【技术实现步骤摘要】
本技术涉及链式湿法刻蚀机的刻蚀滚轮，具体为一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮。
技术介绍
1、现有链式湿法刻蚀机的刻蚀滚轮，其滚轮齿沿着滚轮轴芯方向均匀分布，滚轮滚动时所带动的药液和硅片背面的介质薄膜整面接触，将背面的介质薄膜整面去除。这种滚轮不能直接用来进行背面介质薄膜的局部刻蚀。如果要用这种滚轮来做硅片背面介质薄膜的局部刻蚀，需要先用丝网印刷或者其它方式在硅片背面设置一个带有特定图案的掩膜层，然后在掩膜的保护下进行背面介质薄膜的局部刻蚀。显然，第二种方式需要增加额外的步骤，例如丝网印刷，增加额外的物料，比如掩膜材料，所以必然带来工艺复杂程度的上升，以及成本的增加。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，解决了
技术介绍
中所提出的工艺复杂程度的上升，以及成本的增加问题。
2、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：本技术提供了一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，包括装置本体，所述装置本体包括滚轮轴承、滚轮齿、滚轮轴芯、药液...
【技术保护点】
1.一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，包括装置本体（1），其特征在于：所述装置本体（1）包括滚轮轴承（2）、滚轮齿（3）、滚轮轴芯（4）、药液槽（5）和夹缝（6），所述滚轮轴芯（4）上固定连接有滚轮齿（3），所述滚轮齿（3）上开设有夹缝（6），所述滚轮轴芯（4）两端套接有滚轮轴承（2），所述滚轮轴芯（4）底部设置有药液槽（5）。
2.根据权利要求1所述的一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，其特征在于：滚轮齿（3）沿着滚轮轴芯（4）方向分布，相邻滚轮齿（3）之间的间距，和所要形成的刻蚀图案的刻蚀线保持一致，间距为6mm。
3.根据权利要求1所述...
【技术特征摘要】
1.一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，包括装置本体（1），其特征在于：所述装置本体（1）包括滚轮轴承（2）、滚轮齿（3）、滚轮轴芯（4）、药液槽（5）和夹缝（6），所述滚轮轴芯（4）上固定连接有滚轮齿（3），所述滚轮齿（3）上开设有夹缝（6），所述滚轮轴芯（4）两端套接有滚轮轴承（2），所述滚轮轴芯（4）底部设置有药液槽（5）。
2.根据权利要求1所述的一种链式湿法工艺机台的局部刻蚀滚轮，其特征在于：滚轮齿（3）沿着滚轮轴芯（4）方向分布，相邻滚轮齿（3）之间的间距，和所要形成的刻蚀图案的刻蚀线保持一致，间距为6mm。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：邓剑，韩宜辰，朱皓杰，张岳琦，
申请(专利权)人：安徽旭合新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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