掩模组件及制造掩模组件的方法技术

技术编号：40124338 阅读：4 留言：0更新日期：2024-01-23 21:09

本公开涉及一种掩模组件和一种制造掩模组件的方法。所述掩模组件包括：掩模框架，具有开口区域；和掩模片，设置在所述掩模框架上，以与所述开口区域重叠，所述掩模片包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域。所述第一区域包括作为半蚀刻图案的第一开口图案，所述第二区域包括作为穿透图案的第二开口图案，并且在平面图中，所述第一开口图案和所述第二开口图案彼此不同。

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【技术实现步骤摘要】

一个或多个实施例涉及一种掩模组件和一种制造该掩模组件的方法。

技术介绍

1、电子装置已经被广泛使用。电子装置已经被不同地用于移动电子装置和固定电子装置。电子装置包括可以向用户提供诸如图像或视频的视觉信息以支持各种功能的显示装置。

2、随着显示装置中用于显示图像的区所占的面积增加，已经添加了与显示装置集成或链接到显示装置的各种功能。作为用于添加各种功能的方法，正在研究具有在显示图像的同时还执行各种功能的区域的显示装置。为了执行功能，用于各种功能同时也显示图像的区域需要保持光的高透射率或声音的高透过率。

3、这种显示装置可以通过堆叠诸如有机层和金属层的各种层而形成。沉积材料可以被沉积以形成显示装置的层。沉积材料可以从沉积源喷射并通过掩模组件沉积在基底上。

4、在掩模组件发生变形的情况下，特别是在掩模片发生变形的情况下，沉积材料未沉积在基底上的期望位置处，并且因而，沉积质量劣化。

5、上述
技术介绍
是专利技术人为了推导本公开所拥有的或者在推导出本公开的过程中所获取的信息，并且不能说它是在提交本公开之前向公众公开的已知技术。

技术实现思路

1、一个或多个实施例包括一种通过防止掩模组件的变形而具有改善的沉积质量的掩模组件和一种制造该掩模组件的方法。

2、然而，这样的方面仅是示例。各方面不局限于此。

3、附加方面将在以下描述中部分地阐述，并且部分地从该描述将是显而易见的，或者可以通过实施本公开的所呈现的实施例而获知。

4、根据一个或多个实施例，一种掩模组件可以包括：掩模框架，包括开口区域；和掩模片，设置在掩模框架上，以与开口区域重叠，掩模片包括第一区域和围绕第一区域的第二区域。第一区域可以包括作为半蚀刻图案的第一开口图案，第二区域可以包括作为穿透图案的第二开口图案，并且在平面图中，第一开口图案和第二开口图案可以彼此不同。

5、第一开口图案可以包括：多个第一肋，在第一方向上延伸；多个第二肋，在第二方向上延伸；以及多个半开口，由多个第一肋和多个第二肋限定。第二开口图案可以包括：多个第三肋，在第三方向上延伸；多个第四肋，在第四方向上延伸；以及多个开口，由多个第三肋和多个第四肋限定。第三方向可以是与第一方向和第二方向相交的方向。

6、第四方向可以是与第一方向和第二方向相交的方向。

7、多个第一肋延伸的第一方向与多个第三肋延伸的第三方向之间的角度可以是45°。

8、多个半开口对准的方向与多个开口对准的方向可以彼此不同。

9、多个半开口可以在第一方向和第二方向上对准，并且多个开口可以在第三方向和第四方向上对准。

10、在多个半开口之中的任意两个半开口的中心之间的距离之中，在第一方向和第二方向中的至少一个方向上彼此相邻的两个半开口的中心之间的距离可以是最短距离。在多个开口之中的任意两个开口的中心之间的距离之中，在第三方向和第四方向中的至少一个方向上彼此相邻的两个开口的中心之间的距离可以是最短距离。

11、在平面图中，多个半开口的形状和多个开口的形状可以彼此不同。

12、多个半开口的形状可以是圆形的。

13、在平面图中，多个半开口的大小和多个开口的大小可以彼此不同。

14、在平面图中，每单位面积的第一肋的数量和每单位面积的第三肋的数量可以彼此不同。

15、在平面图中，每单位面积的第二肋的数量和每单位面积的第四肋的数量可以彼此不同。

16、根据一个或多个实施例，一种制造掩模组件的方法可以包括：制备包括第一区域以及围绕第一区域的第二区域的掩模片；在第一区域中形成作为半蚀刻图案的第一开口图案；在第二区域中形成作为穿透图案的第二开口图案；以及将掩模片张紧并将掩模片固定到掩模框架上。在平面图中，第一开口图案和第二开口图案可以彼此不同。

17、第一开口图案的形成可以包括形成在第一方向上延伸的多个第一肋、在第二方向上延伸的多个第二肋、以及由多个第一肋和多个第二肋限定的多个半开口。第二开口图案的形成可以包括形成在第三方向上延伸的多个第三肋、在第四方向上延伸的多个第四肋、以及由多个第三肋和多个第四肋限定的多个开口。第三方向可以是与第一方向和第二方向相交的方向。

18、掩模片张紧的方向和多个第一肋延伸的方向可以相同。

19、掩模片张紧的方向可以垂直于多个第二肋延伸的方向。

20、掩模片张紧的方向可以与多个第三肋延伸的方向相交。

21、掩模片张紧的方向与多个第三肋延伸的方向之间的角度可以是45°。

22、多个半开口对准的方向与多个开口对准的方向可以彼此不同。

23、在平面图中，多个半开口的形状和多个开口的形状可以彼此不同。

24、在平面图中，每单位面积的第一肋的数量和每单位面积的第三肋的数量可以彼此不同。

25、除上述的方面、特征及优点以外的其它方面、特征及优点将从以下附图、权利要求及详细描述中变得显而易见，以体现下面的公开。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种掩模组件，其中，所述掩模组件包括：

2.根据权利要求1所述的掩模组件，其中，

3.根据权利要求2所述的掩模组件，其中，所述第四方向是与所述第一方向和所述第二方向相交的方向。

4.根据权利要求2所述的掩模组件，其中，所述多个第一肋延伸的所述第一方向与所述多个第三肋延伸的所述第三方向之间的角度是45°。

5.根据权利要求2所述的掩模组件，其中，所述多个半开口对准的方向与所述多个开口对准的方向彼此不同。

6.根据权利要求5所述的掩模组件，其中，

7.根据权利要求2所述的掩模组件，其中，

8.根据权利要求2所述的掩模组件，其中，在平面图中，所述多个半开口的形状和所述多个开口的形状彼此不同。

9.根据权利要求8所述的掩模组件，其中，所述多个半开口的所述形状是圆形的。

10.根据权利要求2所述的掩模组件，其中，在平面图中，所述多个半开口的大小和所述多个开口的大小彼此不同。

11.根据权利要求2所述的掩模组件，其中，在平面图中，每单位面积的第一肋的数量和每单位面积的第三肋的数量彼此不同。

12.根据权利要求11所述的掩模组件，其中，在平面图中，每单位面积的第二肋的数量和每单位面积的第四肋的数量彼此不同。

13.一种制造掩模组件的方法，其中，所述方法包括：

14.根据权利要求13所述的方法，其中，

15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述掩模片张紧的方向和所述多个第一肋延伸的方向相同。

16.根据权利要求14所述的方法，其中，所述掩模片张紧的方向垂直于所述多个第二肋延伸的方向。

17.根据权利要求14所述的方法，其中，所述掩模片张紧的方向与所述多个第三肋延伸的方向相交。

18.根据权利要求17所述的方法，其中，所述掩模片张紧的所述方向与所述多个第三肋延伸的所述方向之间的角度是45°。

19.根据权利要求14所述的方法，其中，所述多个半开口对准的方向与所述多个开口对准的方向彼此不同。

20.根据权利要求14所述的方法，其中，在平面图中，所述多个半开口的形状和所述多个开口的形状彼此不同。

21.根据权利要求14所述的方法，其中，在平面图中，每单位面积的第一肋的数量和每单位面积的第三肋的数量彼此不同。

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【技术特征摘要】