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本申请涉及硅片加工技术领域，具体公开了气浮定位装置及硅片转运设备，包括用于对片状结构进行定位的气浮平台；气浮平台水平设置且所在平面设置有至少一个定向气浮模块；气浮平台侧面设置有限位结构；定向气浮模块上设置有多个阵列排布的出气通道；出气通道的...
该专利属于安徽华晟新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽华晟新能源科技有限公司授权不得商用。

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