【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压力控制，具体涉及一种高精度恒压控制装置及系统。
技术介绍
1、恒压装置是一种能够提供稳定压力环境的装置，是一些实验环境所需的基本设备，常用于化学反应实验、石油化工领域和科学实验等方面。
2、恒压装置中的压力控制精度依赖所使用的压力计精度，恒压装置通常使用高准确度、高稳定性的活塞压力计对压力进行监测，活塞压力计包括缸体和活塞，活塞可滑动地设于缸体内，活塞将缸体分隔为上部空间和下部空间，下部空间通入待测的工作气体，上部空间放置标准砝码，待活塞处于平衡位置后，根据得出的压力值作为反馈信号进行恒压装置的压力控制。
3、然而，由于活塞压力计的活塞与缸体之间存在有微小的间隙，活塞下部空间内的工作气体会通过此间隙泄漏、损失，从而导致活塞压力计测得压力不稳定，并且工作气体传输过程会出现气体压力连续脉冲波动的情况，影响恒压装置的压力控制精度。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种高精度恒压控制装置及系统，解决或至少部分解决现有技术中存在的问题。
2、本专利技术的第一方面提供一种高精度恒压控制装置，包括：
3、气体传输管路；
4、第一质量流量计和第二质量流量计，沿气体传输方向依次设于所述气体传输管路上，且至少所述第二质量流量计允许通过的气体流量可调；
5、活塞压力计，包括缸体和活塞，所述活塞可滑动地设于所述缸体内，所述活塞将所述缸体分隔为上部空间和下部空间；
6、恒压腔体；
7、所述第一质量
8、位移传感器，用于测量所述活塞的高度；
9、控制器，与所述位移传感器和所述第二质量流量计电性连接，以根据所述活塞的高度变化调节所述第二质量流量计允许通过的气体流量。
10、根据本专利技术提供的高精度恒压控制装置，还包括：
11、辅助监测单元，所述辅助监测单元包括辅助管路和测压器件；
12、其中，所述第一质量流量计和所述第二质量流量计之间的所述气体传输管路与所述辅助管路连通；
13、所述测压器件设于所述辅助管路上，用于测量所述辅助管路内的压力。
14、根据本专利技术提供的高精度恒压控制装置，所述辅助监测单元还包括第一缓冲腔体，设于所述辅助管路上。
15、根据本专利技术提供的高精度恒压控制装置，所述测压器件包括：
16、第一压力传感器和第二压力传感器，依次设于所述辅助管路上。
17、根据本专利技术提供的高精度恒压控制装置，所述第一质量流量计和所述第二质量流量计之间的所述气体传输管路上设有三通阀，所述三通阀包括第一端、第二端和第三端；
18、其中，所述第一端与所述第一质量流量计的出气端连通，所述第二端与所述第二质量流量计的进气端连通。
19、根据本专利技术提供的高精度恒压控制装置，还包括：
20、四通阀，所述四通阀包括第四端、第五端、第六端和第七端；
21、其中，所述第四端与所述三通阀的第三端连通，所述第五端与所述恒压腔体连通，所述第六端与所述活塞压力计下部空间连通，所述第七端与所述辅助管路连通。
22、根据本专利技术提供的高精度恒压控制装置，还包括：
23、气瓶，与所述气体传输管路连通；
24、减压阀，设于所述气瓶与所述第一质量流量计之间的所述气体传输管路上；
25、第二缓冲腔体，设于所述减压阀与所述第一质量流量计之间的所述气体传输管路上。
26、根据本专利技术提供的高精度恒压控制装置，所述第二质量流量计的出气端与第一机械泵连通，所述第一机械泵用于对所述第二质量流量计的出气端进行抽气。
27、根据本专利技术提供的高精度恒压控制装置，所述活塞压力计上部空间与第二机械泵连通，所述第二机械泵用于对所述活塞压力计上部空间进行抽气。
28、本专利技术的第二方面提供一种恒压控制系统，包括如上所述的高精度恒压控制装置。
29、有益效果：本专利技术提供的高精度恒压控制装置，包括气体传输管路、第一质量流量计、第二质量流量、活塞压力计、恒压腔体、位移传感器和控制器，通过设置第一质量流量计和第二质量流量计，且设定第二质量流量计允许通过的气体流量值小于第一质量流量计允许通过的气体流量值，使第一质量流量计和第二质量流量计之间产生的工作气体流量差进入活塞压力计下部空间和恒压腔体使用，经过第一质量流量计和第二质量流量计的稳压及限流，可以使进入活塞压力计下部空间和恒压腔体内的工作气体气压稳定，并且活塞压力计下部空间、恒压腔体以及第一质量流量计和第二质量流量计之间的气体传输管路三者连通，气体压力相等，活塞压力计测得的气压值即为恒压腔体内的气压值，并通过控制器以位移传感器测得的活塞高度作为压力控制的反馈信号对第二质量流量计的允许通过的气体流量值进行调节，避免由于活塞压力计下部空间工作气体泄露而影响整个装置的压力控制精度，从而提高整个装置压力控制的高精度和高灵敏度。
30、进一步，在本专利技术提供的恒压控制系统中，由于具备如上所述的高精度恒压控制装置，因此同样具备如上所述的各种优势。
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1.一种高精度恒压控制装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高精度恒压控制装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的高精度恒压控制装置，其特征在于，所述辅助监测单元还包括第一缓冲腔体(8)，设于所述辅助管路(7)上。
4.根据权利要求2或3所述的高精度恒压控制装置，其特征在于，所述测压器件包括：
5.根据权利要求2所述的高精度恒压控制装置，其特征在于，所述第一质量流量计(2)和所述第二质量流量计(3)之间的所述气体传输管路(1)上设有三通阀(11)，所述三通阀(11)包括第一端、第二端和第三端；
6.根据权利要求5所述的高精度恒压控制装置，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求1所述的高精度恒压控制装置，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求1所述的高精度恒压控制装置，其特征在于，所述第二质量流量计(3)的出气端与第一机械泵(18)连通，所述第一机械泵(18)用于对所述第二质量流量计(3)的出气端进行抽气。
9.根据权利要求1或8所述的高精度恒压控制装置，其特征在
10.一种恒压控制系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的高精度恒压控制装置。
...【技术特征摘要】
1.一种高精度恒压控制装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高精度恒压控制装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的高精度恒压控制装置，其特征在于，所述辅助监测单元还包括第一缓冲腔体(8)，设于所述辅助管路(7)上。
4.根据权利要求2或3所述的高精度恒压控制装置，其特征在于，所述测压器件包括：
5.根据权利要求2所述的高精度恒压控制装置，其特征在于，所述第一质量流量计(2)和所述第二质量流量计(3)之间的所述气体传输管路(1)上设有三通阀(11)，所述三通阀(11)包括第一端、第二端和第三端；
6.根据权利要求5所述的高...
【专利技术属性】
技术研发人员：高波，张海洋，孔祥杰，张震，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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