【技术实现步骤摘要】
本申请涉及传感器，尤其涉及一种角速度传感器及组合式角速度传感器。
技术介绍
1、角速度传感器是一种利用物体转动时的惯性力来测量物体转动速度的重要装置。它在许多领域中都有广泛的应用，包括航空航天、汽车工业、工业自动化等。
2、角速度传感器中的器件在移动或转动的过程中，容易发生动量和能量耗散的问题。由于动量和能量耗散问题会影响角速度传感器对物体转动速度的测量精度，增加角速度传感器的驱动功率，因此有必要对如何减小角速度传感器的动量和能量耗散进行研究。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，本申请实施例提供了一种角速度传感器及组合式角速度传感器，可以减小角速度传感器中的器件在移动或转动的过程中产生动量和能量耗散的可能。
2、本申请实施例的第一方面，提供了一种角速度传感器，该角速度传感器包括：一对驱动模块、一对感测模块、感测模式机械放大结构和第一缓冲结构。驱动模块包括沿第一方向排列的第一质量块和第二质量块。感测模块包括沿第二方向排列的第一感测梭架和第二感测梭架，第一感测梭架和第二感测梭架沿第一方向位于第一质量块和第二质量块之间，第二方向与第一方向垂直。
3、感测模式机械放大结构在第一方向上的两侧分别与第一质量块和第二质量块连接，感测模式机械放大结构在第二方向上的两侧分别与第一感测梭架和第二感测梭架连接。感测模式机械放大结构靠近第一质量块和第二质量块的部位还分别通过一个第一弹性连接件连接至对应的第一锚固结构。第一缓冲结构连接于对应的第一弹性连接件与第一锚固结构之间
4、通过上述方案，可以不将第一弹性连接件直接连接至第一锚固结构，起到隔离第一弹性连接件与第一锚固结构的作用。通过第一缓冲结构可以减小第一弹性连接件上的动量和能量向第一锚固结构的传递，从而可以减小对第一弹性连接件上的动量和能量的耗散，便于提高驱动模块的驱动力向感测模块传递的稳定性，也便于提高角速度传感器对物体转动速度的测量精度，同时可降低角速度传感器的驱动功率。
5、在一些实施例中，第一缓冲结构朝向第一弹性连接件的一侧的面积，小于第一弹性连接件朝向第一缓冲结构的一侧的面积。
6、通过上述方案，使得第一弹性连接件朝向第一缓冲结构的一侧中，部分区域没有第一缓冲结构相对，传递至该区域的动量和能量由于没有第一缓冲结构来承载，所以该区域的动量和能量不容易传递至第一缓冲结构。因此，可以减小第一弹性连接件上的动量和能量向第一缓冲结构的传递。
7、在一些实施例中，第一缓冲结构朝向第一锚固结构的一侧的面积，小于第一锚固结构朝向第一缓冲结构的一侧的面积。
8、通过上述方案，使得第一锚固结构朝向第一缓冲结构的一侧中，部分区域没有第一缓冲结构相对，传递至第一缓冲结构的动量和能量由于只能通过第一锚固结构中与第一缓冲结构相接触的部位来承载，所以传递至第一缓冲结构的动量和能量不容易传递至第一锚固结构。因此，可以减小第一缓冲结构上的动量和能量向第一锚固结构的传递。
9、在一些实施例中，第一缓冲结构被配置为网状弹性片。
10、网状弹性片相对于没有刻蚀镂空的弹性片而言，内部能够用于传递动量和能量的有效面积较小，因此，减小了动量和能量传递的途径，便于减小第一弹性连接件上的动量和能量向第一锚固结构的传递。
11、在一些实施例中，第一缓冲结构被配置为弹性悬臂梁。
12、在一些实施例中，弹性悬臂梁包括第一子梁，第一子梁基本平行于第一弹性连接件的延伸方向。
13、通过上述方案，基本平行于第一弹性连接件的延伸方向的第一子梁可以减小第一弹性连接件做小幅度摆动时，动量和能量向第一锚固结构传递的可能，减小了第一弹性连接件上动量和能量的耗散。
14、在一些实施例中，弹性悬臂梁包括第二子梁，第二子梁基本垂直于第一弹性连接件的延伸方向。
15、通过上述方案，基本垂直于第一弹性连接件的延伸方向的第二子梁可以减小第一弹性连接件沿该延伸方向做小幅度移动时，动量和能量向第一锚固结构传递的可能，也减小了第一弹性连接件上动量和能量的耗散。
16、在一些实施例中，驱动模块的驱动模式运动和感测模块的感测模式运动之间机械解耦。
17、通过上述方案，驱动模块的驱动模式运动和感测模块的感测模式运动之间互不影响，可以显著提高角速度传感器的可靠性和工作性能。
18、在一些实施例中，驱动模块包括驱动梭架和第二弹性连接件，驱动梭架通过第二弹性连接件连接至第二锚固结构。第二弹性连接件与第二锚固结构之间设置有第二缓冲结构。
19、通过上述方案，可以不将第二弹性连接件直接连接至第二锚固结构，起到隔离第二弹性连接件与第二锚固结构的作用，可以减小第二弹性连接件上的动量和能量向第二锚固结构的传递，从而可以减小对第二弹性连接件上的动量和能量的耗散，便于提高角速度传感器对物体转动速度的测量精度。
20、本申请实施例的第二方面，提供了一种组合式角速度传感器，包括两个第一方面的角速度传感器，两个角速度传感器机械耦合。
21、上述说明仅是本申请实施例技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请实施例的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请实施例的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本申请的具体实施方式。
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1.一种角速度传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述第一缓冲结构朝向所述第一弹性连接件的一侧的面积，小于所述第一弹性连接件朝向所述第一缓冲结构的一侧的面积。
3.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述第一缓冲结构朝向所述第一锚固结构的一侧的面积，小于所述第一锚固结构朝向所述第一缓冲结构的一侧的面积。
4.根据权利要求1至3任一项所述的角速度传感器，其特征在于，所述第一缓冲结构被配置为网状弹性片。
5.根据权利要求1至3任一项所述的角速度传感器，其特征在于，所述第一缓冲结构被配置为弹性悬臂梁。
6.根据权利要求5所述的角速度传感器，其特征在于，所述弹性悬臂梁包括第一子梁，所述第一子梁基本平行于所述第一弹性连接件的延伸方向。
7.根据权利要求5所述的角速度传感器，其特征在于，所述弹性悬臂梁包括第二子梁，所述第二子梁基本垂直于所述第一弹性连接件的延伸方向。
8.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述驱动模块的驱动模式运动和所述感测模块的
9.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述驱动模块包括驱动梭架和第二弹性连接件，所述驱动梭架通过所述第二弹性连接件连接至第二锚固结构；
10.一种组合式角速度传感器，其特征在于，包括两个如权利要求1-9任一项所述的角速度传感器，所述两个角速度传感器机械耦合。
...【技术特征摘要】
1.一种角速度传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述第一缓冲结构朝向所述第一弹性连接件的一侧的面积，小于所述第一弹性连接件朝向所述第一缓冲结构的一侧的面积。
3.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述第一缓冲结构朝向所述第一锚固结构的一侧的面积，小于所述第一锚固结构朝向所述第一缓冲结构的一侧的面积。
4.根据权利要求1至3任一项所述的角速度传感器，其特征在于，所述第一缓冲结构被配置为网状弹性片。
5.根据权利要求1至3任一项所述的角速度传感器，其特征在于，所述第一缓冲结构被配置为弹性悬臂梁。
6.根据权利要求5所述的角速度传感器，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔·拉帕达图，
申请(专利权)人：复远芯上海科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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