形成图像感测装置的光电转换区的方法制造方法及图纸

技术编号:40116009 阅读:22 留言:0更新日期:2024-01-23 19:55
一种形成图像感测装置的光电转换区的方法,该方法包括:确定图像感测像素的对应于图像感测像素的期望性能的光电转换区的容量和基板的厚度;基于所确定的基板的厚度和所确定的光电转换区的容量,确定图像感测像素的期望的光电转换区的尺寸;确定适于将杂质注入到基板中的预定深度的第一离子注入能量;确定对应于第一离子注入能量的掩模图案的厚度;以及确定适于将杂质注入到基板中以用于在不同深度处形成多个子光电转换区的至少一个第二离子注入能量,多个子光电转换区集体形成期望的光电转换区。

【技术实现步骤摘要】

本专利文献中公开的技术和实现方式总体上涉及一种形成图像感测装置的光电转换区的方法


技术介绍

1、图像传感器在电子装置中用于将光学图像转换成电信号。随着汽车、医疗、计算机和通信行业近来的发展,在各种电子装置(例如,数码相机、便携式摄像机、个人通信系统(pcs)、视频游戏控制台、监控摄像头、医用微型摄像头、机器人等)中,对高度集成的更高性能图像传感器的需求一直在迅速增加。

2、图像感测装置可以粗略地划分为电荷耦合器件(ccd)图像感测装置和互补金属氧化物半导体(cmos)图像感测装置。ccd图像感测装置提供了更好的图像质量,但是与cmos图像感测装置相比,它们倾向于消耗更多的功率并且更大。与ccd图像感测装置相比,cmos图像感测装置的尺寸更小并且消耗更少的功率。此外,cmos传感器采用cmos制造技术制造,因此光敏元件和其他信号处理电路可以集成到单个芯片中,从而使得能够以更低的成本生产小型化的图像感测装置。出于这些原因,正在针对包括移动装置的许多应用开发cmos图像感测装置。


技术实现思路

1、所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于形成图像感测装置的光电转换区的方法,所述方法包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的方法,其中,

3.根据权利要求1所述的方法,其中,确定所述光电转换区的尺寸的步骤包括以下步骤:

4.根据权利要求1所述的方法,其中,确定所述掩模图案的厚度的步骤包括以下步骤:

5.一种用于形成图像感测装置的光电转换区的方法,所述方法包括以下步骤:

6.根据权利要求5所述的方法,其中,

7.根据权利要求5所述的方法,其中,

8.根据权利要求5所述的方法,其中,

9.根据权利要求8所述的方法,其中,...

【技术特征摘要】

1.一种用于形成图像感测装置的光电转换区的方法,所述方法包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的方法,其中,

3.根据权利要求1所述的方法,其中,确定所述光电转换区的尺寸的步骤包括以下步骤:

4.根据权利要求1所述的方法,其中,确定所述掩模图案的厚度的步骤包括以下步骤:

5.一种用于形成图像感测装置的光电转换区的方法,所述方法包括以下步骤:

6.根据权利要求5所述的方法,其中,

7.根据权利要求5所述的方法,其中,

8.根据权利要求5所述的方法,其中,

9.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员:李康连
申请(专利权)人:爱思开海力士有限公司
类型:发明
国别省市:

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