【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光加工的领域，尤其涉及一种激光能量调节装置及激光微加工设备。
技术介绍
1、激光具有强度大，光束直径小和相干性高的特点，被广泛应用于机械、光学器件、微电子和半导体等不同产业中。在激光切割和激光刻蚀等激光加工过程中，对激光能量的稳定性具有较高的要求，需要保证发射的激光脉冲功率保持长时间联系稳定。现有技术对激光能量进行补偿或调节的装置都是通过单脉冲能量探头采集激光能量信号，以此判断当前激光能量是否满足相应能量要求，从而对激光器的激光脉冲进行反馈调节以实现激光能量的高稳定度。但是上述方式存在以下缺点：第一、利用单脉冲能量探头进行激光脉冲采样需要配套的部件数量较多，增加激光能量调节的成本；第二、利用单脉冲能量探头进行激光脉冲采样后还需要对采集得到的激光能量信号进行复杂的计算处理，导致激光能量调节具有延后性，无法对激光能量进行实时准确的调节。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种激光能量调节装置及激光微加工设备，该激光能量调节装置利用分光器将激光脉冲分成用于照射工件和进行激...
【技术保护点】
1.一种激光能量调节装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种激光能量调节装置，其特征在于：
3.如权利要求2所述的一种激光能量调节装置，其特征在于：
4.如权利要求1所述的一种激光能量调节装置，其特征在于：
5.如权利要求1所述的一种激光能量调节装置，其特征在于：
6.如权利要求5所述的一种激光能量调节装置，其特征在于：
7.如权利要求1所述的一种激光能量调节装置，其特征在于：
8.如权利要求7所述的一种激光能量调节装置，其特征在于：
9.如权利要求6所述的一种...
【技术特征摘要】
1.一种激光能量调节装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种激光能量调节装置，其特征在于：
3.如权利要求2所述的一种激光能量调节装置，其特征在于：
4.如权利要求1所述的一种激光能量调节装置，其特征在于：
5.如权利要求1所述的一种激光能量调节装置，其特征在于：
...【专利技术属性】
技术研发人员：欧东，
申请(专利权)人：深圳市智鼎自动化技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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