【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及焊接，具体为石英舟高精密组装焊接装置及其工艺。
技术介绍
1、随着半导体技术的不断进步，对于石英舟的精度和焊接技术的要求也不断提高。石英舟作为重要的半导体生产设备，广泛应用于半导体制造过程中的扩散、氧化、刻蚀等工艺。由于石英材料具有优良的热稳定性、耐腐蚀性和低热膨胀系数等特点，使得石英舟成为半导体制造过程中的首选设备。随着半导体技术的飞速发展，对于石英舟的精度和焊接技术提出了更高的要求。为了满足这些要求，石英舟高精密组装焊接装置及其工艺逐渐得到发展和应用。高精密组装焊接装置的出现，提高了石英舟的组装精度和焊接质量。这些装置采用了先进的机械设计、控制系统和焊接技术，确保了石英舟的组装精度和焊接强度。随着焊接工艺的不断创新，出现了激光焊接、电子束焊接等高新技术。这些焊接技术具有能量密度高、焊接速度快、焊缝质量好等优点，进一步提高了石英舟的焊接质量。随着科技的不断发展，石英舟的组装焊接技术和装置将会不断进步，为半导体制造业的发展提供更有力的支持。
2、石英舟主要由石英玻璃制成，而石英玻璃的硬度很高，但同时也相对较脆。这意味着它容易在受到冲击或压力时破裂或断裂。在使用石英舟的过程中，需要特别小心，避免其受到过度的冲击或振动，以防止其破裂或损坏。传统的石英舟组装焊接装置在抓取石英舟的过程中会因为抓取力度或者角度的不对，在抓取或者放置的过程中造成石英舟的破裂或者损坏。其次石英舟的设计和制造需要非常高的精度和技艺，以确保其在半导体制造过程中的稳定性和可靠性。传统的石英舟在焊接过程中，一般都需要在端部焊接一个把手，以方
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本专利技术提供了石英舟高精密组装焊接装置及其工艺，具备在抓取、移动和放置的过程中都能够避免石英舟受到过度的冲击和震动，防止其破裂或者损坏以及在焊接石英舟把手时能够实现精准定位，保证水平焊接，确保高精度焊接的优点，解决了传统石英舟高精密组装焊接装置在使用过程中会对石英舟造成冲击或振动，导致其破裂或者损坏以及在对石英舟进行焊接的过程中无法实现较为精准的定位导致焊接精度不高的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现上述在抓取、移动和放置的过程中都能够避免石英舟受到过度的冲击和震动，防止其破裂或者损坏以及在焊接石英舟把手时能够实现精准定位，保证水平焊接，确保高精度焊接的目的，本专利技术提供如下技术方案：石英舟高精密组装焊接装置，包括放置支架、移动支架、加工支架和定位架，所述放置支架固定安装在加工支架的侧边，所述移动支架安装在放置支架和加工支架的上方，所述移动支架包括有平移架和抬升架，所述抬升支架中部固定安装有齿条，所述齿条穿设与平移架中部，所述平移架上安装有平移电机与齿条配合连接，所述加工支架的内部两侧固定安装有若干均匀分布的吹气管道，所述定位架装配在加工支架的下方，所述定位架的中部加工有一个长方形凹槽，凹槽的一端加工有焊接凹槽，另一端安装有气缸。
5、优选的，所述放置支架和加工支架的表面为圆弧形，底部为t字型支撑架。
6、优选的，所述放置支架和加工支架的上表面加工有出气槽，所述出气槽相互对称。
7、优选的，所述抬升架的个数为两个，所述抬升架分别固定安装在放置支架的外侧和加工支架的外侧。
8、优选的，所述平移架的两端固定安装有旋转电机，所述旋转电机上装配有勾爪，所述抬升架的底部固定安装有抬升电机。
9、优选的，所述定位架的内部加工有滑槽，所述气缸上固定安装有定位板，所述定位板通过滑槽滑动安装在定位架中，所述定位架上加工有定位孔，所述定位孔中安装有电机轴。
10、优选的，所述移动支架靠近放置支架的一侧固定安装有视觉传感器，所述放置支架的另一侧固定安装有水平仪，所述水平仪和视觉传感器一一对应。
11、优选的，所述出气管道的端部固定安装有陶瓷管口。
12、具体的，所述石英舟高精密组装焊接装置的焊接，提出一种焊接工艺，包括步骤如下：
13、s1、将准备进行焊接的石英舟倒扣在放置支架上，通过水平仪对放置在放置支架上的石英舟进行找平，使得石英舟处于水平状态；
14、s2、此时通过平移电机将平移支架移动到石英舟的上方，旋转电机将勾爪打开至180°，抬升电机运作，使得勾爪下降至石英舟的下部，此时旋转电机反转，使得勾爪向内旋转，通过视觉感应桩的感应，确保四个勾爪都勾住石英舟，然后抬升电机开始抬升平移架，使得石英舟被抬起；
15、s3、平移电机开始运作，使得勾住石英舟的平移架平移至加工支架上方，石英舟平移至加工支架上方之后，抬升电机运作，使得石英舟下降，在石英舟下降的过程中吹气管道持续向上吹气，在石英舟与加工支架之间形成一个气体保护层，保护石英舟不会被损坏，最终使得石英舟倒扣在加工支架上，抬升电机继续运作，使得勾爪脱离石英舟，此时旋转电机运作使得勾爪旋转为180°，然后抬升电机反转，平移架抬升，接着平移电机运作，使得平移架远离加工支架；
16、s4、定位架在石英舟放置在加工支架上之后，在定位电机的运作下向上抬升，当接触到石英舟之后将石英舟的两个侧边抬升至同一水平面，即停止抬升，此时气缸开始运作，将定位板向前推出，定位板将放置在加工支架上的石英舟向前推至既定位置之后即停止，使得石英舟在加工支架上完全定位；
17、s5、当石英舟被完全定位之后，将需要焊接的零件放置在焊接凹槽之后，对其进行焊接；
18、s6、当焊接完毕之后，通过底部的吹气管道对石英舟进行降温，待降温完成之后，通过移动支架将焊接完毕的石英舟移动至他处进行储存。
19、(三)有益效果
20、与现有技术相比，本专利技术提供了石英舟高精密组装焊接装置及其工艺，具备以下有益效果：
21、1、该石英舟高精密组装焊接装置及其工艺，通过放置支架、移动支架和加工支架的相互配合使用。当需要对石英舟进行焊接作业时，将准备进行焊接的石英舟倒扣在放置支架上，通过水平仪对放置在放置支架上的石英舟进行找平，使得石英舟大致处于水平状态；此时通过平移电机将平移支架移动到石英舟的上方，旋转电机将勾爪打开至180°，抬升电机运作，使得勾爪下降至石英舟的下部，此时旋转电机反转，使得勾爪向内旋转，通过视觉感应桩的感应，确保四个勾爪都勾住石英舟，然后抬升电机开始抬升平移架，使得石英舟被抬升起来；平移电机开始运作，使得勾住石英舟的平移架平移至加工支架上方，石英舟平移至加工支架上方之后，抬升电机运作，使得石英舟下降，在石英舟下降的过程中吹气管道持续向上吹气，在石英舟与加工支架之间形成一个气体保护层，保护石英舟不会被损坏，最终使得石英舟倒扣在加工支架上。从而达到了在抓取、移动和放置的过程中都能够避免石英舟受到过度的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.石英舟高精密组装焊接装置，包括放置支架(1)、移动支架(2)、加工支架(4)和定位架(5)，所述放置支架(1)固定安装在加工支架(4)的侧边，所述移动支架(2)安装在放置支架(1)和加工支架(4)的上方，其特征在于：所述移动支架(2)包括有平移架(21)和抬升架(22)，所述抬升支架中部固定安装有齿条(214)，所述齿条(214)穿设于平移架(21)中部，所述平移架(21)上安装有平移电机(212)与齿条(214)配合连接，所述加工支架(4)的内部两侧固定安装有若干均匀分布的吹气管道(42)，所述定位架(5)装配在加工支架(4)的下方，所述定位架(5)的中部加工有一个长方形凹槽，凹槽的一端加工有焊接凹槽(53)，另一端安装有气缸(51)。
2.根据权利要求1所述的石英舟高精密组装焊接装置，其特征在于：所述放置支架(1)和加工支架(4)的表面为圆弧形，底部为T字型支撑架。
3.根据权利要求1所述的石英舟高精密组装焊接装置，其特征在于：所述放置支架(1)和加工支架(4)的上表面加工有出气槽(41)，所述出气槽(41)相互对称。
4.根据权利要求
5.根据权利要求1所述的石英舟高精密组装焊接装置，其特征在于：所述平移架(21)的两端固定安装有旋转电机(211)，所述旋转电机(211)上装配有勾爪(213)，所述抬升架(22)的底部固定安装有抬升电机(221)。
6.根据权利要求1所述的石英舟高精密组装焊接装置，其特征在于：所述定位架(5)的内部加工有滑槽(56)，所述气缸(51)上固定安装有定位板(52)，所述定位板(52)通过滑槽(56)滑动安装在定位架(5)中，所述定位架(5)上加工有定位孔(54)，所述定位孔(54)中安装有电机轴(551)。
7.根据权利要求1所述的石英舟高精密组装焊接装置，其特征在于：所述移动支架(2)靠近放置支架(1)的一侧固定安装有视觉传感器，所述放置支架(1)的另一侧固定安装有水平仪(231)，所述水平仪(231)和视觉传感器一一对应。
8.根据权利要求1所述的石英舟高精密组装焊接装置，其特征在于：所述出气管道的端部固定安装有陶瓷管口(421)。
9.根据权利要求1所述的石英舟高精密组装焊接装置，提出一种焊接工艺，其特征在于：包括步骤如下：
...【技术特征摘要】
1.石英舟高精密组装焊接装置，包括放置支架(1)、移动支架(2)、加工支架(4)和定位架(5)，所述放置支架(1)固定安装在加工支架(4)的侧边，所述移动支架(2)安装在放置支架(1)和加工支架(4)的上方，其特征在于：所述移动支架(2)包括有平移架(21)和抬升架(22)，所述抬升支架中部固定安装有齿条(214)，所述齿条(214)穿设于平移架(21)中部，所述平移架(21)上安装有平移电机(212)与齿条(214)配合连接，所述加工支架(4)的内部两侧固定安装有若干均匀分布的吹气管道(42)，所述定位架(5)装配在加工支架(4)的下方，所述定位架(5)的中部加工有一个长方形凹槽，凹槽的一端加工有焊接凹槽(53)，另一端安装有气缸(51)。
2.根据权利要求1所述的石英舟高精密组装焊接装置，其特征在于：所述放置支架(1)和加工支架(4)的表面为圆弧形，底部为t字型支撑架。
3.根据权利要求1所述的石英舟高精密组装焊接装置，其特征在于：所述放置支架(1)和加工支架(4)的上表面加工有出气槽(41)，所述出气槽(41)相互对称。
4.根据权利要求1所述的石英舟高精密组装焊接装置，其特征在于：所述抬升架(22)的个数为两个，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭其峰，郭富强，叶江伟，
申请(专利权)人：浙江硅石新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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