本申请涉及一种基于四极质谱计的极小真空流量测量方法及装置。其中，所述方法包括：获取真空测量的四极质谱计扫描线位置；改变所述四极质谱计扫描线位置，得到所述真空测量的四极质谱计扫描线更新位置；根据所述四极质谱计扫描线更新位置，确定所述真空测量的特定质量数扫描区间；根据所述四极质谱计扫描线更新位置和所述特定质量数扫描区间，对所述真空测量的待测气体离子进行测量。本申请实施例针对四极质谱计测量极小真空流量信号微弱和稳定性差的问题，通过改变四极质谱计扫描线位置和增大特定质量数扫描区间，来提升待测气体的信号值并改善其稳定性；完成了极小真空流量的测量。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空流量测量，更为具体来说，本专利技术涉及一种基于四极质谱计的极小真空流量测量方法及装置。
技术介绍
1、10-10pam3/s以下的极小气体流量测量技术研究，是真空计量领域的一项重要而又前沿的课题，它常被用来在各真空计量机构进行真空标准漏孔的校准和真空密封器件的漏率检测。
2、随着我国航天、核工业和微机电系统(mems)等领域的快速发展，对极小气体流量的精确测量提出了迫切需求。不论是月球样品密封装置、高能加速器、受控核聚变装置中用到的真空漏率测量和载人飞船舱门检漏中用到的正压漏率测量，还是mems器件的长寿命和小体积对封装密封的极限漏率要求，均与高精度极小气体流量测量技术密不可分。
3、探月三期采样返回目标的成功，月球样品封装装置的极小真空漏率精确测量功不可没，因为该任务要在月球表面极高真空条件下对月壤进行无人自动封装，封装装置直接影响科学目标的实现。在重离子加速器和同步辐射光源等高能物理领域，真空系统的漏率决定着系统内超高/极高真空的获得与维持，直接影响着束流的寿命。在核聚变装置中，也需要保持超高/极高真空，否则难以达到上亿度的超高温度，因此准确测量极小漏率尤为重要。在载人航天工程中，需要采用舱门检漏仪器对舱门、交会对接密封面的极小正压漏率进行测量，测量结果的准确性关乎航天员的生命安全和交会对接任务的顺利实施。在mems器件封装中，对于容积约1μl、内部压力在103pa维持15年的器件中，其允许的最大漏率仅为2×10-15pam3/s。
技术实现思路</p>1、本申请实施例提供了一种基于四极质谱计的极小真空流量测量方法及装置。为了对披露的实施例的一些方面有一个基本的理解，下面给出了简单的概括。该概括部分不是泛泛评述，也不是要确定关键/重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围。其唯一目的是用简单的形式呈现一些概念，以此作为后面的详细说明的序言。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种基于四极质谱计的极小真空流量测量方法，该方法包括：
3、获取真空测量的四极质谱计扫描线位置；
4、改变所述四极质谱计扫描线位置，得到所述真空测量的四极质谱计扫描线更新位置；
5、根据所述四极质谱计扫描线更新位置，确定所述真空测量的特定质量数扫描区间；
6、根据所述四极质谱计扫描线更新位置和所述特定质量数扫描区间，对所述真空测量的待测气体离子进行测量。
7、可选的，所述改变所述四极质谱计扫描线位置，包括：
8、通过减小直流扫描电压改变所述四极质谱计扫描线位置。
9、可选的，所述根据所述四极质谱计扫描线更新位置，确定所述真空测量的特定质量数扫描区间，包括：
10、根据所述四极质谱计扫描线更新位置和选峰放大方法，确定所述真空测量的特定质量数扫描区间。
11、第二方面，本申请实施例提供了一种基于四极质谱计的极小真空流量测量装置，该装置包括：
12、获取模块，用于获取真空测量的四极质谱计扫描线位置；
13、位置更新模块，用于改变所述四极质谱计扫描线位置，得到所述真空测量的四极质谱计扫描线更新位置；
14、区间确定模块，用于根据所述四极质谱计扫描线更新位置，确定所述真空测量的特定质量数扫描区间；
15、测量模块，用于根据所述四极质谱计扫描线更新位置和所述特定质量数扫描区间，对所述真空测量的待测气体离子进行测量。
16、可选的，所述位置更新模块，用于通过减小直流扫描电压改变所述四极质谱计扫描线位置，得到所述真空测量的四极质谱计扫描线更新位置。
17、可选的，所述区间确定模块，用于根据所述四极质谱计扫描线更新位置和选峰放大方法，确定所述真空测量的特定质量数扫描区间。
18、第三方面，本申请实施例提供一种计算机存储介质，计算机存储介质存储有多条指令，指令适于由处理器加载并执行上述的方法步骤。
19、第四方面，本申请实施例提供一种终端，可包括：处理器和存储器；其中，存储器存储有计算机程序，计算机程序适于由处理器加载并执行上述的方法步骤。
20、本申请实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：
21、在本申请实施例中，所述基于四极质谱计的极小真空流量测量方法，首先获取真空测量的四极质谱计扫描线位置；然后改变所述四极质谱计扫描线位置，得到所述真空测量的四极质谱计扫描线更新位置；其次根据所述四极质谱计扫描线更新位置，确定所述真空测量的特定质量数扫描区间；最后根据所述四极质谱计扫描线更新位置和所述特定质量数扫描区间，对所述真空测量的待测气体离子进行测量。本申请针对四极质谱计测量极小真空流量信号微弱和稳定性差的问题，通过改变四极质谱计扫描线位置和增大特定质量数扫描区间，来提升待测气体的信号值并改善其稳定性；完成了极小真空流量的测量。
22、在本申请实施例中，所述基于四极质谱计的极小真空流量测量方法，首先获取真空测量的四极质谱计扫描线位置；然后通过减小直流扫描电压改变所述四极质谱计扫描线位置，得到所述真空测量的四极质谱计扫描线更新位置；其次根据所述四极质谱计扫描线更新位置和选峰放大方法，确定所述真空测量的特定质量数扫描区间；最后根据所述四极质谱计扫描线更新位置和所述特定质量数扫描区间，对所述真空测量的待测气体离子进行测量。本申请实施例通过减小直流扫描电压，使得四极质谱计扫描线位置下移，能够通过的离子数大大增加，待测气体的信号值得到提升；通过增大特定质量数扫描区间，使得待测气体离子信号值放大近一个量级，并改善稳定性。
23、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本专利技术。
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【技术保护点】
1.一种基于四极质谱计的极小真空流量测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的极小真空流量测量方法，其特征在于，所述改变所述四极质谱计扫描线位置，包括：
3.根据权利要求1所述的极小真空流量测量方法，其特征在于，所述根据所述四极质谱计扫描线更新位置，确定所述真空测量的特定质量数扫描区间，包括：
4.一种基于四极质谱计的极小真空流量测量装置，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的极小真空流量测量装置，其特征在于，所述位置更新模块，用于通过减小直流扫描电压改变所述四极质谱计扫描线位置，得到所述真空测量的四极质谱计扫描线更新位置。
6.根据权利要求4所述的极小真空流量测量装置，其特征在于，所述区间确定模块，用于根据所述四极质谱计扫描线更新位置和选峰放大方法，确定所述真空测量的特定质量数扫描区间。
7.一种计算机存储介质，其特征在于，所述计算机存储介质存储有多条指令，所述指令适于由处理器加载并执行如权利要求1-3任意一项的方法步骤。
8.一种终端，其特征在于，包括：处理器和存储器；其中，所述存储器存储有计算机程序，所述计算机程序适于由所述处理器加载并执行如权利要求1-3任意一项的方法步骤。
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【技术特征摘要】
1.一种基于四极质谱计的极小真空流量测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的极小真空流量测量方法，其特征在于，所述改变所述四极质谱计扫描线位置，包括：
3.根据权利要求1所述的极小真空流量测量方法，其特征在于，所述根据所述四极质谱计扫描线更新位置，确定所述真空测量的特定质量数扫描区间，包括：
4.一种基于四极质谱计的极小真空流量测量装置，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的极小真空流量测量装置，其特征在于，所述位置更新模块，用于通过减小直流扫描电压改变所述四极质谱计扫描线...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯天佑，陈联，赵澜，王星辉，郭文，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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