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用于质谱仪的真空系统技术方案
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文档序号:40159626
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本发明公开了一种质谱仪和/或离子迁移率谱仪,该质谱仪和/或离子迁移率谱仪包括:离子源外壳;第一真空室,该第一真空室经由第一孔口与所述离子源外壳流体连通;隔离阀,该隔离阀用于至少部分地关闭所述第一孔口;第一泵,该第一泵用于在隔离阀关闭时抽空离...
该专利属于英国质谱公司所有,仅供学习研究参考,未经过英国质谱公司授权不得商用。
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