气浮定位装置及硅片转运设备制造方法及图纸

本申请涉及硅片加工技术领域，具体公开了气浮定位装置及硅片转运设备，包括用于对片状结构进行定位的气浮平台；气浮平台水平设置且所在平面设置有至少一个定向气浮模块；气浮平台侧面设置有限位结构；定向气浮模块上设置有多个阵列排布的出气通道；出气通道的气流出口方向与竖直方向预设夹角，出气通道排出的气流能产生平衡片状结构重力的支撑力以及产生作用于片状结构的水平驱动力，使片状结构能够在气浮平台上沿预设的水平方向移动，并与限位结构接触。本申请能够通过气流产生的作用力使硅片在水平面上悬浮移动，避免硅片产生磨损，保证硅片的质量，能够提升硅片制备工艺的良率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及硅片加工，具体而言，涉及气浮定位装置及硅片转运设备。

技术介绍

1、晶硅太阳能电池具有工艺简单、太阳能转化效率较高等优点而被大规模应用。在晶硅太阳能电池的生产中，需要硅片输送定位装置在硅片储放装置与硅片抓取机构之间往返转送硅片。现有技术通常设置真空皮带跑道来吸附固定硅片，转送时通常会在皮带与硅片之间产生摩擦，容易损伤硅片，使得硅片上出现皮带印迹，导致后序生产工艺的良率降低。如cvd镀膜，会出现基底沉积镀膜不良，继而出现降级片或报废片的发生。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种气浮定位装置及硅片转运设备，其能够通过气流产生的作用力使硅片在水平面上悬浮移动，避免硅片产生磨损，保证硅片的质量，能够提升硅片制备工艺的良率。

2、本申请是这样实现的：

3、第一方面，本申请实施例提供了一种气浮定位装置，包括用于对片状结构进行定位的气浮平台；所述气浮平台水平设置且所在平面设置有至少一个定向气浮模组；所述气浮平台侧面设置有限位结构；所述定向气浮模组上设置有多个阵列排布的出气通道；所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种气浮定位装置，其特征在于，包括用于对片状结构进行定位的气浮平台；所述气浮平台水平设置且所在平面设置有至少一个定向气浮模组；所述气浮平台侧面设置有限位结构；所述定向气浮模组上设置有多个阵列排布的出气通道；所述出气通道的气流出口方向与竖直方向预设夹角，所述出气通道排出的气流能产生平衡所述片状结构重力的支撑力并产生作用于所述片状结构的水平驱动力，使所述片状结构能够在所述气浮平台上沿预设的方向水平移动，并与所述限位结构接触。

2.根据权利要求1所述的气浮定位装置，其特征在于，所述定向气浮模组包括至少一个第一定向气浮模块以及至少一个第二定向气浮模块；所述第一定向气浮模块产生沿第...

【技术特征摘要】

1.一种气浮定位装置，其特征在于，包括用于对片状结构进行定位的气浮平台；所述气浮平台水平设置且所在平面设置有至少一个定向气浮模组；所述气浮平台侧面设置有限位结构；所述定向气浮模组上设置有多个阵列排布的出气通道；所述出气通道的气流出口方向与竖直方向预设夹角，所述出气通道排出的气流能产生平衡所述片状结构重力的支撑力并产生作用于所述片状结构的水平驱动力，使所述片状结构能够在所述气浮平台上沿预设的方向水平移动，并与所述限位结构接触。

2.根据权利要求1所述的气浮定位装置，其特征在于，所述定向气浮模组包括至少一个第一定向气浮模块以及至少一个第二定向气浮模块；所述第一定向气浮模块产生沿第一方向延伸的水平驱动力；所述第二定向气浮模块产生沿第二方向延伸的水平驱动力；所述第一方向与所述第二方向相交。

3.根据权利要求1所述的气浮定位装置，其特征在于，所述定向气浮模组有多个、且在所述气浮平台所在平面间隔排布。

4.根据权利要求1所述的气浮定位装置，其特征在于，所述限位结构包括设置在所述气浮平台外围的第一挡板与第二挡板，所述第一挡板延伸方向与所述第二挡板延伸方向相交；所述第一挡板与所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴建晓，萧吉宏，刘超，
申请(专利权)人：安徽华晟新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：