光滤波器、光滤波器装置、分析设备以及光滤波器的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够防止反射镜的带电而使反射镜彼此粘贴消除的光滤波器、光滤波器装置、分析设备以及光滤波器的制造方法。本发明专利技术的光滤波器（１）具备：相互地面对配置的第一基板（２）及第二基板（３）；在第一基板（２）的第二基板（３）侧所设置的第一反射镜（４Ａ）及第一电极（６Ａ）；在第二基板（３）的第一基板（２）侧所设置的第二反射镜（４Ｂ）及第二电极（６Ｂ），并且第一反射镜（４Ａ）和第二反射镜（４Ｂ）由配线（１０Ａ、１０Ｂ）连接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
以往，作为从入射光中选择出目标波长的光而使其射出的光滤波器公知有以下结 构的光滤波器，即，将一对基板相面对配置，并在这些基板的相面对的各个面上设置反射 镜，且在这些反射镜的周围分别设置电极并且至少在一个反射镜的周围设置隔膜部(夕'^ 7 7，A部)。这样的光滤波器能够选择性地取出与相面对的反射镜之间的间隙所对应的 波长的光。就反射镜之间的间隙而言，通过对设置在一个基板上的固定电极和设置在另一 个基板上的可动电极施加电压而能够由静电驱动将间隙控制到所希望的值。在光滤波器的制造工序中，在接合一对基板时使用了通过在真空中使接合表面由 粒子束和等离子体进行蚀刻且激活从而进行基板彼此的接合的表面激活接合(专利文献 1)。专利文献1 特开2008-116669号公报但是，在通过表面激活接合而使基板彼此接合的情况下存在以下的问题，S卩，由于 粒子束、等离子体或在基板支承所使用的静电吸盘(★ W々)等而反射镜带电，并在使基 板彼此贴合时由于在反射镜上所带电的电荷产生的静电引力就将反射镜彼此粘贴。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述的现有技术的问题点而提出的，其目的之一在于提供一种能够 防止反射镜的带电而使反射镜彼此粘贴消除的光滤波器、光滤波器装置、分析设备以及光 滤波器的制造方法。本专利技术的光滤波器，其特征在于，为了解决上述课题，具备相互地面对配置的第 一基板及第二基板；在第一基板的第二基板侧所设置的第一反射镜及第一电极；在第二基 板的第一基板侧所设置的第二反射镜及第二电极，并且第一反射镜和第二反射镜由配线连 接。根据本专利技术，由于第一反射镜和第二反射镜经由配线连接，因此反射镜彼此电短 路而可使反射镜之间的电位差消除。由此能够防止由反射镜的带电引起的反射镜彼此的粘 贴、并能够对反射镜之间的间隙进行高精度地控制。因此能够得到可靠性高的光滤波器。另外，优选光滤波器还具有从第一反射镜到第一基板的接合区域为止所引出的 第一配线、和从第二反射镜到第二基板的接合区域为止所引出的第二配线，在接合区域中 第一配线和第二配线彼此连接。根据本专利技术，由于将基板彼此贴合的同时将第一配线和第二配线连接，因此成为 能够以简单的工序可制造的光滤波器。另外，优选第一反射镜及第二反射镜中的任一个与外部连接端子连接。根据本专利技术，在第一反射镜及第二反射镜所带电的电荷能够由外部连接端子释 放。本专利技术的光滤波器，其特征在于，为了解决上述课题，具备相互地面对配置的第 一基板及第二基板；在第一基板的第二基板侧所设置的第一反射镜及第一电极；在第二基 板的第一基板侧所设置的第二反射镜及第二电极，并且第一反射镜和第二反射镜分别与外 部连接端子连接。根据本专利技术，由于第一反射镜及第二反射镜的各自与不同的外部连接端子分别连 接，因此能够由各外部连接端子向第一反射镜及第二反射镜输入接地电位，从而能够使反 射镜之间的电位差消除。由此，能够防止反射镜彼此的粘贴，并且能够对反射镜之间的间隙 进行高精度的控制。因此，能够得到可靠性高的光滤波器。另外，优选第一反射镜及第二反射镜经由配线与外部连接端子分别连接。根据本专利技术，将通常在基板的中央部所配置的反射镜和在基板周缘部所配置的外 部连接端子能够经由配线得以准确地连接。另外，在基板上的各构件的设计自由度提高。另外，优选在第一配线及第二配线的连接部位形成在其内部具有弹性体的突起 (八>/)结构。根据本专利技术，由于在第一配线及第二配线的连接部位形成有在其内部具有弹性体 的突起结构，因此能够准确且良好地进行配线彼此的连接。另外，优选第一反射镜及第二反射镜以包括导电膜的方式构成。根据本专利技术，由于第一反射镜及第二反射镜以包括导电膜的方式构成，因此，通过 形成使反射镜彼此短路的结构从而能够消除反射镜彼此的电位差。另外，优选所述第一反射镜及所述第二反射镜具备具有透光性的所述导电膜和 电介质膜的层叠结构。根据本专利技术，能够抑制在电介质膜的表面上的电荷带电。另外，优选形成有通过将与外部连接端子连接的配线切断后所残留的的残留部。根据本专利技术，由于形成有通过将与各反射镜分别连接的外部连接端子彼此连接的 配线切断后所残留的残留部，因此在后述的制造时使与各反射镜分别连接的外部连接端子 彼此通过配线被连接。由此能够消除在制造时由各反射镜的带电引起的粘贴。本专利技术的光滤波器装置，其特征在于具备本专利技术的光滤波器、和对透过光滤波器 的光进行接收的受光元件。根据本专利技术，能够得到通过将透过光滤波器的光由受光元件接收从而能够生成电 信号的光滤波器装置。本专利技术的分析设备，其特征在于具备本专利技术的光滤波器；受光元件，其对透过光 滤波器的光进行接收；驱动电路部，其对光滤波器的第一反射镜和第二反射镜的间隙进行 驱动；测定电路部，其根据由受光元件生成的电信号，对所透过的所述光的光量进行测定。根据本专利技术，得到一种分析设备，其中由测定对象反射的光被入射到光滤波器，由 驱动电路部对光滤波器的反射镜之间的间隙进行控制，透过了被间隙控制后的光滤波器的 光由受光元件接收，在受光元件中生成与受光量相应的电信号，且根据测定电路部中所生 成的电信号对所透过的光的光量进行测定。由此能够对光滤波器的反射镜之间的间隙进行 高精度的控制。本专利技术的光滤波器的制造方法，其特征在于，为了解决上述课题其具备在第一基 板及第二基板的相面对侧将第一反射镜或第二反射镜形成的工序；在第一反射镜及第二反 射镜的周围形成电极的工序；将与第一反射镜及第二反射镜连接的配线进行形成的工序； 将第一基板及第二基板接合的工序，并在将第一基板和第二基板接合的工序中将第一反射 镜和第二反射镜经由配线连接。根据本专利技术，由于在将第一基板和第二基板接合的工序中将第一反射镜和第二反 射镜经由配线连接，因此能够使反射镜彼此电短路而使反射镜之间的电位差消除。由此能 够防止反射镜彼此的粘贴，并对反射镜之间的间隙能够进行高精度的控制。因此能够得到 可靠性高的光滤波器。另外，优选在将与第一反射镜及第二反射镜连接的配线进行形成的工序中，按照 从第一反射镜到第一基板的接合区域为止引出的方式形成第一配线、并且按照从第二反射 镜到第二基板的接合区域为止引出的方式形成第二配线，在将第一基板及第二基板接合的 工序中，使第一配线和第二配线连接。根据本专利技术，经由在接合区域中形成的第一配线及第二配线而使第一反射镜和第 二反射镜连接，因此能够在基板彼此接合的同时使配线彼此准确地连接，由此实现反射镜 彼此的电连接。另外，该连接状态在完成光滤波器后的状态中也能确保。另外，优选在形成第一配线或第二配线时，在以后的将第一基板及第二基板接合 的工序中在第一配线及第二彼此被连接的部位，形成在其内部具有弹性体的突起结构。根据本专利技术，由于在第一配线及第二配线彼此被连接的部位形成了突起结构，因 此能够提高各配线彼此的连接可靠性。另外，优选在使第一基板及第二基板接合之后将配线切断。根据本专利技术，由于在使第一基板及第二基板接合之后，将使第一反射镜及第二反 射镜连接的配线进行切断，因此各反射镜被电分离，从而可以提供分别独立的电位。由此对 反射镜彼此的间隙能够进行更高精度的控制。本专利技术的光滤波器的制造方法，其特征在于，为了解决上述课题其具备在第一基 板及第二基板的相面对面侧将第一反射镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光滤波器，其特征在于，具备：相互地面对配置的第一基板及第二基板；在所述第一基板的所述第二基板侧所设置的第一反射镜及第一电极；和在所述第二基板的所述第一基板侧所设置的第二反射镜及第二电极，所述第一反射镜和所述第二反射镜经由配线连接。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：广久保望，船坂司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP