一种版图文件转换方法与检测区域分组方法技术

技术编号:40102237 阅读:30 留言:0更新日期:2024-01-23 17:52
本发明专利技术提供了一种版图文件转换方法与检测区域分组方法,该版图文件转换方法包括:获取并解析待测品对应的版图文件,以确定版图文件中的根模块结构数据,并确定根模块结构数据中的第一可用图素;根据不同图素类型对应的设定坐标点数遍历第一可用图素,以确定第一可用图素中的第一有效图素,并基于第一有效图素的图素类型确定有效图素;对有效图素的数据结构进行转换,以形成形状类数据结构的图形化图素,由相同图素层级对应的图形化图素组合形成图素集合,并由多组图素集合组合形成待测品对应的图形化数据。通过本发明专利技术,实现了将版图文件转换为图形化数据,进而以便于对图形化数据进行存储与标记等操作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体,尤其涉及一种版图文件转换方法与检测区域分组方法


技术介绍

1、集成电路(integrated circuit,简称“ic”)是一种微型电子器件或部件,采用一定的工艺方式将电路中所需的晶体管、电阻、电容以及电感等元件及布线互连在一起,并通过半导体工艺集成在一起的具有特定功能的电路。在集成电路的设计之初,需要在先设计集成电路版图,通过布局、布线技术将逻辑综合的成果转换成物理版图的文件,该文件包含各硬件单元在芯片上的形状、面积以及位置信息。

2、现有技术中常用的集成电路版图文件包括gdsii文件、cif文件、oasis文件等,并可通过集成电路版图文件所含数据重建所有或者部分的电路版图信息,集成电路版图文件不仅可用于设计集成电路版图,还可基于电路版图文件生成晶圆的预览图像,以供工作人员观察,进而可将其应用于晶圆的生产制造作业,例如缺陷检测等作业。然而,现有技术中的电路版图文件对应的预览工具仅能够显示晶圆的预览图像,而无法对预览图像中所包含的数据进行存储或标记等操作,在实际应用过程中存在一定的局限性。

<p>3、有鉴于此,有本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种版图文件转换方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的版图文件转换方法,其特征在于,所述图素类型包括:填充多边形图素类型、带一定宽度的线条图素类型以及插入的模块图素类型中的一种或者任意几种组合。

3.根据权利要求2所述的版图文件转换方法,其特征在于,所述根据不同图素类型对应的设定坐标点数遍历所述第一可用图素,以确定所述第一可用图素中的第一有效图素,包括:

4.根据权利要求2所述的版图文件转换方法,其特征在于,所述基于所述第一有效图素对应的图素类型确定有效图素,包括:

5.根据权利要求4所述的版图文件转换方法,其特征在于,所述...

【技术特征摘要】

1.一种版图文件转换方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的版图文件转换方法,其特征在于,所述图素类型包括:填充多边形图素类型、带一定宽度的线条图素类型以及插入的模块图素类型中的一种或者任意几种组合。

3.根据权利要求2所述的版图文件转换方法,其特征在于,所述根据不同图素类型对应的设定坐标点数遍历所述第一可用图素,以确定所述第一可用图素中的第一有效图素,包括:

4.根据权利要求2所述的版图文件转换方法,其特征在于,所述基于所述第一有效图素对应的图素类型确定有效图素,包括:

5.根据权利要求4所述的版图文件转换方法,其特征在于,所述对所述有效图素的数据结构进行转换,包括:

6.根据权利要求5所述的版图文件转换方法,其特征在于,所述基于所述第一有效图素的坐标数据对所述有效图素的数据结构进行...

【专利技术属性】
技术研发人员:何蒙蒙杨锋力
申请(专利权)人:上海精卓信息技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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