【技术实现步骤摘要】
本技术属于分子泵，具体涉及一种分子泵的进气过滤结构。
技术介绍
1、现今，分子泵的使用在工业领域较为常见，但分子泵相对来说是一种较为精密的设备，其中的部件在工作时处于高速运动的状态；如果气流中含有较多的杂质而不加以过滤，则可能对分子泵中的部件造成损坏。
2、比如专利号为cn201921681787.7的技术专利公开了一种分子泵防护罩，该申请在不改变抽气管抽速的情况下，不影响分子泵的正常运转，通过布置防护罩本体最大程度的避免杂质进入分子泵，避免分子泵叶片被破坏；其采用的是通过布置防护罩本体最大程度的避免杂质进入分子泵，但该分子泵的防护结构在使用过程中，采用的是对分子泵外侧进行防护，在压缩气体的过程中，仍容易进入杂质，影响分子泵的正常使用，无法对分子泵起到保护效果。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的不足，本技术的目的在于提供一种分子泵的进气过滤结构，该分子泵的进气过滤结构旨在解决对进入分子泵中的气体进行过滤的技术问题。
2、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种分子泵的进气过滤结构，包括分子泵外壳，所述分子泵外壳的上端设置有安装板，所述安装板的上端设置有过滤组件，所述过滤组件与所述安装板之间设置有密封圈，所述过滤组件的上端设置有安装组件；所述过滤组件包括有对接管，所述对接管的内侧开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内侧螺纹连接有螺纹圈，所述螺纹圈的内侧卡接有过滤芯。
3、优选地，所述过滤芯包括过滤芯侧壁、过滤芯顶板、过滤芯底板、过滤层；所述过滤芯顶板为圆
4、优选地，所述过滤组件还包括有第一螺丝，所述第一螺丝设置于所述对接管的内侧，所述第一螺丝与所述安装板螺纹连接。
5、优选地，所述安装组件包括有顶板，所述顶板的内侧设置有第二螺丝，所述第二螺丝与所述对接管螺纹连接。
6、进一步优选地，所述安装组件的外侧设置有防护罩。
7、优选地，所述分子泵外壳的底端固定安装有分子泵底座，所述分子泵外壳的内部设置有压缩组件，所述分子泵外壳的外侧固定安装有出气管。
8、进一步优选地，所述压缩组件包括有电机，所述电机设置于所述分子泵底座的底端，所述电机的输出端设置有中心轴，所述中心轴位于所述分子泵外壳的内部。
9、进一步优选地，所述压缩组件包括有进气扇，所述进气扇套接在所述中心轴的外侧。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
11、1、本技术中通过在分子泵的进气口设置过滤芯，对进入分子泵的气体进行过滤，减少气体中携带的杂质对工作中的分子泵造成损坏。
12、2、本技术中的过滤芯结构，可以使气流呈s形的运动路径，起到一定的缓冲作用。
13、3、本技术中的过滤芯结构相较于传统的平面过滤结构，具有二次过滤的效果，延缓杂质堵塞，可以延长过滤芯的使用寿命。
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1.一种分子泵的进气过滤结构，包括分子泵外壳（1），其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种分子泵的进气过滤结构，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的一种分子泵的进气过滤结构，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的一种分子泵的进气过滤结构，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的一种分子泵的进气过滤结构，其特征在于：
6.根据权利要求4所述的一种分子泵的进气过滤结构，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的一种分子泵的进气过滤结构，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的一种分子泵的进气过滤结构，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种分子泵的进气过滤结构，包括分子泵外壳（1），其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种分子泵的进气过滤结构，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的一种分子泵的进气过滤结构，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的一种分子泵的进气过滤结构，其特征在于：
【专利技术属性】
技术研发人员：朴俊哲，白云峰，
申请(专利权)人：上海檀启电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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