【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及氮化铝制备，特别是涉及一种石墨炉的配气系统。
技术介绍
1、反应烧结炉是用石墨作发热元件的真空电阻炉，为加工氮化铝粉末的烧结炉，大型石墨箱，将待烧制的工件放置在石墨箱内，然后对石墨箱进行抽真空并且加热处理，使工件烧结成型，现有技术中，为了提高温度均匀性，通常会设置多个小型的石墨箱提高温度的均匀性，需要将进气管道和排气管道与多个石墨箱相连接，连接不方便，并且在进气管道和排气管道工作时，各石墨箱内部的气压不平衡，通入的氮气量难以控制精准，影响烧结产品的质量。
技术实现思路
1、为克服现有技术存在的技术缺陷，本专利技术提供一种石墨炉的配气系统，保证各反应装置相同的供气量，保证相同的产品质量。
2、本专利技术采用的技术解决方案是：
3、石墨炉的配气系统，该石墨炉包括进气风机、排气风机和两个反应装置，所述配气系统具有配气动力件和两个联动的配气装置，各所述配气装置均包括配气进气口和配气出气口，各所述配气进气口均与进气风机连通，各所述配气出气口与对应反应装置连通，各...
【技术保护点】
1.石墨炉的配气系统，该石墨炉包括进气风机、排气风机和两个反应装置，其特征在于，所述配气系统具有配气动力件和两个联动的配气装置，各所述配气装置均包括配气进气口和配气出气口，各所述配气进气口均与进气风机连通，各所述配气出气口与对应反应装置连通，各所述反应装置与排气风机连通，各所述配气装置均包括配气箱体、主动配气活塞和进排气控制组件，所述配气箱体具有压气腔，所述配气动力件推动相邻两个配气装置上的主动配气活塞沿压气腔滑动，所述进排气控制组件包括进排气控制杆和进排气控制齿轮，所述进排气控制杆位于压气腔且进排气控制杆沿配气进气口和配气出气口滑动，所述进排气控制齿轮与主动配气活塞...
【技术特征摘要】
1.石墨炉的配气系统，该石墨炉包括进气风机、排气风机和两个反应装置，其特征在于，所述配气系统具有配气动力件和两个联动的配气装置，各所述配气装置均包括配气进气口和配气出气口，各所述配气进气口均与进气风机连通，各所述配气出气口与对应反应装置连通，各所述反应装置与排气风机连通，各所述配气装置均包括配气箱体、主动配气活塞和进排气控制组件，所述配气箱体具有压气腔，所述配气动力件推动相邻两个配气装置上的主动配气活塞沿压气腔滑动，所述进排气控制组件包括进排气控制杆和进排气控制齿轮，所述进排气控制杆位于压气腔且进排气控制杆沿配气进气口和配气出气口滑动，所述进排气控制齿轮与主动配气活塞传动连接，所述进排气控制齿轮设有与进排气控制杆螺纹副连接的升降螺纹，所述主动配气活塞上设有与进排气控制齿轮啮合的主动配气齿条，所述进排气控制齿轮上设有与主动配气齿条配合的限位挡板，所述限位挡板限制进排气控制齿轮的轴向运动，所述主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积最大时进排气控制杆打开配气进气口而密封配气出气口，所述主动配气活塞沿压气腔滑动使压气腔容积由最大逐渐变小的过程中，进排气控制杆密封配气进气口而打开...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄文思，杨大胜，施纯锡，冯家伟，
申请(专利权)人：福建华清电子材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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