【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密仪器,特别涉及一种测厚装置。
技术介绍
1、薄膜测厚仪广泛应用于包装、科研及生产领域。譬如,在燃料电池的生产过程中,通过薄膜测厚仪可对膜电极的厚度进行抽样检测,以确保用于燃料电池组装的膜电极符合要求。现有的薄膜厚度测定仪一般包括底座、测量头及驱动组件,待测薄膜放置于底座,测量头在驱动组件的驱使下与薄膜材料抵接,从而完成厚度的测量。
2、薄膜材料一般具有弹性及延展性,在测量头的抵压下会发生凹陷变形。而且,受各种外界因素的影响,驱动组件的工作状态难以避免会存在起伏,从而导致施加于测量头的推力发生波动。也就是说,测量头每次施加于薄膜材料表面的压力可能不一样,从而导致薄膜材料的形变量也会不同。因此,现有的薄膜厚度测定仪的测量结果一致性较差。
技术实现思路
1、基于此,有必要针对上述问题,提供一种提升测量结果的一致性的测厚装置。
2、一种测厚装置,包括:
3、支架:
4、滑动件,可滑动地安装于所述支架;
5、测量头;及
...【技术保护点】
1.一种测厚装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的测厚装置,其特征在于,所述滑动件呈圆柱状并沿滑动方向延伸,所述测厚装置还包括直线轴承,所述滑动件通过所述直线轴承可滑动地安装于所述支架。
3.根据权利要求1所述的测厚装置,其特征在于,所述滑动件沿滑动方向远离所述测量面的一端形成有第一抵接部,所述测量头安装于所述支架并位于所述滑动件朝向所述第一抵接部的一侧,所述测量头具有可伸缩的测量杆,所述测量杆与所述第一抵接部相抵接。
4.根据权利要求3所述的测厚装置,其特征在于,还包括设置于所述支架的限位件,所述驱动组件能够驱动所述滑
...【技术特征摘要】
1.一种测厚装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的测厚装置,其特征在于,所述滑动件呈圆柱状并沿滑动方向延伸,所述测厚装置还包括直线轴承,所述滑动件通过所述直线轴承可滑动地安装于所述支架。
3.根据权利要求1所述的测厚装置,其特征在于,所述滑动件沿滑动方向远离所述测量面的一端形成有第一抵接部,所述测量头安装于所述支架并位于所述滑动件朝向所述第一抵接部的一侧,所述测量头具有可伸缩的测量杆,所述测量杆与所述第一抵接部相抵接。
4.根据权利要求3所述的测厚装置,其特征在于,还包括设置于所述支架的限位件,所述驱动组件能够驱动所述滑动件朝所述测量头滑动至使所述第一抵接部与所述限位件抵接。
5.根据权利要求4所述的测厚装置,其特征在于,所述限位件沿所述滑动件...
【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名,
申请(专利权)人:无锡先导智能装备股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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