【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体检测设备领域，尤其是涉及一种光阑位置可调装置及半导体检测设备。
技术介绍
1、近年来，随着半导体行业的高速发展，晶圆制造工艺中的缺陷检测设备需求也越来越广泛。由于晶圆需要被检测的特征都是属于微观尺寸，常用的光学检测设备已经无法满足使用要求。所有现有晶圆检测设备都是电子束检测。为保证电子束检测的清晰成像，需要在电子束泵源与被检测工件之间加装光阑，保证检测电子束的最中心束流通过，其余电子被拦截。
2、光阑上设有多个光阑孔以适配不同规格的电子束流，一般设有机械结构以调节光阑位置从而实现光阑孔与电子束流的匹配，然而用于调节光阑位置的机械结构一般采用手动调节方式，效率较低，精度较差。
技术实现思路
1、本申请提供了一种光阑位置可调装置及半导体检测设备，以解决现有技术提供的调试效率低，精度差的技术问题。
2、根据本申请的一个方面，提供了一种光阑位置可调装置，该光阑位置可调装置包括第一调节机构、第二调节机构、活动机构及光阑组件；活动机构包括第二筒组件及导向杆组件，...
【技术保护点】
1.一种光阑位置可调装置，其特征在于，包括第一调节机构、第二调节机构、活动机构及光阑组件；
2.根据权利要求1所述的光阑位置可调装置，其特征在于，所述第一调节机构包括第一动力构件、第一筒组件以及第一弹性件；
3.根据权利要求2所述的光阑位置可调装置，其特征在于，所述第二筒组件包括第二筒体以及第二限位卡环，所述第二限位卡环设置于所述第二筒体内并连接于所述第二筒体；
4.根据权利要求3所述的光阑位置可调装置，其特征在于，所述导向杆组件包括导向杆以及滑杆，所述导向杆沿所述第一方向穿过所述第一筒体，所述滑杆沿所述导向杆的径向延伸并连接于所述
【技术特征摘要】
1.一种光阑位置可调装置，其特征在于，包括第一调节机构、第二调节机构、活动机构及光阑组件；
2.根据权利要求1所述的光阑位置可调装置，其特征在于，所述第一调节机构包括第一动力构件、第一筒组件以及第一弹性件；
3.根据权利要求2所述的光阑位置可调装置，其特征在于，所述第二筒组件包括第二筒体以及第二限位卡环，所述第二限位卡环设置于所述第二筒体内并连接于所述第二筒体；
4.根据权利要求3所述的光阑位置可调装置，其特征在于，所述导向杆组件包括导向杆以及滑杆，所述导向杆沿所述第一方向穿过所述第一筒体，所述滑杆沿所述导向杆的径向延伸并连接于所述导向杆；
5.根据权利要求3所述的光阑位置可调装置，其特征在于，所述第二筒组件还包括形变套管，所述形变套管设置于所述第二筒体外并...
【专利技术属性】
技术研发人员：张立杰，李帅辰，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。