【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光刻设备维护领域，特别是涉及一种浸没式光刻机浸没头检查装置。
技术介绍
1、在浸没式光刻设备中，浸没头是浸没式光刻机最重要的组件之一。相比于空气介质，使用水作为介质可以缩短光源的光的波长，进而提高分辨率。浸没头可以维持光刻机的浸没液体流场，但是，由于浸没液与带有光刻胶的晶圆接触，光刻胶有概率随着浸没液一起被回收孔抽回，由于光刻胶粘性会堵在回收孔，从而导致流场变化，进而影响产品良率。因此，对于浸没头的定期检查和清洁是光刻机预防性维护的重要一环。
2、为检查浸没头是否被污染，现有检查工装通常是特制的显微镜头。传统的显微镜由如下部分构成：竖直向上的显微镜镜头、镜头架、固定支架、镜头台和金属显微镜脚。其中，显微镜镜头、镜头架、固定支架和镜头台通过焊接相连接，相对位置固定，各个部件不能独立在水平方向移动。但需要注意的是浸没头一般呈四边形，面积很大，在检查和清污作业中，需要不断改变所述显微镜头的视野区域以观察目标，而传统的显微镜只能通过整体水平搬动显微镜头来改变视野区域，整体搬动显微镜头的移动幅度过大，且对移动距离和方向的控制...
【技术保护点】
1.一种浸没式光刻机浸没头检查装置，其特征在于，包括显微镜头、固定支架、及镜头台；
2.如权利要求1所述的浸没式光刻机浸没头检查装置，其特征在于，所述固定支架为分体式支架，包括镜头架及导轨连接架；
3.如权利要求1所述的浸没式光刻机浸没头检查装置，其特征在于，所述固定支架在所述导轨轨道上的步进距离固定且相同。
4.如权利要求3所述的浸没式光刻机浸没头检查装置，其特征在于，所述导轨轨道包括多个设置于导轨轨道的侧边的拱形结构件；
5.如权利要求1所述的浸没式光刻机浸没头检查装置，其特征在于，所述定位驱动器为电机驱动器。>
6.如权利要...
【技术特征摘要】
1.一种浸没式光刻机浸没头检查装置，其特征在于，包括显微镜头、固定支架、及镜头台；
2.如权利要求1所述的浸没式光刻机浸没头检查装置，其特征在于，所述固定支架为分体式支架，包括镜头架及导轨连接架；
3.如权利要求1所述的浸没式光刻机浸没头检查装置，其特征在于，所述固定支架在所述导轨轨道上的步进距离固定且相同。
4.如权利要求3所述的浸没式光刻机浸没头检查装置，其特征在于，所述导轨轨道包括多个设置于导轨轨道的侧边的拱形结构件；
5.如权利要求1所述的浸没式光刻机浸没头检查装置，其特征在于，所述定位驱动器为电机驱动器。...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴晨瑄，耿大卫，董佳，施超，朱灿成，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。