【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池片制造，具体地，涉及一种用于搬运半片硅片的搬运装置及电池生产设备。
技术介绍
1、在太阳能电池片的制作过程中要经过制绒、扩散、湿法刻蚀、等离子体增强化学气相沉积和印刷烧结等重要工序，其中，等离子体增强化学气相沉积工序的工艺目的是在硅片表面沉积一层能够起到减弱反射和钝化作用的氮化硅膜。此过程通常采用搬运装置将整片硅片从花篮中取出并插入石墨舟中，再将石墨舟推入真空镀膜设备中进行镀膜，镀膜完成后将整片硅片分割成半片硅片。这样，工序较多，生产效率低。
2、为了提升生产效率，现有的示例中，一般将用于运输整片硅片的搬运装置直接用来搬运半片硅片，将半片硅片插入石墨舟中，再沉积氮化硅膜，则镀膜完成后无需将整片硅片划分成半片硅片。但是，
3、采用这种工艺，产能较低。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种用于搬运半片硅片的搬运装置及电池生产设备。
2、为实现本技术的目的而提供一种搬运装置，用于搬运半片硅片，搬运装置包括多个爪和多个独立的传送系统，
3、各个爪用于与半片硅片上第一面和第二面中的至少一者接触，以抓取半片硅片，第一面和第二面沿半片硅片的厚度方向相背设置；且各个爪沿第一水平方向的尺寸小于等于半片硅片沿第一水平方向的尺寸，第一水平方向、第二水平方向与竖直方向互相垂直，第二水平方向平行于半片硅片的厚度方向；
4、多个独立的传送系统与多个爪一一对应的电连接，每个传送系统能够用于控制
5、如上所述的搬运装置，其中，爪包括沿第二水平方向平行且间隔设置的多个手指部，每个手指部能够对应的抓取一个半片硅片。
6、如上所述的搬运装置，其中，手指部为吸附板，吸附板与对应的半片硅片的第一面或第二面之间形成负压，以吸附住对应的半片硅片。
7、如上所述的搬运装置，其中，吸附板为内部中空结构，吸附板沿第二水平方向的一面上设有至少一个气口，气口与吸附板的内部中空空间连通；传送系统包括真空泵，真空泵通过内部中空空间与气口连通。
8、如上所述的搬运装置，其中，每个气口内对应的安装有吸盘，吸盘具有相对的通气孔和敞口，通气孔与气口连通，吸盘与对应的半片硅片的第一面或第二面接触，以封堵住敞口。
9、如上所述的搬运装置，其中，手指部包括沿第二水平方向相对设置的第一夹板和第二夹板，第一夹板和第二夹板分别用于与半片硅片的第一面和第二面接触，以夹持半片硅片。
10、如上所述的搬运装置，其中，传送系统包括控制器、驱动装置和基座，基座与爪连接以及与驱动装置传动连接；控制器能够控制驱动装置带动基座沿竖直方向、第一水平方向和第二水平方向运动。
11、作为另一个技术方案，本技术还提供一种电池生产设备，包括：石墨舟和本技术的上述任一种搬运装置；
12、石墨舟包括多个舟片，多个舟片沿其厚度方向平行且间隔设置，每个舟片沿其长度方向依次设置有多个通孔，每个通孔的外侧围绕设置有多个卡点；
13、搬运装置用于抓取半片硅片并能够将半片硅片放置于舟片沿其厚度方向的一侧，使得半片硅片的边缘与围绕一通孔的多个卡点卡紧，以固定半片硅片。
14、如上所述的电池生产设备，其中，每个通孔包括平行且间隔设置的顶壁和底壁，顶壁和底壁与舟片的长度方向之间成预设夹角；搬运装置的多个传送系统能够分别将对应的爪抓取的半片硅片倾斜放置于舟片的一侧，且半片硅片的底面与舟片的长度方向之间成角度。
15、如上所述的电池生产设备，其中，石墨舟还包括连接杆，各个舟片的顶端均设有连接孔，连接杆沿舟片的厚度方向依次穿设在各个连接孔内。
16、本技术具有以下有益效果：
17、本技术提供的用于搬运半片硅片的搬运装置及电池生产设备，该搬运装置通过设计有多个爪和多个独立的传送系统，每个传送系统能够控制对应的爪抓取半片硅片，并通过改变爪的位置使得半片硅片能够放置于石墨舟的舟片上。由此，该搬运装置单次能够运输多个半片硅片，进而提升了生产产能。
18、而且，与抓取整片硅片的爪相比，本实施例中搬运装置的爪的尺寸被缩减，爪与半片硅片相适应。这样，一方面，有利于避免产能浪费；另一方面，有利于避免搬运装置占用过大的生产场地，有利于节省生产成本。
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1.一种搬运装置，用于搬运半片硅片，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述爪包括沿所述第二水平方向平行且间隔设置的多个手指部，每个所述手指部能够对应的抓取一个所述半片硅片。
3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述手指部为吸附板，所述吸附板与对应的所述半片硅片的所述第一面或所述第二面之间形成负压，以吸附住对应的所述半片硅片。
4.根据权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，所述吸附板为内部中空结构，所述吸附板沿所述第二水平方向的一面上设有至少一个气口，所述气口与所述吸附板的内部中空空间连通；
5.根据权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，每个所述气口内对应的安装有吸盘，所述吸盘具有相对的通气孔和敞口，所述通气孔与所述气口连通，所述吸盘与对应的所述半片硅片的所述第一面或所述第二面接触，以封堵住所述敞口。
6.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述手指部包括沿所述第二水平方向相对设置的第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和所述第二夹板分别用于与所述半片硅片的所述第一面和所述第二面接
7.根据权利要求1至6任一项所述的搬运装置，其特征在于，所述传送系统包括控制器、驱动装置和基座，所述基座与所述爪连接以及与所述驱动装置传动连接；
8.一种电池生产设备，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的电池生产设备，其特征在于，
10.根据权利要求8所述的电池生产设备，其特征在于，所述石墨舟还包括连接杆，各个所述舟片的顶端均设有连接孔，所述连接杆沿所述舟片的厚度方向依次穿设在各个所述连接孔内。
...【技术特征摘要】
1.一种搬运装置，用于搬运半片硅片，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述爪包括沿所述第二水平方向平行且间隔设置的多个手指部，每个所述手指部能够对应的抓取一个所述半片硅片。
3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述手指部为吸附板，所述吸附板与对应的所述半片硅片的所述第一面或所述第二面之间形成负压，以吸附住对应的所述半片硅片。
4.根据权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，所述吸附板为内部中空结构，所述吸附板沿所述第二水平方向的一面上设有至少一个气口，所述气口与所述吸附板的内部中空空间连通；
5.根据权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，每个所述气口内对应的安装有吸盘，所述吸盘具有相对的通气孔和敞口，所述通气孔与所述气口连通，所述吸盘与对应的...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁力，丁志强，陈奕峰，
申请(专利权)人：天合光能股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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