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【技术实现步骤摘要】
本申请涉及显示,特别是涉及一种显示面板的制备方法、显示面板和显示装置。
技术介绍
1、随着显示技术的不断发展,当前屏体设计逐渐需要在ic pad区域使用三层钛铝钛结构。
2、然而,在ic pad区域堆叠三层钛铝钛结构会造成该区域的段差极大,当刻蚀最后一层钛铝钛膜层时,在最后一道制程涂光刻胶后,因光刻胶的流平性,导致高段差位置的光刻胶厚度较薄,在干刻制程中容易将光刻胶刻蚀完后刻蚀到下边钛铝钛膜层,使得顶部的钛铝钛膜层受损,破坏原本设计结构。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种显示面板的制备方法、显示面板和显示装置,能够减小边框区的金属层厚度,降低段差高度,缓解顶部光刻胶的流平,保护顶部金属层的刻蚀。
2、一方面,根据本申请实施例提出了一种显示面板的制备方法,包括:
3、提供衬底,衬底具有边框区和主体区,在衬底的边框区处形成信号层;
4、在衬底上覆盖信号层依次形成第一绝缘层、第一金属层和第二金属层,将边框区处的第一金属层和第二金属层中的一者刻蚀去除且另一者与信号层连接;
5、形成第三金属层,边框区处的第三金属层覆盖第一金属层或第二金属层设置,主体区的第三金属层覆盖第二金属层设置。
6、根据本申请实施例的一个方面,在衬底上覆盖信号层依次形成第一绝缘层、第一金属层和第二金属层包括:
7、在衬底上形成第一绝缘层,第一绝缘层覆盖信号层设置;
8、刻蚀第一绝缘层形成第一过孔,第一过孔与信号层连通,
9、依次形成第一金属层和第二金属层,将边框区处的第一金属层和第二金属层中的一者刻蚀去除且另一者与信号层连接。
10、根据本申请实施例的一个方面,在形成第一金属层后,直接刻蚀去除边框区处的第一金属层,形成的第二金属层填充于第一过孔中并与信号层连接,边框区处形成的第三金属层覆盖第二金属层设置。
11、根据本申请实施例的一个方面,在形成第二金属层后,刻蚀去除边框区处的第二金属层,边框区处形成的第三金属层覆盖第一金属层设置。
12、根据本申请实施例的一个方面,在形成第一金属层后,在第一金属层上形成第二绝缘层,第二绝缘层覆盖第一金属层设置;
13、形成第二金属层,第二金属层覆盖第二绝缘层设置;
14、刻蚀去除边框区处的第二金属层;
15、刻蚀第二绝缘层形成第二过孔,第二过孔与第一金属层连通;
16、形成第三金属层,第三金属层填充于第二过孔中并与第一金属层连接。
17、根据本申请实施例的一个方面,在衬底上覆盖信号层依次形成第一绝缘层、第一金属层和第二金属层包括:
18、在衬底上形成第一绝缘层,第一绝缘层完全覆盖信号层设置;
19、形成第一金属层,第一金属层覆盖第一绝缘层设置;
20、刻蚀去除边框区处的第一金属层;
21、刻蚀第一绝缘层形成第一过孔,第一过孔与信号层连通;
22、形成第二金属层,第二金属层填充于第一过孔中并与信号层连接。
23、根据本申请实施例的一个方面,形成第一金属层包括依次形成第一金属钛层、金属铝层和第二金属钛层,第二金属层和第三金属层与第一金属层的膜层结构相同。
24、根据本申请实施例的一个方面,刻蚀第一金属层或第二金属层采用金属刻蚀工艺,刻蚀第一绝缘层采用无机刻蚀工艺。
25、另一个方面,根据本申请实施例提供一种显示面板,具有显示区和非显示区,包括衬底、信号层、第一绝缘层和金属层,信号层设置于衬底上且位于非显示区,第一绝缘层覆盖衬底和信号层的边缘设置,第一绝缘层在非显示区处具有过孔,过孔与信号层连通;金属层具有多层,金属层设置于第一绝缘层背离衬底的一侧,部分金属层设置于过孔中并与信号层连接;其中,金属层在非显示区处的层数小于在显示区处的层数。
26、根据本申请实施例的一个方面,金属层包括层叠设置的第一金属层、第二金属层和第三金属层;在非显示区,第一金属层和第二金属层中的任一者填充于过孔中并与信号层连接,第三金属层覆盖第一金属层或第二金属层设置。
27、根据本申请实施例的一个方面,在非显示区,第一金属层覆盖第一绝缘层并填充于过孔中与信号层连接,第三金属层直接覆盖第一金属层设置;在显示区,第一绝缘层背离衬底的一侧依次设置有第一金属层、第二金属层和第三金属层。
28、根据本申请实施例的一个方面,在非显示区,第二金属层覆盖第一绝缘层并填充于过孔中与信号层连接,第三金属层直接覆盖第二金属层设置;在显示区,第一绝缘层背离衬底的一侧依次设置有第一金属层、第二金属层和第三金属层。
29、另一个方面,根据本申请实施例提供一种显示装置,包括如上所述的显示面板。
30、本申请实施例提供一种显示面板的制备方法、显示面板和显示装置,通过刻蚀去除边框区的第一金属层和第二金属层中的一者且通过另一者与信号层连接,从而降低了边框区处金属层的整体厚度,整体的段差高度得到减小,进而在对金属层顶部利用光刻胶刻蚀时,缓解了光刻胶的流平,避免了因金属层厚度整体过大导致的光刻胶厚度较薄,不利于刻蚀,防止出现因光刻胶较薄形成过刻而造成的对金属顶部刻蚀的损伤,最终保护了刻蚀过程中金属层的安全完整性,为显示面板整体的结构稳定性提供了可靠保障。
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1.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在所述衬底上覆盖所述信号层依次形成第一绝缘层、第一金属层和第二金属层包括:
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,在形成所述第一金属层后,直接刻蚀去除所述边框区处的所述第一金属层,形成的所述第二金属层填充于所述第一过孔中并与所述信号层连接,所述边框区处形成的所述第三金属层覆盖所述第二金属层设置。
4.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,在形成所述第二金属层后,刻蚀去除所述边框区处的所述第二金属层,所述边框区处形成的所述第三金属层覆盖所述第一金属层设置。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,在形成所述第一金属层后,在所述第一金属层上形成第二绝缘层,所述第二绝缘层覆盖所述第一金属层设置;
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在所述衬底上覆盖所述信号层依次形成第一绝缘层、第一金属层和第二金属层包括:
7.一种显示面板,具有显示区和非显示区,其特征在于,包括:
8.根据权利要求7
9.根据权利要求8所述的显示面板,其特征在于,在所述非显示区,所述第一金属层覆盖所述第一绝缘层并填充于所述过孔中与所述信号层连接,所述第三金属层直接覆盖所述第一金属层设置;在所述显示区,所述第一绝缘层背离所述衬底的一侧依次设置有所述第一金属层、所述第二金属层和所述第三金属层;或者,在所述非显示区,所述第二金属层覆盖所述第一绝缘层并填充于所述过孔中与所述信号层连接,所述第三金属层直接覆盖所述第二金属层设置;在所述显示区,所述第一绝缘层背离所述衬底的一侧依次设置有所述第一金属层、所述第二金属层和所述第三金属层。
10.一种显示装置,其特征在于,包括如权利要求7至9任一项所述的显示面板。
...【技术特征摘要】
1.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在所述衬底上覆盖所述信号层依次形成第一绝缘层、第一金属层和第二金属层包括:
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,在形成所述第一金属层后,直接刻蚀去除所述边框区处的所述第一金属层,形成的所述第二金属层填充于所述第一过孔中并与所述信号层连接,所述边框区处形成的所述第三金属层覆盖所述第二金属层设置。
4.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,在形成所述第二金属层后,刻蚀去除所述边框区处的所述第二金属层,所述边框区处形成的所述第三金属层覆盖所述第一金属层设置。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,在形成所述第一金属层后,在所述第一金属层上形成第二绝缘层,所述第二绝缘层覆盖所述第一金属层设置;
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在所述衬底上覆盖所述信号层依次形成第一绝缘层、第一金属层和第二金属层包括:
7.一种显示面板,...
【专利技术属性】
技术研发人员:王晓鹏,宋喜厦,李哲,
申请(专利权)人:云谷固安科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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