【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蚀刻，尤其涉及一种药气驱除单元、药气驱除方法及蚀刻装置。
技术介绍
1、在蚀刻
中，基板在槽体内，通过喷淋结构不断喷淋的药液进行蚀刻，而药液蚀刻基板时会产生大量的热量；由于大量热量的产生，药液喷淋时的一部分药液会转化产生雾气，导致槽体内充满药气，药气接触到槽体的内壁后，会凝结滴落，造成基板蚀刻不良。
2、现有技术中，通常在槽体中配置排气系统以处理药气，但由于排风口大小和气流流动性的限制，无法完全抽取所有产生的药气。因此，槽体顶部还会出现一部分药气凝结滴落在输送的基板上，致使产品仍存在蚀刻不良的问题；并且通过排气系统将药气抽走也导致了药液的大量流失和浪费。
3、因此，亟需提供一种药气驱除单元、药气驱除方法及蚀刻装置，以解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的一个目的在于提供一种药气驱除单元，能够避免药气凝结滴落在待刻件，同时能对药气回收利用，减少药液的流失，提高能源利用率，降低了对环境的污染。
2、为达此目的，本专利技术采用以
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1.药气驱除单元，其特征在于，用于驱除槽体(200)内的药气；所述药气驱除单元包括：
2.根据权利要求1所述的药气驱除单元，其特征在于，所述冷却机构(10)包括：
3.根据权利要求2所述的药气驱除单元，其特征在于，所述冷却盘管(11)还设有进口管和出口管，所述进口管连通于所述制冷设备的出口端，所述出口管连通于所述制冷设备的回口端。
4.根据权利要求1所述的药气驱除单元，其特征在于，所述刮板机构(20)包括两个磁性刮板(21)，两个所述磁性刮板(21)分别设置于所述槽体(200)的顶壁(210)外侧和所述冷却机构(10)上，两个所述磁...
【技术特征摘要】
1.药气驱除单元，其特征在于，用于驱除槽体(200)内的药气；所述药气驱除单元包括：
2.根据权利要求1所述的药气驱除单元，其特征在于，所述冷却机构(10)包括：
3.根据权利要求2所述的药气驱除单元，其特征在于，所述冷却盘管(11)还设有进口管和出口管，所述进口管连通于所述制冷设备的出口端，所述出口管连通于所述制冷设备的回口端。
4.根据权利要求1所述的药气驱除单元，其特征在于，所述刮板机构(20)包括两个磁性刮板(21)，两个所述磁性刮板(21)分别设置于所述槽体(200)的顶壁(210)外侧和所述冷却机构(10)上，两个所述磁性刮板(21)的极性相反，以使两个所述磁性刮板(21)相互吸合；位于所述槽体(200)的顶壁(210)外侧的所述磁性刮板(21)能被驱动而带动位于所述冷却机构(10)上的所述磁性刮板(21)滑动于所述冷却机构(10)，以将所述冷却机构(10)上凝结的药气刮至所述槽体(200)的两侧。
5.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：窦福存，蒋新，施利君，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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