温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种微机电麦克风的制备方法，包括如下步骤：选择基底，在基底的第一表面上制备第一挡板结构；在第一挡板结构背离基底的一侧制备振膜结构，振膜结构的周缘向第一挡板的正投影落在第一挡板上；在振膜结构背离第一挡板的一侧间隔制备第二挡板结构，...
该专利属于瑞声光电科技（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声光电科技（常州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。