【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种版图文件转换方法与检测区域分组方法。
技术介绍
1、集成电路(integrated circuit，简称“ic”)是一种微型电子器件或部件，采用一定的工艺方式将电路中所需的晶体管、电阻、电容以及电感等元件及布线互连在一起，并通过半导体工艺集成在一起的具有特定功能的电路。在集成电路的设计之初，需要在先设计集成电路版图，通过布局、布线技术将逻辑综合的成果转换成物理版图的文件，该文件包含各硬件单元在芯片上的形状、面积以及位置信息。
2、现有技术中常用的集成电路版图文件包括gdsii文件、cif文件、oasis文件等，并可通过集成电路版图文件所含数据重建所有或者部分的电路版图信息，集成电路版图文件不仅可用于设计集成电路版图，还可基于电路版图文件生成晶圆的预览图像，以供工作人员观察，进而可将其应用于晶圆的生产制造作业，例如缺陷检测等作业。然而，现有技术中的电路版图文件对应的预览工具仅能够显示晶圆的预览图像，而无法对预览图像中所包含的数据进行存储或标记等操作，在实际应用过程中存在一定的局限性。
3、有鉴于此，有必要对现有技术中的集成电路版图文件的数据处理方法予以改进，以解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于解决现有技术中的集成电路版图文件对应的预览工具仅能显示晶圆的版图文件对应的的预览图像，无法对预览图像中所包含的数据进行存储或标记等操作所导致的在实际应用过程中存在一定局限性的问题。
2、为实现上述目的，本专
3、获取并解析待测品对应的版图文件，以确定所述版图文件中的根模块结构数据，并确定所述根模块结构数据中的第一可用图素；
4、根据不同图素类型对应的设定坐标点数遍历所述第一可用图素，以确定所述第一可用图素中的第一有效图素，并基于所述第一有效图素的图素类型确定有效图素；
5、对所述有效图素的数据结构进行转换，以形成形状类数据结构的图形化图素，由相同图素层级对应的所述图形化图素组合形成图素集合，并由多组所述图素集合组合形成待测品对应的图形化数据。
6、作为本专利技术的进一步改进，所述图素类型包括：填充多边形图素类型、带一定宽度的线条图素类型以及插入的模块图素类型中的一种或者任意几种组合。
7、作为本专利技术的进一步改进，所述根据不同图素类型对应的设定坐标点数遍历所述第一可用图素，以确定所述第一可用图素中的第一有效图素，包括：
8、若所述第一可用图素的图素类型为所述填充多边形图素类型，将所述第一可用图素所含坐标点数至少为三个的第一可用图素确定为第一有效图素；
9、若所述第一可用图素的图素类型为所述带一定宽度的线条图素类型，将所述第一可用图素所含坐标点数至少为两个的第一可用图素确定为第一有效图素；
10、若所述第一可用图素的图素类型为所述插入的模块图素类型，将所述第一可用图素所含坐标点数不为空的第一可用图素确定为第一有效图素。
11、作为本专利技术的进一步改进，所述基于所述第一有效图素对应的图素类型确定有效图素，包括：
12、若所述第一有效图素的图素类型为所述填充多边形图素类型或所述带一定宽度的线条图素类型，将所述第一有效图素定义为有效图素；
13、若所述第一有效图素的图素类型为所述插入的模块图素类型，获取所述版图文件中的子模块结构数据，根据所述第一有效图素对应的结构名称确定子模块结构数据中的第二可用图素，并根据不同图素类型对应的所述设定坐标点数遍历所述第二可用图素，以确定所述第二可用图素中的第二有效图素，将所述第二有效图素定义为有效图素。
14、作为本专利技术的进一步改进，所述对所述有效图素的数据结构进行转换，包括：
15、若所述第一有效图素的图素类型为所述填充多边形图素类型或所述带一定宽度的线条图素类型，基于所述第一有效图素的坐标数据对所述有效图素的数据结构进行转换；
16、若所述第一有效图素的图素类型为所述插入的模块图素类型，将所述第一有效图素中的第一个坐标点作为坐标偏差，基于所述坐标偏差并根据所述第二有效图素的图素类型对所述有效图素的数据结构进行转换。
17、作为本专利技术的进一步改进，所述基于所述第一有效图素的坐标数据对所述有效图素的数据结构进行转换，包括：
18、若所述第一有效图素的图素类型为所述填充多边形图素类型，获取所述坐标数据中的坐标点与对应的位置坐标，遍历所述第一有效图素中的坐标点，将所述坐标点对应的所述位置坐标转换为形状类数据结构的位置坐标并组合形成所述图形化图素；
19、若所述第一有效图素的图素类型为所述带一定宽度的线条图素类型，获取所述坐标数据中的坐标点与对应的位置坐标，遍历所述第一有效图素中的坐标点，基于相邻的两个坐标点所在直线的方向确定坐标点的扩充方向，根据所述扩充方向获取扩充坐标点，并确定所述扩充坐标点对应的位置坐标，将所述坐标点对应的位置坐标与所述扩充坐标点对应的位置坐标转换为形状类数据结构的位置坐标并组合形成所述图形化图素。
20、所述基于所述坐标偏差并根据所述第二有效图素的图素类型对所述有效图素的数据结构进行转换，包括：
21、若所述第二有效图素的图素类型为所述填充多边形图素类型或所述带一定宽度的线条图素类型，基于所述第二有效图素的坐标数据与所述坐标偏差对所述有效图素的数据结构进行转换。
22、作为本专利技术的进一步改进，所述基于相邻的两个坐标点所在直线的方向确定坐标点的扩充方向，根据所述扩充方向获取扩充坐标点，包括：
23、若所述相邻的两个坐标点所在直线的方向为第一方向，根据所述第一有效图素中的线条宽度在第二方向上扩充至少四个坐标点；
24、若所述相邻的两个坐标点所在直线的方向为第二方向，根据所述第一有效图素中的线条宽度在第一方向上扩充至少四个坐标点；
25、其中，所述第一方向与所述第二方向正交。
26、作为本专利技术的进一步改进，所述形状类数据结构的图形化图素包括：图素层级、图素类型以及形状类数据结构的坐标数据。
27、基于相同专利技术思想，本专利技术还揭示了一种检测区域分组方法，包括：
28、采用如上述任一项专利技术创造所述的方法获取待测品的版图文件对应的图形化数据；
29、接收根据检测目标从所述图形化数据中选择的多边形区域，以由所述多边形区域对应的图形化数据形成分组文件；
30、基于所述版图文件与待测品的比例关系确定由所述分组文件生成的检测区域分组。
31、作为本专利技术的进一步改进，所述分组文件由图形转换处理器导入图形检测处理器，以由所述图形检测处理器基于所述分组文件生成检测区域分组，且所述图形转换处理器对所述分组文件加密，将加密后的分组文件导入所述图形检测处理器，所述图形检测处理器对所述加密后的分组文件进行解密，得到解密后的分组文件，以基于所述解密后的分组文件生成所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种版图文件转换方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的版图文件转换方法，其特征在于，所述图素类型包括：填充多边形图素类型、带一定宽度的线条图素类型以及插入的模块图素类型中的一种或者任意几种组合。
3.根据权利要求2所述的版图文件转换方法，其特征在于，所述根据不同图素类型对应的设定坐标点数遍历所述第一可用图素，以确定所述第一可用图素中的第一有效图素，包括：
4.根据权利要求2所述的版图文件转换方法，其特征在于，所述基于所述第一有效图素对应的图素类型确定有效图素，包括：
5.根据权利要求4所述的版图文件转换方法，其特征在于，所述对所述有效图素的数据结构进行转换，包括：
6.根据权利要求5所述的版图文件转换方法，其特征在于，所述基于所述第一有效图素的坐标数据对所述有效图素的数据结构进行转换，包括：
7.根据权利要求6所述的版图文件转换方法，其特征在于，所述基于相邻的两个坐标点所在直线的方向确定坐标点的扩充方向，根据所述扩充方向获取扩充坐标点，包括：
8.根据权利要求1所述的版图文件转换方
9.一种检测区域分组方法，其特征在于，包括：
10.根据权利要求9所述的检测区域分组方法，其特征在于，所述分组文件由图形转换处理器导入图形检测处理器，以由所述图形检测处理器基于所述分组文件生成检测区域分组，且所述图形转换处理器对所述分组文件加密，将加密后的分组文件导入所述图形检测处理器，所述图形检测处理器对所述加密后的分组文件进行解密，得到解密后的分组文件，以基于所述解密后的分组文件生成所述检测区域分组。
...【技术特征摘要】
1.一种版图文件转换方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的版图文件转换方法，其特征在于，所述图素类型包括：填充多边形图素类型、带一定宽度的线条图素类型以及插入的模块图素类型中的一种或者任意几种组合。
3.根据权利要求2所述的版图文件转换方法，其特征在于，所述根据不同图素类型对应的设定坐标点数遍历所述第一可用图素，以确定所述第一可用图素中的第一有效图素，包括：
4.根据权利要求2所述的版图文件转换方法，其特征在于，所述基于所述第一有效图素对应的图素类型确定有效图素，包括：
5.根据权利要求4所述的版图文件转换方法，其特征在于，所述对所述有效图素的数据结构进行转换，包括：
6.根据权利要求5所述的版图文件转换方法，其特征在于，所述基于所述第一有效图素的坐标数据对所述有效图素的数据结构进行...
【专利技术属性】
技术研发人员：何蒙蒙，杨锋力，
申请(专利权)人：上海精卓信息技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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