【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶体硅太阳电池制造，具体涉及一种链式机台局部刻蚀装置。
技术介绍
1、现有晶体硅太阳电池的制备过程中，需要用到链式湿法刻蚀机来去除背面磷硅玻璃或者硼硅玻璃等介质薄膜。现有的链式湿法刻蚀机装置，其结构如图6所示，刻蚀机台的结构包括辊轮轴芯14、辊轮轴承5和辊轮齿15与药液槽1。辊轮直径的2/3部分浸入药液槽的液面，辊轮滚动时，除了传动硅片，由于药液张力与辊轮齿间距毛细效应的作用，辊轮齿之间的狭缝会携带药液与硅片背面接触，并且只接触硅片背面而不翻到硅片的正面。化学药液和硅片背面的介质薄膜发生反应，从而将介质薄膜从硅片背面去除。链式湿法刻蚀机的刻蚀辊轮的辊轮齿沿着辊轮轴芯均匀分布，使得化学药液整面接触硅片背面，并将硅片背面的介质薄膜整面去除。
2、目前的链式刻蚀机台只能实现单面的刻蚀反应，对于正面需要局部接触钝化的topcon电池结构，需要只对正面进行局部刻蚀或者对背面的介质薄膜进行刻蚀的同时对正面介质薄膜进行局部刻蚀，现有的链式刻蚀方式就无法实现，需要多次刻蚀，并且需要通过丝网印刷或者其它方式在硅片正面的介质薄膜上设置一层具有特定图案的掩膜层。在掩膜的保护下进行硅片介质薄膜的局部刻蚀，这种介质薄膜局部刻蚀的方式，增加了工艺步骤且较为复杂，并且成本也较高。因此，亟需设计一种链式机台局部刻蚀装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种链式机台局部刻蚀装置，以解决现有技术中的上述不足之处。
2、为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：p>
3、一种链式机台局部刻蚀装置，包括药液槽，所述药液槽顶部两侧的支板上固定安装有刻蚀下辊轮，所述药液槽顶部两侧的支板上滑动安装有刻蚀上辊轮，所述刻蚀下辊轮和刻蚀上辊轮之间设置有硅片，所述刻蚀上辊轮的上方设置有同步移动的匀流管，且匀流管的上方固定设置有滴液组件，所述药液槽顶部两侧的支板上均固定安装有升降机构，且升降机构与刻蚀上辊轮传动连接。
4、进一步的，所述刻蚀下辊轮和刻蚀上辊轮的两端均设置有辊轮轴承，且刻蚀下辊轮的辊轮轴承固定安装在药液槽顶部两侧的支板上。
5、进一步的，所述下辊轮和刻蚀上辊轮均包括辊轮轴芯，且刻蚀上辊轮的辊轮轴芯的外壁上固定设置有上辊轮齿，所述上辊轮齿的相邻轮齿之间的间距为1-5mm、齿牙间距0.03-0.6mm、齿深度0.3-0.8mm。
6、进一步的，所述药液槽顶部两侧的支板上均开有导向槽，且刻蚀上辊轮的辊轮轴芯滑动插接在导向槽的内部。
7、进一步的，所述刻蚀下辊轮的滚轮轴芯的外壁上固定安装有下辊轮齿，且下辊轮齿沿着下辊轮刻蚀下辊轮的滚轮轴芯方向均匀分布，所述下辊轮齿的单个牙间距0.05-0.6mm、齿牙深度0.3-0.8mm、辊轮直径为20-40mm。
8、进一步的，所述刻蚀上辊轮的辊轮轴芯的端部设置有固定安装在支板上的驱动电机二，所述刻蚀下辊轮的辊轮轴芯的端部设置有固定安装在支板上驱动电机一。
9、进一步的，所述滴液组件包括储液罐，所述储液罐一侧的外壁上固定安装有输液管，且输液管上分别固定设置有气动阀和手动调节阀。
10、进一步的，所述匀流管底部的外壁上固定安装有若干个等距离分布的滴液管，且匀流管的侧壁上设置有若干个对滴液管相对应的流量控制阀。
11、进一步的，所述升降机构包括固定安装在药液槽两侧支板上的推杆电机，且推杆电机的输出轴上传动连接有丝杆，所述丝杆的两端外部均设置有固定在支板上的轴承座，所述丝杆的外部传动连接有丝杆螺母，且丝杆螺母通过轴套与刻蚀上辊轮的辊轮轴芯相连接。
12、进一步的，所述匀流管的两端均固定安装有支撑杆，且支撑杆固定安装在丝杆螺母一侧的外壁上。
13、在上述技术方案中，本技术提供的一种链式机台局部刻蚀装置，可同时实现对硅片的正面局部刻蚀或正背面的同时刻蚀，使双面接触钝化的电池工艺更容易实现。
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1.一种链式机台局部刻蚀装置，包括药液槽(1)，其特征在于，所述药液槽(1)顶部两侧的支板上固定安装有刻蚀下辊轮(2)，所述药液槽(1)顶部两侧的支板上滑动安装有刻蚀上辊轮(4)，所述刻蚀下辊轮(2)和刻蚀上辊轮(4)之间设置有硅片(3)，所述刻蚀上辊轮(4)的上方设置有同步移动的匀流管(7)，且匀流管(7)的上方固定设置有滴液组件(16)，所述药液槽(1)顶部两侧的支板上均固定安装有升降机构(24)，且升降机构(24)与刻蚀上辊轮(4)传动连接。
2.根据权利要求1所述的一种链式机台局部刻蚀装置，其特征在于，所述刻蚀下辊轮(2)和刻蚀上辊轮(4)的两端均设置有辊轮轴承(5)，且刻蚀下辊轮(2)的辊轮轴承(5)固定安装在药液槽(1)顶部两侧的支板上。
3.根据权利要求1所述的一种链式机台局部刻蚀装置，其特征在于，所述下辊轮(2)和刻蚀上辊轮(4)均包括辊轮轴芯(14)，且刻蚀上辊轮(4)的辊轮轴芯(14)的外壁上固定设置有上辊轮齿(6)，所述上辊轮齿(6)的相邻轮齿之间的间距为1-5mm、齿牙间距0.03-0.6mm、齿深度0.3-0.8mm。
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