壳，并且在随后的第二模式下，所述谱仪打开所述第二阀，同时保持所述第一阀关闭，使得所述第一泵通过所述第二导管抽空所述离子源外壳；其中当所述第一...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种质谱仪和/或离子迁移率谱仪，所述质谱仪和/或离子迁移率谱仪包括：
2.根据权利要求1所述的谱仪，所述谱仪包括在所述第一泵与所述离子源外壳之间的第一导管以及在所述第一泵与所述离子源外壳之间的第二不同导管，所述第一导管包括第一阀，所述第二不同导管包括第二阀；其中所述谱仪包括控制电路，所述控制电路被配置为使得：在第一模式下，所述谱仪打开所述第一阀，同时保持所述第二阀关闭，使得所述第一泵通过所述第一导管抽空所述离子源外壳，并且在随后的第二模式下，所述谱仪打开所述第二阀，同时保持所述第一阀关闭，使得所述第一泵通过所述第二导管抽空所述离子源外壳；其中当所述第一阀打开时，所述第一导管提供穿过其中的相对受限的气体通道，并且当所述第二阀打开时，所述第二导管提供穿过其中的相对较少受限的气体通道。
3.根据权利要求1或2所述的谱仪，所述谱仪包括在所述第一泵与所述离子源外壳之间的第一导管以及在所述第一泵与所述离子源外壳之间的第二不同导管，所述第一导管包括第一阀，所述第二不同导管包括第二阀；其中所述谱仪包括控制电路，所述控制电路被配置为使得：在第一模式下，所述谱仪打开所述第一阀，同时保持所述第二阀关闭，使得所述第一泵通过所述第一导管抽空所述离子源外壳，并且在随后的第二模式下，所述谱仪打开所述第一阀和所述第二阀两者，使得所述第一泵通过所述第一导管和所述第二导管两者抽空所述离子源外壳。
4.根据任一前述权利要求所述的谱仪，所述谱仪包括在所述第一泵与所述离子源外壳之间的导管，所述导管包括用于控制通过所述导管的气体流速的阀，并且所述谱仪包括控制电路，所述控制电路被配置为控制所述阀在第一模式下打开第一量，并且在随后的第二模式下打开更大的量。
5.根据任一前述权利要求所述的谱仪，其中所述谱仪被配置为：当所述离子源外壳中的压力已降低到第一阈值压力时或者在第一预设时间量之后，从以所述第一模式操作切换到开始以所述第二模式操作。
6.根据权利要求5所述的谱仪，其中所述谱仪被配置为：当所述离子源外壳内的压力已降低到低于所述第一阈值压力的第二阈值压力时，或者在比所述第一预设时间量长的第二预设时间量之后，打开所述隔离阀。
7.根据任一前述权利要求所述的谱仪，所述谱仪包括控制电路，所述控制电路被配置为控制所述谱仪，使得...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。