【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片清洗,具体为一种半导体器件高效清洁装置。
技术介绍
1、芯片,是指内含集成电路的硅片,又称微电路、微芯片、集成电路。芯片体积很小,是计算机或其他电子设备的重要组成部分,芯片在清洗时,现有技术中,一般是采用电机和横杆,将液体水形成旋涡,从而带走芯片上的灰尘,但是这样的结构设计在使用时,旋涡时的水流是一个固定的方向,这样规律性的水流方向力度较小,可能导致灰尘无法带走的问题,为此我们提出一种半导体器件高效清洁装置。
技术实现思路
1、因此,本专利技术的目的是提供一种半导体器件高效清洁装置,通过设置的清洗安装结构和激荡清洗结构的相互配合,达到在使用时,同个电机对两个横杆形成不同方向的转动,这样可直接将水流激荡,这样形成相对较大的冲击力,确保将灰尘带走。
2、为解决上述技术问题,根据本专利技术的一个方面,本专利技术提供了如下技术方案:一种半导体器件高效清洁装置,包括:
3、清洁组件,所述清洁组件包括设置的芯片清洗框、设置在所述芯片清洗框内的清洗盘、开设在所述
...【技术保护点】
1.一种半导体器件高效清洁装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种半导体器件高效清洁装置,其特征在于,所述驱动组件包括设置在所述芯片清洗框(11)外部底面的旋转电机(31)、连接在所述旋转电机(31)输出端的矩形块(32)和固定在所述第二圆板(23)下方的矩形筒(33)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体器件高效清洁装置,其特征在于,所述矩形块(32)与所述矩形筒(33)相互套合,并且所述矩形块(32)带动所述矩形筒(33)转动。
4.根据权利要求3所述的一种半导体器件高效清洁装置,其特征在于,还包括调整组件,所述调
...【技术特征摘要】
1.一种半导体器件高效清洁装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种半导体器件高效清洁装置,其特征在于,所述驱动组件包括设置在所述芯片清洗框(11)外部底面的旋转电机(31)、连接在所述旋转电机(31)输出端的矩形块(32)和固定在所述第二圆板(23)下方的矩形筒(33)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体器件高效清洁装置,其特征在于,所述矩形块(32)与所述矩形筒(33)相互套合,并且所述矩形块(32)带动所述矩形筒(33)转动。
4.根据权利要求3所述的一种半导体器件高效清洁装置...
【专利技术属性】
技术研发人员:尹鑫德,赵顺,王毅,
申请(专利权)人:扬州扬杰电子科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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