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本发明属于蚀刻技术领域，公开了一种药气驱除单元、药气驱除方法及蚀刻装置，药气驱除单元用于驱除槽体内的药气；药气驱除单元包括冷却机构和若干个刮板机构，冷却机构能设置于槽体的顶壁内侧，冷却机构内设置有流动的冷却介质，以加速药气的凝结；若干个刮板...
该专利属于苏州晶洲装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州晶洲装备科技有限公司授权不得商用。

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