【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及氮化铝制备，特别是涉及一种石墨炉的配气系统。
技术介绍
1、反应烧结炉是用石墨作发热元件的真空电阻炉，为加工氮化铝粉末的烧结炉，大型石墨箱，将待烧制的工件放置在石墨箱内，然后对石墨箱进行抽真空并且加热处理，使工件烧结成型，现有技术中，为了提高温度均匀性，通常会设置多个小型的石墨箱提高温度的均匀性，需要将进气管道和排气管道与多个石墨箱相连接，连接不方便，并且在进气管道和排气管道工作时，各石墨箱内部的气压不平衡，通入的氮气量难以控制精准，影响烧结产品的质量。
技术实现思路
1、为克服现有技术存在的技术缺陷，本专利技术提供一种石墨炉的配气系统，保证各反应装置相同的供气量，保证相同的产品质量。
2、本专利技术采用的技术解决方案是：
3、石墨炉的配气系统，该石墨炉包括进气风机、排气风机和两个反应装置，所述配气系统具有配气动力件和两个联动的配气装置，各所述配气装置均包括配气进气口和配气出气口，各所述配气进气口均与进气风机连通，各所述配气出气口与对应反应装置连通，各所述反应装置与排气风机连通，各所述配气装置均包括配气箱体、主动配气活塞和进排气控制组件，所述配气箱体具有压气腔，所述配气动力件推动相邻两个配气装置上的主动配气活塞沿压气腔滑动，所述进排气控制组件包括进排气控制杆和进排气控制齿轮，所述进排气控制杆位于压气腔且进排气控制杆沿配气进气口和配气出气口滑动，所述进排气控制齿轮与主动配气活塞传动连接，所述进排气控制齿轮设有与进排气控制杆螺纹副连接的升降螺纹，所
4、优选的，所述压气腔内设有若干填充物。
5、优选的，该配气装置还包括被动配气活塞，所述被动配气活塞沿压气腔滑动，所述被动配气活塞上设有与进排气控制齿轮啮合的被动配气齿条。
6、优选的，所述配气动力件为双作用气缸，所述配气动力件的两个输出端分别伸入对应配气箱体的压气腔内与对应主动配气活塞传动连接。
7、优选的，所述进排气控制杆包括杆体和依次布置在杆体上的进气支撑杆组、进气密封塞、出气密封塞和出气支撑杆组，所述进气支撑杆组沿配气进气口滑动，所述出气支撑杆组沿配气出气口滑动，所述进气密封塞与出气密封塞最远端之间的距离大于压气腔的内径。
8、优选的，所述进气支撑杆组和出气支撑杆组均具有三根等角度分布的支撑杆。
9、优选的，所述配气箱体由配气筒体和密封配气筒体两端的密封盖组成。
10、本专利技术的有益效果是：
11、配气系统具有配气动力件和两个联动的配气装置，各配气装置均包括配气进气口和配气出气口，各配气进气口均与进气风机连通，进气风机将氮气鼓入各配气进气口，各配气出气口与对应反应装置连通，进气风机鼓入的氮气经配气出气口进入对应反应装置，各反应装置与排气风机连通，进而将反应产物抽出。
12、各配气装置均包括配气箱体、主动配气活塞和进排气控制组件，配气箱体具有压气腔，配气动力件推动相邻两个配气装置上的主动配气活塞沿压气腔滑动，进而改变压气腔内的容积，进排气控制组件用以控制配气进气口和配气出气口的连通和封闭，进排气控制组件与主动配气活塞之间传动连接，也就是说主动配气活塞的动作将带动进排气控制组件运动。
13、压气腔进气时，进排气控制组件将配气进气口打开配气出气口同步封闭，配气动力件带动主动配气活塞沿压气腔滑动进而增大压气腔容积，进气风机将氮气送入压气腔，压气腔出气时，进排气控制组件将配气进气口关闭配气出气口同步打开，配气动力件带动主动配气活塞沿压气腔滑动进而降低压气腔容积，进气风机将氮气由压气腔泵出配气出气口进而送入各反应装置。
14、主动配气活塞的运动带动进排气控制组件，进排气控制组件再控制配气进气口与配气出气口的打开和封闭状态方法如下：进排气控制组件包括进排气控制杆和进排气控制齿轮，进排气控制杆位于压气腔且进排气控制杆沿配气进气口和配气出气口滑动，进排气控制齿轮与主动配气活塞传动连接，进排气控制齿轮设有与进排气控制杆螺纹副连接的升降螺纹，主动配气活塞上设有与进排气控制齿轮啮合的主动配气齿条，所述进排气控制齿轮上设有与主动配气齿条配合的限位挡板，所述限位挡板限制进排气控制齿轮的轴向运动，主动配气活塞运动时主动配气齿条带动进排气控制齿轮转动，进排气控制齿轮及进排气控制齿轮上的升降螺纹转动带动进排气控制杆升降，值得注意的是，配气进气口和配气出气口上设有限制进排气控制杆转动的长槽，主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积最大时进排气控制杆打开配气进气口而密封配气出气口，主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积由最大逐渐变小的过程中，进排气控制杆密封配气进气口而打开配气出气口，各压气腔的容积相同，这样使得各压气腔的供气量保持相等，保证各反应装置相同的供气量，保证相同的产品质量。
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1.石墨炉的配气系统，该石墨炉包括进气风机、排气风机和两个反应装置，其特征在于，所述配气系统具有配气动力件和两个联动的配气装置，各所述配气装置均包括配气进气口和配气出气口，各所述配气进气口均与进气风机连通，各所述配气出气口与对应反应装置连通，各所述反应装置与排气风机连通，各所述配气装置均包括配气箱体、主动配气活塞和进排气控制组件，所述配气箱体具有压气腔，所述配气动力件推动相邻两个配气装置上的主动配气活塞沿压气腔滑动，所述进排气控制组件包括进排气控制杆和进排气控制齿轮，所述进排气控制杆位于压气腔且进排气控制杆沿配气进气口和配气出气口滑动，所述进排气控制齿轮与主动配气活塞传动连接，所述进排气控制齿轮设有与进排气控制杆螺纹副连接的升降螺纹，所述主动配气活塞上设有与进排气控制齿轮啮合的主动配气齿条，所述进排气控制齿轮上设有与主动配气齿条配合的限位挡板，所述限位挡板限制进排气控制齿轮的轴向运动，所述主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积最大时进排气控制杆打开配气进气口而密封配气出气口，所述主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积由最大逐渐变小的过程中，进排气控制杆密封配气进气口而打开配气出气口,
2.根据权利要求1所述的石墨炉的配气系统，其特征在于，所述压气腔内设有若干填充物。
3.根据权利要求1所述的石墨炉的配气系统，其特征在于，该配气装置还包括被动配气活塞，所述被动配气活塞沿压气腔滑动，所述被动配气活塞上设有与进排气控制齿轮啮合的被动配气齿条。
4.根据权利要求1所述的石墨炉的配气系统，其特征在于，所述配气动力件为双作用气缸，所述配气动力件的两个输出端分别伸入对应配气箱体的压气腔内与对应主动配气活塞传动连接。
5.根据权利要求1所述的石墨炉的配气系统，其特征在于，所述配气箱体由配气筒体和密封配气筒体两端的密封盖组成。
...【技术特征摘要】
1.石墨炉的配气系统，该石墨炉包括进气风机、排气风机和两个反应装置，其特征在于，所述配气系统具有配气动力件和两个联动的配气装置，各所述配气装置均包括配气进气口和配气出气口，各所述配气进气口均与进气风机连通，各所述配气出气口与对应反应装置连通，各所述反应装置与排气风机连通，各所述配气装置均包括配气箱体、主动配气活塞和进排气控制组件，所述配气箱体具有压气腔，所述配气动力件推动相邻两个配气装置上的主动配气活塞沿压气腔滑动，所述进排气控制组件包括进排气控制杆和进排气控制齿轮，所述进排气控制杆位于压气腔且进排气控制杆沿配气进气口和配气出气口滑动，所述进排气控制齿轮与主动配气活塞传动连接，所述进排气控制齿轮设有与进排气控制杆螺纹副连接的升降螺纹，所述主动配气活塞上设有与进排气控制齿轮啮合的主动配气齿条，所述进排气控制齿轮上设有与主动配气齿条配合的限位挡板，所述限位挡板限制进排气控制齿轮的轴向运动，所述主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积最大时进排气控制杆打开配气进气口而密封配气出气口，所述主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积由最大逐渐变小的过程中，进排气控制杆密封配气进气口而打开...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄文思，杨大胜，施纯锡，冯家伟，
申请(专利权)人：福建华清电子材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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