【技术实现步骤摘要】
本技术涉及链式湿法刻蚀机的刻蚀滚轮，具体为一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮。
技术介绍
1、现有链式湿法刻蚀机的刻蚀滚轮，其滚轮齿沿着滚轮轴芯方向均匀分布，滚轮滚动时所带动的药液和硅片背面的介质薄膜整面接触，将背面的介质薄膜整面去除。这种滚轮不能直接用来进行背面介质薄膜的局部刻蚀。如果要用这种滚轮来做硅片背面介质薄膜的局部刻蚀，需要先用丝网印刷或者其它方式在硅片背面设置一个带有特定图案的掩膜层，然后在掩膜的保护下进行背面介质薄膜的局部刻蚀。显然，第二种方式需要增加额外的步骤，例如丝网印刷，增加额外的物料，比如掩膜材料，所以必然带来工艺复杂程度的上升，以及成本的增加。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，解决了
技术介绍
中所提出的工艺复杂程度的上升，以及成本的增加问题。
2、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：本技术提供了一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，包括装置本体，所述装置本体包括滚轮轴承、滚轮齿、滚轮轴芯、药液槽和夹缝，所述滚轮轴芯上固定连接有滚轮齿，所述滚轮齿上开设有夹缝，所述滚轮轴芯两端套接有滚轮轴承，所述滚轮轴芯底部设置有药液槽。
3、优选的，滚轮齿沿着滚轮轴芯方向分布，相邻滚轮齿之间的间距，和所要形成的刻蚀图案的刻蚀线保持一致，间距为6mm。
4、优选的，所述滚轮齿的上边缘露出所述药液槽的药液液面，并且超出所述药液液面10mm。
5、优选的，所述滚轮齿的中间设
6、优选的，所述滚轮轴芯贯穿药液槽两端，所述滚轮轴承卡合在药液槽外壁内部。
7、本技术提供了一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮。具备以下有益效果：该一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，本技术所提出的新型局部刻蚀滚轮，相邻滚轮齿之间间距较远，并且滚轮齿的上边缘超出药液槽液面10mm，这种设置使得滚轮齿之间的药液难以通过张力接触到硅片的背面。而滚轮齿中间的夹缝，设置宽度较小，只有0.3mm，较小的夹缝宽度使得药液能够借助张力接触到硅片背面。这样带来的结果就是，在滚轮齿的位置处，硅片背面的介质薄膜有药液接触，可以被刻蚀，在滚轮齿之间的区域，药液接触不到硅片背面。从而实现硅片背面介质薄膜的局部刻蚀。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，包括装置本体（1），其特征在于：所述装置本体（1）包括滚轮轴承（2）、滚轮齿（3）、滚轮轴芯（4）、药液槽（5）和夹缝（6），所述滚轮轴芯（4）上固定连接有滚轮齿（3），所述滚轮齿（3）上开设有夹缝（6），所述滚轮轴芯（4）两端套接有滚轮轴承（2），所述滚轮轴芯（4）底部设置有药液槽（5）。
2.根据权利要求1所述的一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，其特征在于：滚轮齿（3）沿着滚轮轴芯（4）方向分布，相邻滚轮齿（3）之间的间距，和所要形成的刻蚀图案的刻蚀线保持一致，间距为6mm。
3.根据权利要求1所述的一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，其特征在于：所述滚轮齿（3）的上边缘露出所述药液槽（5）的药液液面，并且超出所述药液液面10mm。
4.根据权利要求1所述的一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，其特征在于：所述滚轮齿（3）的中间设置所述夹缝（6），所述夹缝（6）宽度为0.3mm，夹缝（6）底没入药液槽（5）液面以下，深度为12mm。
5.根据权利要求1所述的一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚
...【技术特征摘要】
1.一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，包括装置本体（1），其特征在于：所述装置本体（1）包括滚轮轴承（2）、滚轮齿（3）、滚轮轴芯（4）、药液槽（5）和夹缝（6），所述滚轮轴芯（4）上固定连接有滚轮齿（3），所述滚轮齿（3）上开设有夹缝（6），所述滚轮轴芯（4）两端套接有滚轮轴承（2），所述滚轮轴芯（4）底部设置有药液槽（5）。
2.根据权利要求1所述的一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，其特征在于：滚轮齿（3）沿着滚轮轴芯（4）方向分布，相邻滚轮齿（3）之间的间距，和所要形成的刻蚀图案的刻蚀线保持一致，间距为6mm。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：邓剑，韩宜辰，朱皓杰，张岳琦，
申请(专利权)人：安徽旭合新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。