一种晶圆多点快速接触角测量仪制造技术

本技术公开了一种晶圆多点快速接触角测量仪，包括底板和位于所述底板顶端两侧的光源箱和滴液组件，所述光源箱和所述滴液组件分别均通过固定架与所述底板相连接，所述底板的顶端且位于所述光源箱与所述滴液组件之间设有样品平台，所述滴液组件包括滴液连接块，所述滴液连接块的一侧开设有精密电机。有益效果：电机的运行带动推块进行移动，进而推着推杆把针管中的液体经过针头滴出来并自动转移至样品平台上；而Y轴机构与旋转电机的配合设计，Y轴机构的运行通过旋转电机带动样品平台进行Y轴的水平移动，而旋转电机的运行则带动样品平台进行水平转动，实现对不同滴液位置的自动调节。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及测量仪，具体来说，涉及一种晶圆多点快速接触角测量仪。

技术介绍

1、接触角测量仪，主要用于测量液体对固体的接触角，即液体对固体的浸润性，该仪器能测量各种液体对各种材料的接触角，该仪器对石油，印染，医药，喷涂，选矿等行业的科研生产有非常重要的作用。

2、常见的接触角测量仪主要包括视觉识别系统、光源、加样系统以及用于放置样品的样品台，工作时，通过手动样品台的手动转动，使得所需检测的样品对准加样系统进行加样，最后由视觉识别系统进行视觉分析，但是由于放置样品的样品台只能够进行手动转动，导致在进行调节滴液位置时，定位精度差、仅对其滴液位置的大概位置进行调节，检测不规则、检测效率较低，不便于对晶圆的检测。因为晶圆一测试就是几十个点的连续测量。

3、针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

1、针对相关技术中的问题，本技术提出一种晶圆多点快速接触角测量仪，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

2、为此，本技术采用的具体技术方案如下：

3、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆多点快速接触角测量仪，其特征在于，包括底板(1)和位于所述底板(1)顶端两侧的光源箱(2)和滴液组件(3)，所述光源箱(2)和所述滴液组件(3)分别均通过固定架(14)与所述底板(1)相连接，所述底板(1)的顶端且位于所述光源箱(2)与所述滴液组件(3)之间设有样品平台(4)，所述滴液组件(3)通过Z轴组件(13)与相应所述固定架(14)相连接，所述样品平台(4)的底端设有旋转电机(15)，所述旋转电机(15)的底端设有与所述底板(1)相连接的Y轴机构(16)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆多点快速接触角测量仪，其特征在于，所述滴液组件(3)包括滴液连接块(5...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆多点快速接触角测量仪，其特征在于，包括底板(1)和位于所述底板(1)顶端两侧的光源箱(2)和滴液组件(3)，所述光源箱(2)和所述滴液组件(3)分别均通过固定架(14)与所述底板(1)相连接，所述底板(1)的顶端且位于所述光源箱(2)与所述滴液组件(3)之间设有样品平台(4)，所述滴液组件(3)通过z轴组件(13)与相应所述固定架(14)相连接，所述样品平台(4)的底端设有旋转电机(15)，所述旋转电机(15)的底端设有与所述底板(1)相连接的y轴机构(16)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆多点快速接触角测量仪，其特征在于，所述滴液组件(3)包括滴液连接块(5)，所述滴液连接块(5)的一侧开设有滑槽(6)，所述滑槽(6)的一侧设有与其相匹配的推块(7)，所述推块(7)的底端设有竖向设置的推杆(8)，所述推杆(8)的底端设有针管(9)，所述针管(9)的底端设有与其相匹配的针头(21)，且所述针管(9)通过针管固定块(10)与所述滴液连接块(5)相连接，所述固定架(14)...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾国雄，
申请(专利权)人：广东北斗精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：