【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅生产，具体而言，涉及一种碳化硅洁净室进风装置及碳化硅洁净室新风系统。
技术介绍
1、用于碳化硅生产的洁净室对通入气体的湿度与洁净度有较高要求，其湿度要求通常超出空调机组的调节范围，因此市面上通常将压缩空气与空调新风混合后导入洁净室，通过压缩空气进一步调节空调新风的湿度，从而达到洁净室的湿度要求。
2、实现的具体方式为将空气压缩机的输出端接入空调器的出风口，由于压缩气体压力很高，直接导入空调器的出风口的压缩气体过度集中，难以与空调新风混合均匀，导致送入洁净室不同区域的空气湿度不均匀。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种碳化硅洁净室进风装置，其能够将空气压缩机输出的压缩气体与空调机组输出的空调新风均匀混合后导入洁净室，从而保证洁净室不同区域的空气湿度均匀。
2、本技术的另一目的在于提供一种碳化硅洁净室新风系统，其能够将空气压缩机输出的压缩气体与空调机组输出的空调新风均匀混合后导入洁净室，从而保证洁净室不同区域的空气湿度均匀。
3、本技术的实施例提供一种技术方案：
4、一种碳化硅洁净室进风装置，包括混风主体、匀流板及散流件，所述混风主体设置有混风腔，所述混风腔具有用于向碳化硅洁净室送风的开口端；所述匀流板设置于所述混风腔内并遮挡所述开口端，所述匀流板上贯穿设置有多个匀流孔；所述混风主体上设置有空调接管及空压机接管，所述空调接管与所述混风腔连通，用于将空调新风输入所述混风腔，所述散流件容置于所述混风腔内，且所述散流件上
5、进一步地，所述空调接管设置于所述混风主体上与所述匀流板相对的一侧侧壁上。
6、进一步地，所述散流件处于所述空调接管与所述匀流板之间。
7、进一步地，多个所述出风嘴均朝向所述匀流板。
8、进一步地，所述散流件包括连接管、汇流管及多个分流管，所述连接管的一端与所述空压机接管连通，所述连接管远离所述空压机接管的一端与所述汇流管连通，多个所述分流管均与所述汇流管连通，多个所述分流管上均设置有所述出风嘴。
9、进一步地，多个所述分流管沿所述汇流管的长度方向依次间隔排布，且多个所述分流管相互平行。
10、进一步地，所述碳化硅洁净室进风装置还包括压缩空气过滤盒，所述压缩空气过滤盒设置于所述混风主体的外表面，所述空压机接管通过所述压缩空气过滤盒与所述散流件连通，所述压缩空气过滤盒用于对所述空压机接管引入的压缩空气进行过滤后导入所述散流件。
11、进一步地，所述碳化硅洁净室进风装置还包括空调新风过滤盒，所述空调新风过滤盒设置于所述混风主体的外表面，所述空调接管通过所述空调新风过滤盒与所述混风腔连通，所述空调新风过滤盒用于将所述空调接管引入的空调新风过滤后导入所述混风腔。
12、进一步地，所述碳化硅洁净室进风装置还包括出风过滤件，所述出风过滤件设置于所述开口端，用于对穿过所述匀流孔的混合气体过滤后排入碳化硅洁净室。
13、本技术的实施例还提供一种碳化硅洁净室新风系统，包括空调机组、空气压缩机及所述的碳化硅洁净室进风装置，所述碳化硅洁净室进风装置包括混风主体、匀流板及散流件，所述混风主体设置有混风腔，所述混风腔具有用于向碳化硅洁净室送风的开口端；所述匀流板设置于所述混风腔内并遮挡所述开口端，所述匀流板上贯穿设置有多个匀流孔；所述混风主体上设置有空调接管及空压机接管，所述空调接管与所述混风腔连通，用于将空调新风输入所述混风腔，所述散流件容置于所述混风腔内，且所述散流件上设置有多个与所述空压机接管连通的出风嘴，所述空压机接管用于将压缩空气通过多个所述出风嘴输入所述混风腔，所述空调接管与所述散流件均处于所述匀流板背离所述开口端的一侧。所述空调机组与所述空调接管连通，以通过所述空调接管向所述混风腔输送新风；所述空气压缩机与所述空压机接管连通，以通过所述空压机接管及所述散流件向所述混风腔输送压缩空气。
14、相比现有技术，本技术提供的碳化硅洁净室进风装置，其散流件能够将空压机接管引入的压缩空气均匀分散的输入混风腔内与空调新风进行混合，并且，匀流板能够对混风腔内的混合气体进行均匀分流，进一步提升压缩空气与空调新风混合的均匀性，从而保证输入碳化硅洁净室的新风湿度均匀。因此，本技术提供的碳化硅洁净室进风装置的有益效果包括：能够将压缩气体与空调新风均匀混合后导入洁净室，从而保证碳化硅洁净室内不同区域的空气湿度均匀。
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1.一种碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，包括混风主体(110)、匀流板(120)及散流件(130)，所述混风主体(110)设置有混风腔(111)，所述混风腔(111)具有用于向碳化硅洁净室送风的开口端(112)；所述匀流板(120)设置于所述混风腔(111)内并遮挡所述开口端(112)，所述匀流板(120)上贯穿设置有多个匀流孔(121)；所述混风主体(110)上设置有空调接管(113)及空压机接管(114)，所述空调接管(113)与所述混风腔(111)连通，用于将空调新风输入所述混风腔，所述散流件(130)容置于所述混风腔(111)内，且所述散流件(130)上设置有多个与所述空压机接管(114)连通的出风嘴(131)，所述空压机接管(114)用于将压缩空气通过多个所述出风嘴(131)输入所述混风腔，所述空调接管(113)与所述散流件(130)均处于所述匀流板(120)背离所述开口端(112)的一侧。
2.根据权利要求1所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述空调接管(113)设置于所述混风主体(110)上与所述匀流板(120)相对的一侧侧壁上。
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4.根据权利要求3所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，多个所述出风嘴(131)均朝向所述匀流板(120)。
5.根据权利要求1所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述散流件(130)包括连接管(132)、汇流管(133)及多个分流管(134)，所述连接管(132)的一端与所述空压机接管(114)连通，所述连接管(132)远离所述空压机接管(114)的一端与所述汇流管(133)连通，多个所述分流管(134)均与所述汇流管(133)连通，多个所述分流管(134)上均设置有所述出风嘴(131)。
6.根据权利要求5所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，多个所述分流管(134)沿所述汇流管(133)的长度方向依次间隔排布，且多个所述分流管(134)相互平行。
7.根据权利要求1所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述碳化硅洁净室进风装置(100)还包括压缩空气过滤盒(140)，所述压缩空气过滤盒(140)设置于所述混风主体(110)的外表面，所述空压机接管(114)通过所述压缩空气过滤盒(140)与所述散流件(130)连通，所述压缩空气过滤盒(140)用于对所述空压机接管(114)引入的压缩空气进行过滤后导入所述散流件(130)。
8.根据权利要求1所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述碳化硅洁净室进风装置(100)还包括空调新风过滤盒(150)，所述空调新风过滤盒(150)设置于所述混风主体(110)的外表面，所述空调接管(113)通过所述空调新风过滤盒(150)与所述混风腔(111)连通，所述空调新风过滤盒(150)用于将所述空调接管(113)引入的空调新风过滤后导入所述混风腔(111)。
9.根据权利要求1所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述碳化硅洁净室进风装置(100)还包括出风过滤件(160)，所述出风过滤件(160)设置于所述开口端(112)，用于对穿过所述匀流孔(121)的混合气体过滤后排入碳化硅洁净室。
10.一种碳化硅洁净室新风系统，其特征在于，包括空调机组、空气压缩机及如权利要求1-9任一项所述的碳化硅洁净室进风装置(100)，所述空调机组与所述空调接管(113)连通，以通过所述空调接管(113)向所述混风腔(111)输送新风；所述空气压缩机与所述空压机接管(114)连通，以通过所述空压机接管(114)及所述散流件(130)向所述混风腔(111)输送压缩空气。
...【技术特征摘要】
1.一种碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，包括混风主体(110)、匀流板(120)及散流件(130)，所述混风主体(110)设置有混风腔(111)，所述混风腔(111)具有用于向碳化硅洁净室送风的开口端(112)；所述匀流板(120)设置于所述混风腔(111)内并遮挡所述开口端(112)，所述匀流板(120)上贯穿设置有多个匀流孔(121)；所述混风主体(110)上设置有空调接管(113)及空压机接管(114)，所述空调接管(113)与所述混风腔(111)连通，用于将空调新风输入所述混风腔，所述散流件(130)容置于所述混风腔(111)内，且所述散流件(130)上设置有多个与所述空压机接管(114)连通的出风嘴(131)，所述空压机接管(114)用于将压缩空气通过多个所述出风嘴(131)输入所述混风腔，所述空调接管(113)与所述散流件(130)均处于所述匀流板(120)背离所述开口端(112)的一侧。
2.根据权利要求1所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述空调接管(113)设置于所述混风主体(110)上与所述匀流板(120)相对的一侧侧壁上。
3.根据权利要求2所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述散流件(130)处于所述空调接管(113)与所述匀流板(120)之间。
4.根据权利要求3所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，多个所述出风嘴(131)均朝向所述匀流板(120)。
5.根据权利要求1所述的碳化硅洁净室进风装置，其特征在于，所述散流件(130)包括连接管(132)、汇流管(133)及多个分流管(134)，所述连接管(132)的一端与所述空压机接管(114)连通，所述连接管(132)远离所述空压机接管(114)的一端与所述汇流管(133)连通，多个所述分流管(134)均与所述汇流管(133)连通，多个所述分流管(134)上...
【专利技术属性】
技术研发人员：简征程，卫元元，张建，王奇缘，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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