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本申请属于半导体检测设备领域，尤其是涉及一种光阑位置可调装置及半导体检测设备。该光阑位置可调装置包括第一调节机构、第二调节机构、活动机构及光阑组件；活动机构包括第二筒组件及导向杆组件，导向杆组件活动连接于第二筒组件并沿第一方向穿过第二筒组件...
该专利属于东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司授权不得商用。

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