【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及麦克风，尤其涉及一种微机电麦克风的制备方法。
技术介绍
1、随着无线通讯的发展，用户对移动电话的通话质量要求越来越高，麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计的好坏直接影响移动电话的通话质量。
2、由于微机电系统技术（micro-electro-mechanic system,mems）具有小型化、易集成、高性能、低成本等特点，使其获得业界青睐，mems麦克风在当前的移动电话中应用较为广泛；常见的mems麦克风为电容式，即包括振膜和背板，二者构成mems声传感电容，在高性能的mems麦克风中，除了需要进行低噪声的设计外，高灵敏度的mems麦克风设计也是当前设计必须考量的重要因素。现有技术mems麦克风采用四条悬臂梁的设计，能够使得振膜获得较大的自由度，进而获得很高的灵敏度。
3、然而，前述mems麦克风设计在可靠性实验下，振膜与基底或背板的撞击中，较窄的悬臂梁为振膜的断裂弱点。基于此，有必要提供了一种新的微机电麦克风的制备方法，以在提升振膜的自由度的同时提升振膜的结构强度。
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【技术保护点】
1.一种微机电麦克风的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的微机电麦克风的制备方法，其特征在于，所述图形化所述第一氧化层包括在所述第一氧化层的靠近边缘的位置沿所述第一氧化层的边缘刻蚀出呈环状的所述第一连接通孔。
3.根据权利要求2所述的微机电麦克风的制备方法，其特征在于，所述第一连接通孔的数量为多个，多个所述第一连接通孔沿所述第一氧化层的中心部分向边缘部分的方向依次间隔设置。
4.根据权利要求1所述的微机电麦克风的制备方法，其特征在于，所述图形化所述第二氧化层包括在所述第二氧化层的靠近边缘的位置刻蚀出所述第二
<...【技术特征摘要】
1.一种微机电麦克风的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的微机电麦克风的制备方法，其特征在于，所述图形化所述第一氧化层包括在所述第一氧化层的靠近边缘的位置沿所述第一氧化层的边缘刻蚀出呈环状的所述第一连接通孔。
3.根据权利要求2所述的微机电麦克风的制备方法，其特征在于，所述第一连接通孔的数量为多个，多个所述第一连接通孔沿所述第一氧化层的中心部分向边缘部分的方向依次间隔设置。
4.根据权利要求1所述的微机电麦克风的制备方法，其特征在于，所述图形化所述第二氧化层包括在所述第二氧化层的靠近边缘的位置刻蚀出所述第二连接通孔。
5.根据权利要求4所述的微机电麦克风的制备方法，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘雨微，张睿，
申请(专利权)人：瑞声光电科技常州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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