温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及光刻设备维护领域，特别是涉及一种浸没式光刻机浸没头检查装置，包括显微镜头、固定支架、及镜头台；所述镜头台包括导轨轨道及定位驱动器；所述显微镜头朝向待观测浸没头，且通过所述固定支架连接于所述导轨轨道上；所述定位驱动器驱动所述固定支架...
该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。