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本发明公开一种半导体器件高效清洁装置，包括清洁组件，所述清洁组件包括设置的芯片清洗框、设置在所述芯片清洗框内的清洗盘、开设在所述清洗盘顶端的芯片放置槽、固定在所述芯片放置槽外侧壁的环形盘、固定在所述清洗盘中间位置的横板、开设在所述环形盘表面...
该专利属于扬州扬杰电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州扬杰电子科技股份有限公司授权不得商用。

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