System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种集成光电子器件制造的蚀刻装置制造方法及图纸_技高网

一种集成光电子器件制造的蚀刻装置制造方法及图纸

技术编号:40134582 阅读:5 留言:0更新日期:2024-01-23 22:40
本发明专利技术公开了一种集成光电子器件制造的蚀刻装置,包括:加热箱、雾化组件、旋转盘和夹持触头;加热箱的下方固定设置有能够从其底部注入雾化的蚀刻液的雾化组件,加热箱的内部竖直且可转动地设置有旋转盘,旋转盘至少一侧沿其圆周方向等间距且可转动地设置有若干个与其平行的固定板,每块固定板上均固定设置有用于夹持电子器件的若干个夹持触头,加热箱顶部通过回收管与雾化组件相连通,该集成光电子器件制造的蚀刻装置克服现有技术中通过夹持组件或固定组件对电路板工件进行夹持固定,电路板的某个部分会被夹持或固定组件遮挡住,而导致蚀刻过程中,电路板会出现蚀刻死角,从而降低了其蚀刻效果的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成光电子器件制造领域,具体地,涉及一种集成光电子器件制造的蚀刻装置


技术介绍

1、印刷电路板生产的基本工序一般包括显影过程、蚀刻过程和退膜过程,显影过程是指采用显影液将膜上未经紫外线辐射的部分溶解,已经紫外线辐射而发生聚合反应的部分保留,电路板一般会在其四个边角处开设有通孔以便对其进行安装,如图8为现有的电路板结构。

2、而蚀刻过程是指采用蚀刻液将印刷电路板上未被保护膜保护而露出的铜蚀刻掉;退膜过程是指将印刷电路板上的保护膜去掉,露出已加工好的线路。随着电子技术的飞速发展,印刷电路板集成度越来越高,印刷电路板的导电线路制作得越来越精细,这要求生产制作印刷电路板时要保证控制严格,减少公差,均匀性要好。

3、而现有的蚀刻装置通过夹持组件或固定组件对电路板工件进行夹持固定,电路板的某个部分会被夹持或固定组件遮挡住,而导致蚀刻过程中,电路板会出现蚀刻死角,从而降低了其蚀刻效果。

4、因此,提供一种在使用过程中通过雾化组件和若干个夹持触头的配合使用,能够使得蚀刻液充分与工件接触,避免出现蚀刻不均匀现象而降低其蚀刻效果,并能够将多余的蚀刻液进行回收利用,节约资源,降低了加工成本的一种集成光电子器件制造的蚀刻装置是本专利技术亟需解决的问题。


技术实现思路

1、针对上述技术问题,本专利技术的目的是克服现有技术中通过夹持组件或固定组件对电路板工件进行夹持固定,电路板的某个部分会被夹持或固定组件遮挡住,而导致蚀刻过程中,电路板会出现蚀刻死角,从而降低了其蚀刻效果的问题,从而提供了一种在使用过程中通过雾化组件和若干个夹持触头的配合使用,能够使得蚀刻液充分与工件接触,避免出现蚀刻不均匀现象而降低其蚀刻效果,并能够将多余的蚀刻液进行回收利用,节约资源,降低了加工成本的一种集成光电子器件制造的蚀刻装置。

2、为了实现上述目的,本专利技术提供了一种集成光电子器件制造的蚀刻装置,所述集成光电子器件制造的蚀刻装置包括:加热箱、雾化组件、旋转盘和夹持触头;

3、所述加热箱的下方固定设置有能够从其底部注入雾化的蚀刻液的雾化组件,所述加热箱的内部竖直且可转动地设置有旋转盘,所述旋转盘至少一侧沿其圆周方向等间距且可转动地设置有若干个与其平行的固定板,每块所述固定板上均间隔设置有能够分别穿入到电子器件的通孔内以对其进行夹持且截面呈梯形的若干对夹持触头;

4、所述顶部通过回收管与所述雾化组件相连通,且所述回收管上固定设置有能够将多余雾化的蚀刻液回收至雾化组件内的回收泵。

5、优选地,每对所述夹持触头均包括:一号夹持触头和二号夹持触头;其中,

6、每块所述固定板上间隔且平行固定设置至少两个一号夹持触头,每块所述固定板上均还可以移动地设置有两个所述一号夹持触头一一对应且能够分别向两个所述一号夹持触头靠近或远离的两个二号夹持触头。

7、优选地,该蚀刻装置还包括用于驱动两个所述二号夹持触头分别朝向两个所述一号夹持触头靠近的动力组件,所述动力组件包括:移动块、转轴和牵引绳;其中,

8、位于两个所述一号夹持触头的一旁的每块所述固定板上均水平且可移动地设置有用于装配所述二号夹持触头的移动块,每块所述固定板的两端分别可转动地设置有与其垂直的两根转轴,两者的轴身上分别固定设置有收卷盘,每块所述移动块上均固定设置有牵引绳,且每根所述牵引绳的自由端均固定设置在对应的所述收卷盘上。

9、优选地,每块所述固定板上均间隔且部分向内凹陷形成与两块所述移动块一一对应且相适配的导向凹槽,且每条导向凹槽内均水平固定设置有导向杆,每根所述导向杆上均可滑动地套设有导向块,两块所述移动块分别固定设置在两块所述导向块上,且每根所述导向杆上均还套设有复位弹簧,所述复位弹簧的两端分别固定设置在所述导向块和所述导向凹槽上。

10、优选地,该蚀刻装置还包括用于驱动两根所述转轴同步转动以对两根所述牵引绳进行收、放卷的同步驱动组件,所述同步驱动组件包括:从动齿轮、主动齿板、双螺纹丝杆和滑块;其中,

11、每块所述固定板的内部均开设有动力室,且每个动力室内均水平且可转动地设置有两端部螺纹方向相反的双螺纹丝杆,其两螺纹段分别螺纹固定设置有至少一块能够沿其轴身移动的滑块,朝向两根所述转轴的两块所述滑块上均固定设置有与所述双螺纹丝杆平行的主动齿板,两根所述转轴的底端分别延伸至该动力室内并固定设置有与两条所述主动齿板啮合连接的从动齿轮。

12、优选地,所述动力室的侧壁均固定设置有与所述双螺纹丝杆平行的导轨,且朝向所述导轨的每块所述滑块上均部分向内凹陷形成供所述导轨穿过的导槽,每块所述滑块通过该导槽可滑动地装配在所述导轨上。

13、优选地,所述旋转盘通过二号转轴竖直且可转动地设置在所述加热箱的内部,且所述旋转盘的任意一端从所述加热箱穿出并与固定在其侧壁上的电机同轴连接在一起,每块所述固定板均通过一号转轴平行且可转动地设置在所述旋转盘上,每根所述一号转轴均通过链条传动组件与所述二号转轴传动连接在一起。

14、优选地,所述雾化组件包括:储液盒和超声波雾化片;其中,

15、内部储存有蚀刻液的所述储液盒水平固定设置在所述加热箱的下方,所述储液盒的内部固定设置有超声波雾化片,所述储液盒的顶部均匀固定设置有与其内部相连通的若干个进雾管,每根所述进雾管的顶部固定在所述加热箱的底部并与其内部相连通。

16、优选地,所述储液盒的顶部还固定设置有补液管,且所述补液管上还固定设置有其介质只从外界通过补液管进入到所述储液盒内的单向阀。

17、优选地,根据权利要求1所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,所述加热箱的顶部竖直固定设置有与其内部相连通的排雾管,所述回收管的顶部固定在所述排雾管上并与其相连通,且位于所述回收管上方的所述排雾管上还固定设置有开关阀。

18、根据上述技术方案,本专利技术提供的集成光电子器件制造的蚀刻装置在使用时的有益效果为:

19、(1)将待加工的工件通过若干个夹持触头固定在每块所述固定板上,然后启动所述雾化组件向所述加热箱内注入雾化后的蚀刻液,与此同时,驱动所述旋转盘转动,而转动所述旋转盘的过程中,并驱动每块所述固定板沿其中心位置进行旋转,以对工件进行全方位的蚀刻操作,将蚀刻液进行雾化并通入到所述加热箱内进行能够均匀且全面性地与工件表面进行接触,避免出现接触死角,提高工件的蚀刻效果。

20、(2)在蚀刻过程中,雾化后的蚀刻液从所述加热箱的底部上升其顶部的过程中,部分蚀刻液与工件接触的过程中,而多余的雾化后的蚀刻液通过所述回收泵进过所述回收管内并回收到所述雾化组件中,以继续使用,从而起到节能环保的作用,降低了使用成本。并通过加热箱对蚀刻后的工件进行烘干。

21、(3)将工件垂直于所述固定板上,通过两对所述夹持触头的两个所述一号夹持触头和两个所述二号夹持触头的配合使用对工件进行夹持固定,使得两个所述一号夹持触头和对应的两个所述二号夹持触头分别穿入到本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,所述集成光电子器件制造的蚀刻装置包括:加热箱(1)、雾化组件(2)、旋转盘(3)和夹持触头(5);

2.根据权利要求1所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,每对所述夹持触头(5)均包括:一号夹持触头(501)和二号夹持触头(502);其中,

3.根据权利要求2所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,该蚀刻装置还包括用于驱动两个所述二号夹持触头(502)分别朝向两个所述一号夹持触头(501)靠近的动力组件,所述动力组件包括:移动块(1501)、转轴(1502)和牵引绳(1503);其中,

4.根据权利要求3所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,每块所述固定板(4)上均间隔且部分向内凹陷形成与两块所述移动块(1501)一一对应且相适配的导向凹槽,且每条导向凹槽内均水平固定设置有导向杆(16),每根所述导向杆(16)上均可滑动地套设有导向块,两块所述移动块(1501)分别固定设置在两块所述导向块上,且每根所述导向杆(16)上均还套设有复位弹簧(17),所述复位弹簧(17)的两端分别固定设置在所述导向块和所述导向凹槽上。

5.根据权利要求3所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,该蚀刻装置还包括用于驱动两根所述转轴(1502)同步转动以对两根所述牵引绳(1503)进行收、放卷的同步驱动组件,所述同步驱动组件包括:从动齿轮(1801)、主动齿板(1802)、双螺纹丝杆(1803)和滑块(1804);其中,

6.根据权利要求5所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,所述动力室的侧壁均固定设置有与所述双螺纹丝杆(1803)平行的导轨,且朝向所述导轨的每块所述滑块(1804)上均部分向内凹陷形成供所述导轨穿过的导槽,每块所述滑块(1804)通过该导槽可滑动地装配在所述导轨上。

7.根据权利要求1所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,所述旋转盘(3)通过二号转轴(14)竖直且可转动地设置在所述加热箱(1)的内部,且所述旋转盘(3)的任意一端从所述加热箱(1)穿出并与固定在其侧壁上的电机(19)同轴连接在一起,每块所述固定板(4)均通过一号转轴(12)平行且可转动地设置在所述旋转盘(3)上,每根所述一号转轴(12)均通过链条传动组件与所述二号转轴(14)传动连接在一起。

8.根据权利要求1所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,所述雾化组件(2)包括:储液盒(201)和超声波雾化片(202);其中,

9.根据权利要求8所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,所述储液盒(201)的顶部还固定设置有补液管(10),且所述补液管(10)上还固定设置有其介质只从外界通过补液管(10)进入到所述储液盒(201)内的单向阀(13)。

10.根据权利要求1所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,所述加热箱(1)的顶部竖直固定设置有与其内部相连通的排雾管(7),所述回收管(8)的顶部固定在所述排雾管(7)上并与其相连通,且位于所述回收管(8)上方的所述排雾管(7)上还固定设置有开关阀(11)。

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【技术特征摘要】

1.一种集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,所述集成光电子器件制造的蚀刻装置包括:加热箱(1)、雾化组件(2)、旋转盘(3)和夹持触头(5);

2.根据权利要求1所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,每对所述夹持触头(5)均包括:一号夹持触头(501)和二号夹持触头(502);其中,

3.根据权利要求2所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,该蚀刻装置还包括用于驱动两个所述二号夹持触头(502)分别朝向两个所述一号夹持触头(501)靠近的动力组件,所述动力组件包括:移动块(1501)、转轴(1502)和牵引绳(1503);其中,

4.根据权利要求3所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,每块所述固定板(4)上均间隔且部分向内凹陷形成与两块所述移动块(1501)一一对应且相适配的导向凹槽,且每条导向凹槽内均水平固定设置有导向杆(16),每根所述导向杆(16)上均可滑动地套设有导向块,两块所述移动块(1501)分别固定设置在两块所述导向块上,且每根所述导向杆(16)上均还套设有复位弹簧(17),所述复位弹簧(17)的两端分别固定设置在所述导向块和所述导向凹槽上。

5.根据权利要求3所述的集成光电子器件制造的蚀刻装置,其特征在于,该蚀刻装置还包括用于驱动两根所述转轴(1502)同步转动以对两根所述牵引绳(1503)进行收、放卷的同步驱动组件,所述同步驱动组件包括:从动齿轮(1801)、主动齿板(1802)、双螺纹丝杆(1803)和滑块(1804);其中,

6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈锐
申请(专利权)人:安徽新高创通信科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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