低串扰的密集波导阵列和光学产品制造技术

本发明专利技术公开了一种低串扰的密集波导阵列和光学产品，属于波导阵列设计技术领域，波导阵列包括并排平行延伸的N根波导，每根波导具有K个级联的三段式结构，三段式结构包括沿延伸方向依次连接的第一耦合区、移相区和第二耦合区，其中，在每一个三段式结构中，第一耦合区和第二耦合区的结构相同；在不同的的波导i和波导j中，波导i中的第一耦合区与波导j的第一耦合区结构相同、波导i中的第二耦合区与波导j的第二耦合区结构相同；相邻波导的移相区的相位差为π。采用上述周期性的三段式结构的波导设计，可以大幅度降低整体波导串扰，本发明专利技术设计方案简单且适用于间距较小的密集型波导阵列并实现低串扰传输。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于波导阵列设计，更具体地，涉及一种低串扰的密集波导阵列和光学产品。

技术介绍

1、随着信息技术的迅猛发展，对高速、大容量、低延迟的通信需求不断增加。然而，传统电学系统存在资源分配不均和通信信号互干扰等问题，限制了其性能，无法满足不断增长的需求。光通信作为一种高效的传输方式，在数据中心、通信网络等领域得到广泛应用，具备宽带、高速和抗干扰等优势。而光波导作为光在芯片上的传输媒介起着重要的作用。

2、然而，在高密度集成芯片中，由于器件之间的距离非常接近，有时会出现光场泄露的问题，相邻波导的光场相互串扰，且距离越近，串扰问题越严重。因此，如何实现高集成度的低串扰传输一直是业内亟待解决的问题。

3、虽然目前已经提出了一些技术方案来降低串扰，例如通过利用超晶格结构实现低串扰，设置不同的波导宽度来增加模式失配从而减小串扰。但这种方法要求每根波导的宽度都不一样，因此需要对每一根波导的宽度进行设计，这对设计来说是一项相当大的挑战。另一种典型的解决方案是在两个波导之间插入非常薄的硅条，以阻隔光场从一个波导耦合到另一个波导。然而，这种方案的缺本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种低串扰的密集波导阵列，其特征在于，包括并排设置且平行延伸的N根波导，每根所述波导具有K个级联的三段式结构，所述三段式结构包括沿延伸方向依次连接的第一耦合区、移相区和第二耦合区；N≥2，K≥1，其中，

2.如权利要求1所述的低串扰的密集波导阵列，其特征在于，同一根所述波导具有多个所述三段式结构。

3.如权利要求2所述的低串扰的密集波导阵列，其特征在于，每个所述三段式结构的延伸长度不超过60微米。

4.如权利要求1所述的低串扰的密集波导阵列，其特征在于，所述第一耦合区、移相区和第二耦合区均为矩形。

5.如权利要求1所述的低串扰的密集波导...

【技术特征摘要】

1.一种低串扰的密集波导阵列，其特征在于，包括并排设置且平行延伸的n根波导，每根所述波导具有k个级联的三段式结构，所述三段式结构包括沿延伸方向依次连接的第一耦合区、移相区和第二耦合区；n≥2，k≥1，其中，

2.如权利要求1所述的低串扰的密集波导阵列，其特征在于，同一根所述波导具有多个所述三段式结构。

3.如权利要求2所述的低串扰的密集波导阵列，其特征在于，每个所述三段式结构的延伸长度不超过60微米。

4.如权利要求1所述的低串扰的密集波导阵列，其特征在于，所述第一耦合区、移相区和第二耦合区均为矩形。

5.如权利要求1所述的低串扰的密集波导阵列，其特征在于，所述波导设置于绝缘层上。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄庆忠，伍俊杰，李昊天，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：