一种磁场强度检测与均匀性分析系统技术方案

本技术涉及一种磁场强度检测与均匀性分析系统，它包括机架、检测探头、设于机架上且带动检测探头在检测空间中进行移动定位的定位移动设备、设于机架上且第一定位轴向与定位移动设备水平左右移动方向平行的第一检测件工装、驱动安装于第一检测件工装上的第一检测件转动的第一检测件驱动组件以及对检测分析过程进行控制的控制分析组件；所述第一检测件工装对第一检测件进行第一定位轴向延伸安装定位。本技术的目的在于提供一种磁场强度检测与均匀性分析系统，能精确调整检测探头检测的位置，使其稳定移动采集每个精确点的磁场强度，以便进行分析。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种磁场强度检测与均匀性分析系统。

技术介绍

1、磁控溅射镀膜生产中，常常使用旋转靶材进行镀膜，旋转靶材内磁棒的磁场均匀，能保证沉积膜层的均匀度，而合适的磁场强度则能保证膜层的沉积速度。因此，对安装前的磁棒进行磁场强度测量和磁场均匀性分析，以提前对应调节磁场的强度和均匀性，从而保证镀膜效率和质量。

2、目前，采用手持磁通量检测仪在磁棒安装槽周围测量，以调节磁棒的磁场强度和均匀性。但由于检测位置的偏差，很难做到准确检测并对其进行调节，给调节作业带来极大的不便，严重影响效率，且难以保证调节效果。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种磁场强度检测与均匀性分析系统，能精确调整检测探头检测的位置，使其稳定移动采集每个精确点的磁场强度，以便进行分析。

2、本技术的目的通过如下技术方案实现：

3、一种磁场强度检测与均匀性分析系统，它包括机架、检测探头、设于机架上且带动检测探头在检测空间中进行移动定位的定位移动设备、设于机架上且第一定位轴向与定位移动设备水平左右移动方向平行本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种磁场强度检测与均匀性分析系统，其特征在于：它包括机架、检测探头、设于机架上且带动检测探头在检测空间中进行移动定位的定位移动设备、设于机架上且第一定位轴向与定位移动设备水平左右移动方向平行的第一检测件工装、驱动安装于第一检测件工装上的第一检测件转动的第一检测件驱动组件以及对检测分析过程进行控制的控制分析组件；所述第一检测件工装对第一检测件进行第一定位轴向延伸安装定位。

2.根据权利要求1所述的磁场强度检测与均匀性分析系统，其特征在于：所述定位移动设备包括设于机架上且带动检测探头水平左右移动的X轴定位驱动组件；所述检测探头通过支架结构安装于X轴定位驱动组件上且可在X轴定位...

【技术特征摘要】

1.一种磁场强度检测与均匀性分析系统，其特征在于：它包括机架、检测探头、设于机架上且带动检测探头在检测空间中进行移动定位的定位移动设备、设于机架上且第一定位轴向与定位移动设备水平左右移动方向平行的第一检测件工装、驱动安装于第一检测件工装上的第一检测件转动的第一检测件驱动组件以及对检测分析过程进行控制的控制分析组件；所述第一检测件工装对第一检测件进行第一定位轴向延伸安装定位。

2.根据权利要求1所述的磁场强度检测与均匀性分析系统，其特征在于：所述定位移动设备包括设于机架上且带动检测探头水平左右移动的x轴定位驱动组件；所述检测探头通过支架结构安装于x轴定位驱动组件上且可在x轴定位驱动组件带动下在第一检测件工装上方沿第一定位轴向水平左右移动。

3.根据权利要求2所述的磁场强度检测与均匀性分析系统，其特征在于：它还包括与第一检测件工装间隔设于机架上且第二定位轴向与第一定位轴向平行的第二检测件工装、驱动安装于第二检测件工装上的第二检测件转动的第二检测件驱动组件；所述第二检测件工装对第二检测件进行第二定位轴向延伸安装定位。

4.根据权利要求3所述的磁场强度检测与均匀性分析系统，其特征在于：所述第一检测件驱动组件包括第一检测件伺服电机、与第一检测件伺服电机连接的第一联轴器以及与第一联轴器连接带动第一检测件旋转的第一驱动轴；所述第二检测件驱动组件包括第二检测件伺服电机、与第二检测件伺服电机连接的第二联轴器以及与第二联轴器连接带动第二检测件旋转的第二驱动轴。

5.根据权利要求3所述的磁场强度检测与均匀性分析系统，其特征在于：所述支架结构包括设于x轴定位驱动组件上且带动检测探头垂直上下移动的z轴定位驱动组件以及设于z轴定位驱动组件上且带动检测探头水...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡勇定，黄俊杰，陈志伟，周邦宇，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：新型
国别省市：