【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆储存，具体涉及一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
2、现有的晶圆储存和转运车车体结构在使用中无法门满足使用氮气进行储存转运的功能，例如申请号为cn202123345154.9公开的晶圆储存盒转运车车体结构。晶圆可在电路制作过程中被制成电路元件结构，具有特定的电性功能产品，此类元件在防止储存过程中都及其容易发生氧化，而氧化后的晶圆是无法进行使用的，就会造成一定的损失，所以对大量的晶圆和晶圆储存盒进行运送时就需要用到转运车，传统的转运车在使用时内部缺少氮气充气的功能，就会对晶圆储存的条件一定的影响，且就会无法满足储存的需求，现有的所使用到的晶圆储物盒转运车不便进行码放，不具有多量的独立摆放晶圆本体的结构，增加了使用的繁琐性。
3、因此，专利技术一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，以解决技术中在使用中无法门满足使用氮气进行储存转运的功能的问题。晶圆可在电路制作过程中被制成电路元件结构，具有特定的电性功能产品，此类元件在防止储存过程中都及其容易发生氧化，而氧化后的晶圆是无法进行使用的，就会造成一定的损失，所以对大量的晶圆和晶圆储存盒进行运送时
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，包括底座、车体柜、上部柜体、中部柜体、下部柜体、码放架、码放台、氮气结构组件、浓度检测仪、前置门、推拉架、车轮和智能通风板，所述底座的表面上方安装有车体柜，所述车体柜的上方为上部柜体，所述车体柜的中部为中部柜体，所述车体柜的下方为下部柜体，所述中部柜体的内腔体积分别大于上部柜体和下部柜体的内腔体积，所述中部柜体内部安装有码放架，所述码放架的表面设置有码放台，所述车体柜的顶面中部和外壁两侧上方均设置有氮气结构组件，所述车体柜的顶部一侧安装有浓度检测仪，所述车体柜的前侧安装有前置门，所述车体柜的外壁一侧下方固定安装有推拉架，所述底座的底面四角和中部均安装有车轮，所述车体柜的后侧中部下方设置有智能通风板。
3、优选的，所述码放架的端部均与车柜体的内壁固定连接，所述码放架呈十字形设置。
4、优选的，所述车体柜内部后壁固定安装有四个支撑杆，两个所述支撑杆之间交叉安装有阻挡条。
5、优选的，所述码放架的表面两侧均开设有滑轨槽，所述码放台的底面两侧均安装有与滑轨槽滑动匹配的滑条，所述码放架的后部端面与车体柜的内部后壁之间存在贯通槽。
6、优选的，所述码放台的表面设置有整理架，所述整理架的内侧设置有两个抽拉板，所述整理架的内顶面与抽拉板表面固定设置有限位固定板，所述限位固定板的中部放置有晶圆储存板。
7、优选的，所述抽拉板的外壁中部安装有集合标签板，所述晶圆储存板的外壁中部安装有独立标签板，所述晶圆储存板的顶面两侧均开设有置放槽。
8、优选的，所述氮气结构组件包括氮气进气阀、氮气换气阀和氮气出气阀，所述氮气进气阀固定安装在车体柜的外壁一侧上方，且位于上部柜体的外壁一侧，所述车体柜的顶面中部安装有氮气换气阀，所述上部柜体的外壁另一侧固定安装有氮气出气阀，所述氮气进气阀、氮气换气阀和氮气出气阀的内部通过管道相互连接。
9、优选的，所述浓度检测仪的外壁两侧均安装有信号显示灯，所述车体柜的内顶面一侧设置有氮气浓度传感器，所述氮气浓度传感器与浓度检测仪之间为电性连接，所述氮气浓度传感器接收车体柜内部的氮气浓度，且将数据信息传达到浓度检测仪中，所述浓度检测仪的氮气浓度情况再次通过信号显示灯来传达。
10、在上述技术方案中，本专利技术提供的技术效果和优点：
11、该便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，通过在该车体结构中设置氮气结构组件，能够时装置在晶圆转移运送的过程中使用氮气进行保存，以确保晶圆被储存起来后的使用质量，而内部氮气进气阀、氮气换气阀和氮气出气阀的设置，能够从氮气进气开始对内部空间中的氮气进行换气，然后将浓度不够的氮气排出去，对内部氮气不停置换，装置内侧感应器进行感应操作，已提供内部氮气浓度数据，通过氮气浓度检测仪传达到信号显示灯，以此来提醒操作人员来启动内部氮气换气操作；
12、装置内部设置的晶圆储存板具有可抽拉的功能，且为多层设置，能够大量的对晶圆进行储存，也可以在大量储存的过程中对晶圆进行分类处理，便于需要取出时能够更加快速的找到和取出，在便于码放的基础上增加了该装置的实用性特点。
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1.一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，包括底座(1)、车体柜(2)、上部柜体(3)、中部柜体(4)、下部柜体(5)、码放架(6)、码放台(7)、氮气结构组件(8)、浓度检测仪(9)、前置门(10)、推拉架(11)、车轮(12)和智能通风板(13)，其特征在于，所述底座(1)的表面上方安装有车体柜(2)，所述车体柜(2)的上方为上部柜体(3)，所述车体柜(2)的中部为中部柜体(4)，所述车体柜(2)的下方为下部柜体(5)，所述中部柜体(4)的内腔体积分别大于上部柜体(3)和下部柜体(5)的内腔体积，所述中部柜体(4)内部安装有码放架(6)，所述码放架(6)的表面设置有码放台(7)，所述车体柜(2)的顶面中部和外壁两侧上方均设置有氮气结构组件(8)，所述车体柜(2)的顶部一侧安装有浓度检测仪(9)，所述车体柜(2)的前侧安装有前置门(10)，所述车体柜(2)的外壁一侧下方固定安装有推拉架(11)，所述底座(1)的底面四角和中部均安装有车轮(12)，所述车体柜(2)的后侧中部下方设置有智能通风板(13)。
2.根据权利要求1所述的一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构
3.根据权利要求1所述的一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，其特征在于：所述车体柜(2)内部后壁固定安装有四个支撑杆(201)，两个所述支撑杆(201)之间交叉安装有阻挡条(202)。
4.根据权利要求1所述的一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，其特征在于：所述码放架(6)的表面两侧均开设有滑轨槽(601)，所述码放台(7)的底面两侧均安装有与滑轨槽(601)滑动匹配的滑条(602)，所述码放架(6)的后部端面与车体柜(2)的内部后壁之间存在贯通槽(603)。
5.根据权利要求1所述的一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，其特征在于：所述码放台(7)的表面设置有整理架(701)，所述整理架(701)的内侧设置有两个抽拉板(702)，所述整理架(701)的内顶面与抽拉板(702)表面固定设置有限位固定板(703)，所述限位固定板(703)的中部放置有晶圆储存板(704)。
6.根据权利要求5所述的一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，其特征在于：所述抽拉板(702)的外壁中部安装有集合标签板(705)，所述晶圆储存板(704)的外壁中部安装有独立标签板(706)，所述晶圆储存板(704)的顶面两侧均开设有置放槽(707)。
7.根据权利要求1所述的一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，其特征在于：所述氮气结构组件(8)包括氮气进气阀(801)、氮气换气阀(802)和氮气出气阀(803)，所述氮气进气阀(801)固定安装在车体柜(2)的外壁一侧上方，且位于上部柜体(3)的外壁一侧，所述车体柜(2)的顶面中部安装有氮气换气阀(802)，所述上部柜体(3)的外壁另一侧固定安装有氮气出气阀(803)，所述氮气进气阀(801)、氮气换气阀(802)和氮气出气阀(803)的内部通过管道相互连接。
8.根据权利要求1所述的一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，其特征在于：所述浓度检测仪(9)的外壁两侧均安装有信号显示灯(901)，所述车体柜(2)的内顶面一侧设置有氮气浓度传感器，所述氮气浓度传感器与浓度检测仪(9)之间为电性连接，所述氮气浓度传感器接收车体柜(2)内部的氮气浓度，且将数据信息传达到浓度检测仪(9)中，所述浓度检测仪(9)的氮气浓度情况再次通过信号显示灯(901)来传达。
...【技术特征摘要】
1.一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，包括底座(1)、车体柜(2)、上部柜体(3)、中部柜体(4)、下部柜体(5)、码放架(6)、码放台(7)、氮气结构组件(8)、浓度检测仪(9)、前置门(10)、推拉架(11)、车轮(12)和智能通风板(13)，其特征在于，所述底座(1)的表面上方安装有车体柜(2)，所述车体柜(2)的上方为上部柜体(3)，所述车体柜(2)的中部为中部柜体(4)，所述车体柜(2)的下方为下部柜体(5)，所述中部柜体(4)的内腔体积分别大于上部柜体(3)和下部柜体(5)的内腔体积，所述中部柜体(4)内部安装有码放架(6)，所述码放架(6)的表面设置有码放台(7)，所述车体柜(2)的顶面中部和外壁两侧上方均设置有氮气结构组件(8)，所述车体柜(2)的顶部一侧安装有浓度检测仪(9)，所述车体柜(2)的前侧安装有前置门(10)，所述车体柜(2)的外壁一侧下方固定安装有推拉架(11)，所述底座(1)的底面四角和中部均安装有车轮(12)，所述车体柜(2)的后侧中部下方设置有智能通风板(13)。
2.根据权利要求1所述的一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，其特征在于：所述码放架(6)的端部均与车体柜(2)的内壁固定连接，所述码放架(6)呈十字形设置。
3.根据权利要求1所述的一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，其特征在于：所述车体柜(2)内部后壁固定安装有四个支撑杆(201)，两个所述支撑杆(201)之间交叉安装有阻挡条(202)。
4.根据权利要求1所述的一种便于码放的晶圆储存盒转运车车体结构，其特征在于：所述码放架(6)的表面两侧均开设有滑轨槽(601)，所述码放台(7)的底面两侧均安装有与滑轨槽(601)滑动匹配的滑条(602)，所述码放架(6)的后部端面与...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪成都，徐伟峰，
申请(专利权)人：捷螺智能设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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