一种分子泵出气端的安装结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种分子泵出气端的安装结构，包括分子泵主体，分子泵主体的侧壁上设置有出气管，出气管通过螺套与连接管的一端相连接；螺套与连接管侧壁螺纹连接；出气管的侧壁开设有密封槽，密封槽内对应设置有密封圈；连接管的一端上设置有环形挡板；出气管还通过固定组件与螺套连接，固定组件包括固定板，固定板呈U形设置，固定板的一端通过设置在螺套上的螺栓与螺套连接，固定板的另一端上设置有顶板，顶板与出气管的端面相抵。与现有技术相比，本实用新型专利技术的有益效果在于采用的密封方式可以从横向与轴向提供双重的密封效果，且装配简单，仅需要拧紧或松开螺套即可，拆卸快速方案，密封性能好。密封性能好。密封性能好。

【技术实现步骤摘要】
一种分子泵出气端的安装结构


[0001]本技术涉及分子泵领域，具体为一种分子泵出气端的安装结构。

技术介绍

[0002]分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域，由于半导体行业发展迅速，真空泵的市场拓展速度很快。
[0003]部分分子泵都是安装在半导体制备设备下方的机柜中，在对其进行安装或维护时，维修人员需要呈蹲式或卧式才能便于安装，而且还要保障分子泵与管道之间的密封性能，目前针对分子泵上连接出气管的方式一般为法兰配合螺栓连接，虽能达到密封安装的效果，但一般螺栓较为拧紧，在安装与拆卸时需要依次拧紧或拆卸多个螺栓，费时费力，且还需要在法兰之间敷贴密封垫，容易造成工作人员肢体麻木和酸痛，降低了安装效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种分子泵出气端的安装结构，通过采用连接管的方式实现横向与轴向的双重密封，并使得结构的拆卸相较于螺栓固定的法兰盘更方便。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种分子泵出气端的安装结构，包括分子泵主体，所述分子泵主体的侧壁上设置有出气管，所述出气管通过螺套与连接管的一端相连接；所述螺套与所述连接管侧壁螺纹连接；所述出气管的侧壁开设有密封槽，所述密封槽内对应设置有密封圈；所述连接管的一端上设置有环形挡板；所述出气管还通过固定组件与螺套连接，所述固定组件包括固定板，所述固定板呈U形设置，所述固定板的一端通过设置在螺套上的螺栓与螺套连接，所述固定板的另一端上设置有顶板，所述顶板与所述出气管的端面相抵。
[0006]优选地，所述连接管表面螺纹的底面与连接管的管体形成夹角。
[0007]优选地，所述出气管的侧壁上还开设有环形槽，所述顶板上设置有定位板，所述定位板与所述环形槽相互匹配。
[0008]优选地，所述螺套的侧壁开设有若干个圆孔，所述圆孔与所述螺栓15为螺纹连接。
[0009]优选地，所述螺套的端面开设有凹槽，所述固定板的一端位于所述凹槽内，所述螺栓均与所述固定板的一端为螺纹连接。
[0010]优选地，所述连接管的另一端转动连接有安装管，所述安装管呈Z形结构。
[0011]进一步优选地，所述安装管的一端固定连接有密封块，所述连接管的另一端开设有卡槽，所述密封块截面呈T形结构，所述密封块与卡槽相互匹配。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果在于采用的密封方式可以从横向与轴向提供双重的密封效果，且装配简单，仅需要拧紧或松开螺套即可，拆卸快速方案，密封性能好。
附图说明
[0013]图1为本技术的立体图；
[0014]图2为本技术中固定组件的结构示意图；
[0015]图3为本技术中螺套的结构示意图；
[0016]图4为本技术图2中的A处放大图；
[0017]图5为本技术图2中的B处放大图。
[0018]图中：1、分子泵主体；2、出气管；3、连接管；4、安装管；5、螺套；6、固定板；7、顶板；8、定位板；9、环形槽；10、密封圈；11、密封槽；12、环形挡板；13、密封块；14、卡槽；15、螺栓；16、凹槽；17、圆孔。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]实施例一
[0021]参见图1至图5，本实施例提供了一种分子泵出气端的安装结构，包括分子泵主体1，分子泵主体1的侧壁上设置有出气管2，出气管2通过螺套5与连接管3的一端相连接；螺套5与连接管3侧壁螺纹连接，螺套5的侧壁开设有若干个圆孔17，圆孔17与螺栓15为螺纹连接；出气管2的侧壁开设有密封槽11，密封槽11内对应设置有密封圈10；连接管3的一端上设置有环形挡板12；出气管2还通过固定组件与螺套5连接，固定组件包括固定板6，固定板6呈U形设置，固定板6的一端通过设置在螺套5上的螺栓15与螺套5连接，螺套5的端面开设有凹槽16，固定板6的一端可插入凹槽16内，螺栓15均与固定板6的一端为螺纹连接，固定板6的另一端上设置有顶板7，顶板7与出气管2的端面相抵；出气管2的侧壁上还开设有环形槽9，顶板7上设置有定位板8，定位板8与环形槽9相互匹配。
[0022]连接管3表面螺纹的底面与连接管3的管体形成夹角，即连接管3的表面螺纹从端面向内形成一个斜面，螺套5在拧紧的过程中，会挤压靠内的螺纹使连接管3产生形变，从而产生轴向的压紧力。
[0023]使用时，当需要将连接管3与出气管2进行对接时，先将密封圈10嵌入密封槽11中，再将连接管3套在出气管2上，此时环形挡板12与出气管2的端面相抵，进一步保障密封性；再将固定板6的一端插入凹槽16内，并将螺栓15从圆孔17中螺纹拧紧对固定板6的一端进行锁定，之后将螺套5套在连接管3的外侧壁上，随后转动螺套5带动固定板6移动，固定板6带动顶板7顶紧出气管2，当螺套5拧紧后，可利用撬棍或扳手插入圆孔17进行进一步的拧紧加固；螺套5在拧紧过程中，固定板6会逐渐靠近出气管2，最终使得顶板7与出气管2紧密相抵、且顶板7上的定位板8嵌入环形槽9中进一步实现紧密相抵，此时在螺套5和固定板6的共同作用下提供了一个横向的压紧力实现密封。
[0024]在本实施例中，螺套5与连接管3之间的螺纹连接中，连接管3的螺纹面是一个斜面，即螺套5在与连接管3螺纹连接的过程中，由于连接管3的表面螺纹是一个斜面，因此螺套5在拧紧的过程中会不断的挤压连接管3使之产生形变并形成一个向出气管2挤压的力、
即面向轴心挤压的力，因此同时也提供过了一个轴向的紧密密封，因此在横向与轴向的双重压紧下实现出气管2与连接管3的密封。
[0025]实施例二
[0026]本实施例为实施例一的进一步优选方案，连接管3的另一端转动连接有安装管4，安装管4呈Z形结构；安装管4的一端固定连接有密封块13，连接管3的另一端开设有卡槽14，密封块13截面呈T形结构，密封块13与卡槽14相互匹配。
[0027]通过密封块13与卡槽14的配合，可使安装管4进行转动，使其达到指定的角度，便于与外部管道进行对接，提升其安装效率。
[0028]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分子泵出气端的安装结构，包括分子泵主体(1)，所述分子泵主体(1)的侧壁上设置有出气管(2)，其特征在于：所述出气管(2)通过螺套(5)与连接管(3)的一端相连接；所述螺套(5)与所述连接管(3)侧壁螺纹连接；所述出气管(2)的侧壁开设有密封槽(11)，所述密封槽(11)内对应设置有密封圈(10)；所述连接管(3)的一端上设置有环形挡板(12)；所述出气管(2)还通过固定组件与螺套(5)连接，所述固定组件包括固定板(6)，所述固定板(6)呈U形设置，所述固定板(6)的一端通过设置在螺套(5)上的螺栓(15)与螺套(5)连接，所述固定板(6)的另一端上设置有顶板(7)，所述顶板(7)与所述出气管(2)的端面相抵。2.根据权利要求1所述的分子泵出气端的安装结构，其特征在于：所述连接管(3)表面螺纹的底面与连接管(3)的管体形成夹角。3.根据权利要求1所述的分子泵出气端的安装结构，其特征在于：所述出气管(2)的侧壁上...

【专利技术属性】
技术研发人员：玉基赫，朴俊哲，
申请(专利权)人：上海檀启电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：