一种基于定向输出高Q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于定向输出高Q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器，包括：激光器芯片、聚焦透镜、定向输出的回音壁微腔、光隔离器以及光纤聚焦器；其中：激光器芯片输出的光经聚焦透镜聚焦后入射进弧边五边形微腔中，回音壁微腔为高Q值回音壁微腔，在腔中产生谐振，谐振后的光束分为两部分，一部分沿入射方向出射的光进入激光器芯片中实现反馈注入锁定；另一部分沿着回音壁微腔的定向输出方向出射，经过光隔离器后使用透镜或者光纤聚焦器收集后作为有效输出。本发明专利技术可以简化封装制备流程和复杂度，在保证性能的情况下，降低生产成本，应用于光纤通信、传感、微波信号源的产生等多个领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及窄线宽激光器领域，尤其涉及一种基于定向输出高q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器。

技术介绍

1、超窄线宽半导体激光器具有线宽窄、体积小、功耗低以及成本低等优势，已经广泛应用于光纤通信、传感、微波信号源的产生等多个领域。使用高q值微腔反馈注入锁定半导体激光器，可以有效的降低半导体激光器线宽。

2、但是，将光耦合进高q值微腔的过程非常困难，常用的方法是通过拉锥光纤或者棱镜进行倏逝波耦合，无论哪种方法，对耦合精度的要求都非常高，极大的提高了封装复杂度、成品率等成本。设计一种新型结构的窄线宽激光器在保证窄线宽的同时降低制备封装难度是非常有必要的。

技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题在于针对现有技术中的缺陷，提供一种基于定向输出高q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器。

2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、本专利技术提供一种基于定向输出高q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器，包括：激光器芯片、聚焦透镜、定向输出的回音壁微腔、光隔离器以及光纤聚焦器；本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于定向输出高Q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器，其特征在于，包括：激光器芯片(1)、聚焦透镜(2)、定向输出的回音壁微腔(3)、光隔离器(4)以及光纤聚焦器(5)；其中：

2.根据权利要求1所述的基于定向输出高Q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器，其特征在于，所述窄线宽半导体激光器中的各个器件的实现方式包括：

3.根据权利要求1所述的基于定向输出高Q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器，其特征在于，所述激光器芯片(1)为边发射的FP腔激光器、DFB激光器、DBR激光器或面发射的VCSEL激光器；

4.根据权利要求1所述的基于定向输出高Q值回音壁微腔...

【技术特征摘要】

1.一种基于定向输出高q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器，其特征在于，包括：激光器芯片(1)、聚焦透镜(2)、定向输出的回音壁微腔(3)、光隔离器(4)以及光纤聚焦器(5)；其中：

2.根据权利要求1所述的基于定向输出高q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器，其特征在于，所述窄线宽半导体激光器中的各个器件的实现方式包括：

3.根据权利要求1所述的基于定向输出高q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器，其特征在于，所述激光器芯片(1)为边发射的fp腔激光器、dfb激光器、dbr激光器或面发射的vcsel激光器；

4.根据权利要求1所述的基于定向输出高q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器，其特征在于，所述激光器芯片(1)的线宽计算公式为：

5.根据权利要求1所述的基于定向输出高q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光器，其特征在于，所述回音壁微腔(3)为定向输出，具有谐振的光在特定方向出射的特点，回音壁微腔(3)的光出射方向为一个或多个。

6.根据权利要求1所述的基于定向输出高q值回音壁微腔的窄线宽半导体激光...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈征征，刘欢，王潺，齐志强，董亭亭，
申请(专利权)人：武汉华中旷腾光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：